一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置制造方法及图纸

一种POLY‑Si卧式背封炉用立式石英舟装置，包括上挡板、硅片支撑槽棒、硅片定位槽棒和下支撑挡板，所述上挡板和所述下支撑挡板上下对应设置，上挡板和下支撑挡板之间设有所述硅片支撑槽棒和所述硅片定位槽棒，硅片支撑槽棒和硅片定位槽棒的顶端均通过焊接方式连接上挡板，硅片支撑槽棒和硅片定位槽棒的底端均通过焊接方式连接下支撑挡板。本实用新型专利技术通过下支撑挡板实现石英舟在桨上稳定放置，通过四根槽棒实现硅片的水平放置，通过定位槽棒实现硅片在石英舟中的定位，并且保持竖直时的间距一致，实现自动装片，通过本实用新型专利技术所述的石英舟装置，可使用原卧式石英舟倒片器的通用，有效解决了原卧式石英舟加工存在的不足。

【技术实现步骤摘要】
一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置
本技术涉及半导体行业POLY-Si背封工艺硅片7载体石英舟，主要涉及一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置。
技术介绍
石英舟是硅片背封工艺中的载体，石英舟的结构直接影响硅片的摆放，影响硅片与石英舟的接触面积，接触点的应力，最终直接影响硅片背封后的接触点崩边率。常规的卧式背封炉采用卧式石英舟设计，硅片竖直放置，与石英舟存在多处应力集中点，与石英舟接触面积大，POLY-Si沉积后造成硅片与石英舟粘接严重，造成较高比例的边缘崩边。合理的石英舟设计，能够有效的改变石英舟与硅片的接触位置和接触面积。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置，以解决该种设计的缺陷，并可以做到操作简单、安全高效。本技术通过以下技术方案来实现：一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置，包括上挡板、硅片支撑槽棒、硅片定位槽棒和下支撑挡板，所述上挡板和所述下支撑挡板上下对应设置，上挡板和下支撑挡板之间设有所述硅片支撑槽棒和所述硅片定位槽棒，硅片支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置，其特征在于，包括上挡板（1）、硅片支撑槽棒（2）、硅片定位槽棒（3）和下支撑挡板（4），所述上挡板（1）和所述下支撑挡板（4）上下对应设置，上挡板（1）和下支撑挡板（4）之间设有所述硅片支撑槽棒（2）和所述硅片定位槽棒（3），硅片支撑槽棒（2）和硅片定位槽棒（3）的顶端均通过焊接方式连接上挡板（1），硅片支撑槽棒（2）和硅片定位槽棒（3）的底端均通过焊接方式连接下支撑挡板（4）。/n

【技术特征摘要】
1.一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置，其特征在于，包括上挡板（1）、硅片支撑槽棒（2）、硅片定位槽棒（3）和下支撑挡板（4），所述上挡板（1）和所述下支撑挡板（4）上下对应设置，上挡板（1）和下支撑挡板（4）之间设有所述硅片支撑槽棒（2）和所述硅片定位槽棒（3），硅片支撑槽棒（2）和硅片定位槽棒（3）的顶端均通过焊接方式连接上挡板（1），硅片支撑槽棒（2）和硅片定位槽棒（3）的底端均通过焊接方式连接下支撑挡板（4）。


2.根据权利要求1所述的一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置，其特征在于，所述上挡板（1）为四边形板，上挡板（1）和下支撑挡板（4）的形状、大小均相同。


3.根据权利要求1所述的一种POLY-Si卧式背封炉用立式石英舟装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：寇文辉，苗利刚，胡晓亮，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41