下载一种晶圆储存盒放置夹紧机构的技术资料

文档序号:26692277

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本发明公开一种晶圆储存盒放置夹紧机构,包括横向输送机构,所述横向输送机构的移动块的顶面上固定有延伸板,延伸板的端部顶面安装有缓冲板,缓冲板的顶面固定有上支撑架,上支撑架的顶板的边部顶面均固定有侧限位板,晶圆储存盒的下部处于四个侧限位板之间,...
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