【技术实现步骤摘要】
一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构
本专利技术涉及半导体制作
,更具体的说涉及一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构。
技术介绍
现有的晶圆在加工时其一般需要放置在储料架上进行放置,然后,通过抓取机构抓取,而一般的抓取机构的升降高度有限,其无法将抓取手降低过低,使得储料架中放置的晶圆必须在一定高度处,使得储料架的下部空间产生储存浪费,其带来的问题就是储料架中储存放置的晶圆个数也受到限制,不能放置过多,使得储料架上的所有晶圆加工完成后,需要重新装卸更换,其更换次数增加,效率低。
技术实现思路
本专利技术的目的就是针对现有技术之不足,而提供一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构,它可以将储料底板根据需要进行高低调节,使得其上的两个侧板体之间的下部也可以放置晶圆,需要抓取时可以将储料底板提升,方便抓取,效果好。本专利技术的技术解决措施如下:一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构,包括固定底座,所述固定底座的下部设有下横向支撑板,下横向支撑板的底面中部固定有提升伺服电机,提升伺服电机的输出轴穿过下横向支撑板的顶面并通过联轴器连接有竖直螺套,竖直螺套上螺接有竖直提升螺杆,竖直提升螺杆的顶端固定有提升板,提升板的侧壁固定有导向套体,导向套体插套在固定底座的顶板上成型有的导向通孔中;所述提升板的顶面固定有储料底板,储料底板的顶面的前部和后部均固定有侧板体,两个侧板体的相对壁面上均成型有多个侧边槽,晶圆的前部和后部插套在对应的侧边槽中。所述固定底座的顶板的顶面上固定有安装固定板, ...
【技术保护点】
1.一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构,包括固定底座(10),其特征在于:所述固定底座(10)的下部设有下横向支撑板(11),下横向支撑板(11)的底面中部固定有提升伺服电机(12),提升伺服电机(12)的输出轴穿过下横向支撑板(11)的顶面并通过联轴器连接有竖直螺套(13),竖直螺套(13)上螺接有竖直提升螺杆(14),竖直提升螺杆(14)的顶端固定有提升板(15),提升板(15)的侧壁固定有导向套体(16),导向套体(16)插套在固定底座(10)的顶板上成型有的导向通孔(17)中;/n所述提升板(15)的顶面固定有储料底板(20),储料底板(20)的顶面的前部和后部均固定有侧板体(21),两个侧板体(21)的相对壁面上均成型有多个侧边槽(22),晶圆(100)的前部和后部插套在对应的侧边槽(22)中。/n
【技术特征摘要】
1.一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构,包括固定底座(10),其特征在于:所述固定底座(10)的下部设有下横向支撑板(11),下横向支撑板(11)的底面中部固定有提升伺服电机(12),提升伺服电机(12)的输出轴穿过下横向支撑板(11)的顶面并通过联轴器连接有竖直螺套(13),竖直螺套(13)上螺接有竖直提升螺杆(14),竖直提升螺杆(14)的顶端固定有提升板(15),提升板(15)的侧壁固定有导向套体(16),导向套体(16)插套在固定底座(10)的顶板上成型有的导向通孔(17)中;
所述提升板(15)的顶面固定有储料底板(20),储料底板(20)的顶面的前部和后部均固定有侧板体(21),两个侧板体(21)的相对壁面上均成型有多个侧边槽(22),晶圆(100)的前部和后部插套在对应的侧边槽(22)中。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆放料盒高低调节式放置台座机构,其特征在于:所述固定底座(10)的顶板的顶面上固定有安装固定板(18),安装固定板(18)的中部具有中心通槽(181),导向套体(16)的上部插套在中心通槽(181)中。
3.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗永胜,
申请(专利权)人:台州市老林装饰有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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