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一种POLY‑Si卧式背封炉用立式石英舟装置，包括上挡板、硅片支撑槽棒、硅片定位槽棒和下支撑挡板，所述上挡板和所述下支撑挡板上下对应设置，上挡板和下支撑挡板之间设有所述硅片支撑槽棒和所述硅片定位槽棒，硅片支撑槽棒和硅片定位槽棒的顶端均通过焊...
该专利属于麦斯克电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯克电子材料股份有限公司授权不得商用。

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