一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构制造技术

本发明专利技术公开一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构，包括主槽体，所述主槽体中插套有内槽体，内槽体的上部外侧壁上固定有径向延伸的框型板，框型板的外侧壁固定在主槽体的内侧壁上，框型板与主槽体的底板之间形成主腔体。本发明专利技术采用主槽体和内槽体组合方式，实现侧部设置进液连接头，方便安装拆卸连接管，同时，其中间隔板为可拆卸结构，大大方便后续对主槽体和内槽体的清洗。

【技术实现步骤摘要】
一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构
本专利技术涉及半导体制作
，更具体的说涉及一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构。
技术介绍
湿法刻蚀清洗机按清洗的结构方式可以分为槽式批量清洗和单片清洗机两种类型；清洗设备主要由耐腐蚀机架、酸槽、水槽、干燥槽、控制单元、排风单元以及气体和液体管路单元等几大部分构成。其中，酸槽和管路单元是清洗设备的主要组成部分。按照材料的差异，槽体可分为用不锈钢材质的生产的槽、用NPP材质生产的抗腐蚀的槽、用PVDF材质生产的槽、用PTFE材质生产的槽、用石英材质生产的槽等，按照功能的差异槽体又可分为酸碱刻蚀槽、溢流清洗槽、快速排水槽和使晶圆快速干燥的干燥槽等；其中，在溢流清洗槽中，现有的方式是直接在槽体的底部通接进水管，将去离子水由进水管通入槽体中，其需要从底部连接进水管，连接安装麻烦，同时，其内部的中间隔板一般是固定式结构，使得其在使用一定时间后，进行清洗时其中间隔板下方的部位无法清洗到，非常麻烦。
技术实现思路
本专利技术的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构，它采用主槽体和内槽体组合方式，实现侧部设置进液连接头，方便安装拆卸连接管，同时，其中间隔板为可拆卸结构，大大方便后续对主槽体和内槽体的清洗。本专利技术的技术解决措施如下：一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构，包括主槽体，所述主槽体中插套有内槽体，内槽体的上部外侧壁上固定有径向延伸的框型板，框型板的外侧壁固定在主槽体的内侧壁上，框型板与主槽体的底板之间形成主腔体；>所述主槽体的一侧板的上部通接有排液连接头，主槽体的一侧板的中部通接有进液连接头，进液连接头与主腔体相通，排液连接头处于框型板的上方；所述内槽体的底板上成型有多个进液口；所述内槽体中安装有中间隔板，放置有硅片的放置架放置在中间隔板的顶面上，中间隔板上成型有多个流通通孔；所述内槽体的顶面高于框型板的顶面，内槽体的上部侧壁成型有溢流通孔，溢流通孔处于框型板的上方。所述内槽体的底板的左右两侧顶面均固定有竖直板，竖直板的内侧壁固定在内槽体的前后两个侧板的内侧壁上，中间隔板处于两个竖直板之间，竖直板的顶面低于内槽体的顶面，竖直板的顶面高于框型板的顶面。所述主槽体的底板的顶面固定有多个支撑块，内槽体的底板的底面压靠在支撑块的顶面上。所述内槽体的底板的顶面上固定有多个连接螺柱，中间隔板的边部成型有多个定位通孔，连接螺柱的上部伸出定位通孔的顶面，固定螺母螺接在连接螺柱的顶部上，固定螺母的底面压靠在中间隔板的顶面上。所述连接螺柱上插套有隔套，隔套的底面压靠在内槽体的底板的顶面上，隔套的顶面压靠在中间隔板的底面上。所述定位通孔处的中间隔板的底面上固定有连接套，隔套插套在连接套中，隔套的外侧壁紧贴连接套的内侧壁。所述竖直板的内侧壁上固定有折弯架，折弯架的竖直板部上螺接有调节螺栓，调节螺栓的螺杆的端部伸出折弯架的竖直板部的内侧壁并铰接有压紧块，压紧块压靠在放置架的外侧壁上。本专利技术的有益效果在于：其采用主槽体和内槽体组合方式，实现侧部设置进液连接头，方便安装拆卸连接管，同时，其中间隔板为可拆卸结构，大大方便后续对主槽体和内槽体的清洗。附图说明图1为本专利技术的局部剖视图；图2为图1的局部放大图。具体实施方式实施例1：见图1至2所示，一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构，包括主槽体10，所述主槽体10中插套有内槽体20，内槽体20的上部外侧壁上固定有径向延伸的框型板30，框型板30的外侧壁固定在主槽体10的内侧壁上，框型板30与主槽体10的底板之间形成主腔体1；所述主槽体10的一侧板的上部通接有排液连接头2，主槽体10的一侧板的中部通接有进液连接头3，进液连接头3与主腔体1相通，排液连接头2处于框型板30的上方；所述内槽体20的底板上成型有多个进液口21；所述内槽体20中安装有中间隔板40，放置有硅片100的放置架101放置在中间隔板40的顶面上，中间隔板40上成型有多个流通通孔42；所述内槽体20的顶面高于框型板30的顶面，内槽体20的上部侧壁成型有溢流通孔22，溢流通孔22处于框型板30的上方。进一步的说，所述内槽体20的底板的左右两侧顶面均固定有竖直板23，竖直板23的内侧壁固定在内槽体20的前后两个侧板的内侧壁上，中间隔板40处于两个竖直板23之间，竖直板23的顶面低于内槽体20的顶面，竖直板23的顶面高于框型板30的顶面。进一步的说，所述主槽体10的底板的顶面固定有多个支撑块4，内槽体20的底板的底面压靠在支撑块4的顶面上。进一步的说，所述内槽体10的底板的顶面上固定有多个连接螺柱5，中间隔板40的边部成型有多个定位通孔43，连接螺柱5的上部伸出定位通孔43的顶面，固定螺母6螺接在连接螺柱5的顶部上，固定螺母6的底面压靠在中间隔板40的顶面上。进一步的说，所述连接螺柱5上插套有隔套7，隔套7的底面压靠在内槽体20的底板的顶面上，隔套7的顶面压靠在中间隔板40的底面上。进一步的说，所述定位通孔处的中间隔板40的底面上固定有连接套8，隔套7插套在连接套8中，隔套7的外侧壁紧贴连接套8的内侧壁。进一步的说，所述竖直板23的内侧壁上固定有折弯架50，折弯架50的竖直板部上螺接有调节螺栓51，调节螺栓51的螺杆的端部伸出折弯架50的竖直板部的内侧壁并铰接有压紧块52，压紧块52压靠在放置架101的外侧壁上。本实施例在使用时，其去离子水从进液连接头3进入后，进入主腔体1中，然后，通过进液口21进入内槽体20中，对中间隔板40上的硅片100进行冲洗，而清洗后的污水高于两个竖直板23后进入内槽体20的内侧壁与两个竖直板23的外侧壁之间形成的外腔体中，并最后从溢流通孔22排出到主槽体10的框型板30的上方，最后由排液连接头2排出，其清洗效果好，其进液连接头3是安装在主槽体10的侧壁上，其安装拆卸方便。同时，其需要清洗或对中间隔板40进行维护维修时，通过卸下固定螺母6，可以将中间隔板40拆卸进行清洗，其清洗维护维修方便。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构，包括主槽体(10)，其特征在于：所述主槽体(10)中插套有内槽体(20)，内槽体(20)的上部外侧壁上固定有径向延伸的框型板(30)，框型板(30)的外侧壁固定在主槽体(10)的内侧壁上，框型板(30)与主槽体(10)的底板之间形成主腔体(1)；/n所述主槽体(10)的一侧板的上部通接有排液连接头(2)，主槽体(10)的一侧板的中部通接有进液连接头(3)，进液连接头(3)与主腔体(1)相通，排液连接头(2)处于框型板(30)的上方；/n所述内槽体(20)的底板上成型有多个进液口(21)；/n所述内槽体(20)中安装有中间隔板(40)，放置有硅片(100)的放置架(101)放置在中间隔板(40)的顶面上，中间隔板(40)上成型有多个流通通孔(42)；/n所述内槽体(20)的顶面高于框型板(30)的顶面，内槽体(20)的上部侧壁成型有溢流通孔(22)，溢流通孔(22)处于框型板(30)的上方。/n

【技术特征摘要】
1.一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构，包括主槽体(10)，其特征在于：所述主槽体(10)中插套有内槽体(20)，内槽体(20)的上部外侧壁上固定有径向延伸的框型板(30)，框型板(30)的外侧壁固定在主槽体(10)的内侧壁上，框型板(30)与主槽体(10)的底板之间形成主腔体(1)；
所述主槽体(10)的一侧板的上部通接有排液连接头(2)，主槽体(10)的一侧板的中部通接有进液连接头(3)，进液连接头(3)与主腔体(1)相通，排液连接头(2)处于框型板(30)的上方；
所述内槽体(20)的底板上成型有多个进液口(21)；
所述内槽体(20)中安装有中间隔板(40)，放置有硅片(100)的放置架(101)放置在中间隔板(40)的顶面上，中间隔板(40)上成型有多个流通通孔(42)；
所述内槽体(20)的顶面高于框型板(30)的顶面，内槽体(20)的上部侧壁成型有溢流通孔(22)，溢流通孔(22)处于框型板(30)的上方。


2.根据权利要求1所述的一种湿法刻蚀清洗机构的溢流槽结构，其特征在于：所述内槽体(20)的底板的左右两侧顶面均固定有竖直板(23)，竖直板(23)的内侧壁固定在内槽体(20)的前后两个侧板的内侧壁上，中间隔板(40)处于两个竖直板(23)之间，竖直板(23)的顶面低于内槽体(20)的顶面，竖直板(23)的顶面高于框型板(30)的顶面。


3.根据权利要求1所述的一种湿法刻蚀清...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗永胜，
申请(专利权)人：台州市老林装饰有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33