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本发明公开一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，包括小车顶板，所述小车顶板的顶面中部固定有支撑架，支撑架的左右两个连接块均固定在对应的直线电机的滑台上，直线电机固定在上连接导轨的两个竖直导向板的内侧上；所述小车顶板的顶面的左右两侧均固定有侧连接...
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