一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车制造技术

本发明专利技术公开一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，包括小车顶板，所述小车顶板的顶面中部固定有支撑架，支撑架的左右两个连接块均固定在对应的直线电机的滑台上，直线电机固定在上连接导轨的两个竖直导向板的内侧上；所述小车顶板的顶面的左右两侧均固定有侧连接块，两个侧连接块的内侧壁上均固定有上下对应的连接板，导向轮的转轴通过轴承铰接在对应的两个连接板上，竖直导向板的外壁面上固定有自润滑折弯块，导向轮的壁面紧贴自润滑折弯块的竖直部的外侧壁上。本发明专利技术采用顶部输送放置抓取，其空间占用小，效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车
本专利技术涉及半导体制作
，更具体的说涉及一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车。
技术介绍
现有的光刻设备等一些晶圆加工设备中，其需要将晶圆多个放置的密封的储存盒中，然后，需要用输送小车或人工输送，人工输送，其效率低，效果差。而输送小车抓取一般是采用地面输送，其在底面上的空间占用过大，影响人员走动，容易触碰。
技术实现思路
本专利技术的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，它采用顶部输送放置抓取，其空间占用小，效果好。本专利技术的技术解决措施如下：一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，包括小车顶板，所述小车顶板的顶面中部固定有支撑架，支撑架的左右两个连接块均固定在对应的直线电机的滑台上，直线电机固定在上连接导轨的两个竖直导向板的内侧上；所述小车顶板的顶面的左右两侧均固定有侧连接块，两个侧连接块的内侧壁上均固定有上下对应的连接板，导向轮的转轴通过轴承铰接在对应的两个连接板上，竖直导向板的外壁面上固定有自润滑折弯块，导向轮的壁面紧贴自润滑折弯块本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，包括小车顶板(10)，其特征在于：所述小车顶板(10)的顶板的顶面中部固定有支撑架(11)，支撑架(11)的左右两个连接块均固定在对应的直线电机(12)的滑台上，直线电机(12)固定在上连接导轨(20)的两个竖直导向板(21)的内侧上；/n所述小车顶板(10)的顶板的顶面的左右两侧均固定有侧连接块(13)，两个侧连接块(13)的内侧壁上均固定有上下对应的连接板(14)，导向轮(15)的转轴通过轴承铰接在对应的两个连接板(14)上，竖直导向板(21)的外壁面上固定有自润滑折弯块(22)，导向轮(15)的壁面紧贴自润滑折弯块(22)的竖直部的外侧壁上；/n所述...

【技术特征摘要】
1.一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，包括小车顶板(10)，其特征在于：所述小车顶板(10)的顶板的顶面中部固定有支撑架(11)，支撑架(11)的左右两个连接块均固定在对应的直线电机(12)的滑台上，直线电机(12)固定在上连接导轨(20)的两个竖直导向板(21)的内侧上；
所述小车顶板(10)的顶板的顶面的左右两侧均固定有侧连接块(13)，两个侧连接块(13)的内侧壁上均固定有上下对应的连接板(14)，导向轮(15)的转轴通过轴承铰接在对应的两个连接板(14)上，竖直导向板(21)的外壁面上固定有自润滑折弯块(22)，导向轮(15)的壁面紧贴自润滑折弯块(22)的竖直部的外侧壁上；
所述侧连接块(13)的下方的连接板(14)的底面安装有多个球体(1)，球体(1)的底面压靠在自润滑折弯块(22)的水平部的顶面上。


2.根据权利要求1所述的一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，其特征在于：所述小车顶板(10)的左右两侧底面均固定有竖直侧板(16)，两个竖直侧板(16)的后部和前部之间均固定有中部连接板(17)；
所述竖直侧板(16)的上部外侧壁上均固定有驱动伺服电机(18)，小车顶板(10)的底面中部固定有两个中间支撑板(19)，横向主轴(191)的一端通过轴承铰接在对应的中间支撑板(19)上，驱动伺服电机(18)的输出轴穿过竖直侧板(16)的内侧壁并通过联轴器与横向主轴(191)的一端相连接，横向主轴(191)的中部固定有卷绕带轮(192)，卷绕带轮(192)上卷绕有输送带(193)，两个输送带(193)的底端固定在安装板(30)的顶面上。


3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗永胜，
申请(专利权)人：台州市老林装饰有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33