一种晶圆储存盒放置夹紧机构制造技术

本发明专利技术公开一种晶圆储存盒放置夹紧机构，包括横向输送机构，所述横向输送机构的移动块的顶面上固定有延伸板，延伸板的端部顶面安装有缓冲板，缓冲板的顶面固定有上支撑架，上支撑架的顶板的边部顶面均固定有侧限位板，晶圆储存盒的下部处于四个侧限位板之间，晶圆储存盒压靠在上支撑架的顶板的顶面上固定有的多个弹性块的顶面上。本发明专利技术可以保证将晶圆储存盒夹持固定，不容易移动，而且其缓冲效果好，大大降低其移动时产生的振动，保证移动稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆储存盒放置夹紧机构
本专利技术涉及半导体制作
，更具体的说涉及一种晶圆储存盒放置夹紧机构。
技术介绍
现有的光刻设备等一些晶圆加工设备中，其需要将晶圆多个放置的密封的储存盒中，然后，需要用输送小车或人工输送，需要将其放置在对应的安装台上，而为了保证后续设备抓取稳定等效果，需要将储存盒牢固固定在安装台上，现有的固定方式是在安装台上竖直多个定位柱，通过定位柱插入储存盒的底板上的定位孔中，其固定并不稳定，当受到轻微碰撞时，储存盒容易倾斜移动。
技术实现思路
本专利技术的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种晶圆储存盒放置夹紧机构，它可以保证将晶圆储存盒夹持固定，不容易移动，而且其缓冲效果好，大大降低其移动时产生的振动，保证移动稳定。本专利技术的技术解决措施如下：一种晶圆储存盒放置夹紧机构，包括横向输送机构，所述横向输送机构的移动块的顶面上固定有延伸板，延伸板的端部顶面安装有缓冲板，缓冲板的顶面固定有上支撑架，上支撑架的顶板的边部顶面均固定有侧限位板，晶圆储存盒的下部处于四个侧限位板之间，晶圆储存盒压靠本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆储存盒放置夹紧机构，包括横向输送机构(10)，其特征在于：所述横向输送机构(10)的移动块(11)的顶面上固定有延伸板(12)，延伸板(12)的端部顶面安装有缓冲板(13)，缓冲板(13)的顶面固定有上支撑架(20)，上支撑架(20)的顶板的边部顶面均固定有侧限位板(21)，晶圆储存盒(100)的下部处于四个侧限位板(21)之间，晶圆储存盒(100)压靠在上支撑架(20)的顶板的顶面上固定有的多个弹性块(1)的顶面上；/n所述上支撑架(20)的中部支撑板(22)的底面中部固定有提升气缸(23)，提升气缸(23)的推杆穿过中间支撑板(22)的顶面并固定有推动柱(24)，推动柱(24)...

【技术特征摘要】
1.一种晶圆储存盒放置夹紧机构，包括横向输送机构(10)，其特征在于：所述横向输送机构(10)的移动块(11)的顶面上固定有延伸板(12)，延伸板(12)的端部顶面安装有缓冲板(13)，缓冲板(13)的顶面固定有上支撑架(20)，上支撑架(20)的顶板的边部顶面均固定有侧限位板(21)，晶圆储存盒(100)的下部处于四个侧限位板(21)之间，晶圆储存盒(100)压靠在上支撑架(20)的顶板的顶面上固定有的多个弹性块(1)的顶面上；
所述上支撑架(20)的中部支撑板(22)的底面中部固定有提升气缸(23)，提升气缸(23)的推杆穿过中间支撑板(22)的顶面并固定有推动柱(24)，推动柱(24)插套在上支撑架(20)的顶板的中部通孔(25)中，推动柱(24)的顶端伸出中部通孔(25)的顶面并固定有锥形块(26)，两个圆弧块体(27)处于锥形块(26)的两侧，锥形块(26)的外侧壁压靠在圆弧块体(27)的内锥形侧壁上，两个圆弧块体(27)的外侧壁的上部成型有定位弧形凸起部(271)，两个圆弧块体(27)的上部插套在晶圆储存盒(100)的底面中部成型有的定位孔(101)中，定位弧形凸起部(271)嵌套在定位孔(101)的内侧壁上成型有的弧形定位槽中，圆弧块体(27)的上部外侧壁压靠在定位孔(101)的内侧壁上。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒放置夹紧机构，其特征在于：所述上支撑架(20)的顶板的顶面上固定有圆环套体(28)，圆环套体(28)的左右两个内侧壁上均固定有弹簧(29)，两个弹簧(29)的相对一端均固定在对应的圆弧块体(27)的外侧壁上。


3.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒放置...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗永胜，
申请(专利权)人：台州市老林装饰有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33