基板收纳容器制造技术

本发明专利技术提供一种基板收纳容器，其具备不使用金属制的构件就能够控制气体流通的阀体。在本发明专利技术中，安装于基板收纳容器(1)上的阀体(40)具有：筒体(41)，其形成有开放端部(411)，并具有内部空间(412)；以及栓部(42)，其将内部空间(412)分隔成第一空间(413)与第二空间(414)，并到达开放端部(411)；以及弹性体(43)，其覆盖开放端部(411)以及栓部(42)；其中，第一空间(413)具有连通至容器主体(10)的外部的第一连通孔(416)；并且第二空间(414)具有连通至容器主体(10)的内部的第二连通孔(417)；弹性体(43)通过与栓部(42)紧密相接或与栓部(42)分离，从而控制气体向容器主体(10)的流通。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板收纳容器
本专利技术涉及一种基板收纳容器，该基板收纳容器具备控制气体向容器主体的流通的阀体。
技术介绍
收纳基板的基板收纳容器具备：容器主体；以及封闭容器主体的开口的盖体；以及控制气体向容器主体的流通的阀体。该阀体具有止回阀功能，具有阀芯、使阀芯开闭的金属制的弹性构件(例如，参照专利文献1以及专利文献2)。由于阀体的止回阀功能为控制一个方向上的气体的流通，因此需要根据气体的流通方向更换阀体本身，或重新组装阀体以及弹性构件。现有技术专利文献专利文献1：日本特许公开2008-066330号公报专利文献2：日本特许公开2004-179449号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题然而，基板收纳容器为了以气密状态收纳基板，气体从阀体供给，并经由阀体排出，但是，在加工收纳的基板时，附着于基板的残留物质有时也会随着所供给的气体被一并排出。因此，存在阀体的金属制的弹性构件等被残留物质腐蚀的情况。因此，本专利技术是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种基板收纳容器，该基板收纳容器具备不使用金属制的构件就能够控制气体流通的阀体。另外，本专利技术的目的在于提供一种基板收纳容器，该基板收纳容器具备阀体，该阀体能够控制气体的供给或排出的两个方向上的气体的流通。解决技术问题的技术手段(1)本专利技术所涉及的一个实施方式是一种基板收纳容器，其具备：容器主体，其收纳基板；以及盖体，其封闭所述容器主体的开口；以及阀体，其控制气体向所述容器主体的流通；其中，所述阀体具有：筒体，其形成有开放端部，并具有内部空间；以及栓部，其将所述内部空间分隔成第一空间与第二空间，并到达所述开放端部；以及弹性体，其覆盖所述开放端部以及所述栓部；其中，所述第一空间具有连通至所述容器主体的外部的第一连通孔；并且所述第二空间具有连通至所述容器主体的内部的第二连通孔；所述弹性体通过与所述栓部紧密相接或与所述栓部分离，从而控制气体向所述容器主体的流通。(2)在上述(1)的实施方式中也可以为，所述弹性体为板状，且以使所述气体仅在所述第一空间、所述第二空间流动的方式，将所述第一空间侧的开放端部与所述栓部之间、以及所述栓部与所述第二空间侧的开放端部之间分别密封。(3)在上述(1)或者(2)的实施方式中也可以为，在对所述第一空间或所述第二空间施加正压的情况时，所述弹性体通过膨胀而与所述栓部之间形成间隙，从而允许所述气体向所述容器主体的流通，且在没有对所述第一空间以及所述第二空间施加正压的情况时，所述弹性体与所述栓部紧密相接，从而阻断所述气体向所述容器主体的流通。(4)在上述(1)～(3)的任一实施方式中也可以为，所述弹性体以可拆卸的状态安装于所述筒体。(5)在上述(1)～(4)的任一实施方式中也可以为，所述阀体安装于设置在所述容器主体的气体流路的中途。(6)在上述(1)～(4)的任一实施方式中也可以为，所述第一连通孔与固定筒连通，所述固定筒嵌合于形成在所述容器主体上的贯通孔，所述第二连通孔与被组合到所述固定筒上的保持筒连通。(7)在上述(1)～(4)的任一实施方式中也可以为，所述第一连通孔与固定筒连通，所述固定筒嵌合于形成在所述容器主体上的贯通孔，所述第二连通孔与中盖筒连通，所述中盖筒与被组合到所述固定筒上的保持筒连结。(8)在上述(6)或者(7)的实施方式中也可以为，所述阀体具有过滤所述气体的过滤片。专利技术效果根据本专利技术，可以提供一种基板收纳容器，该基板收纳容器具备不使用金属制的构件就能够控制气体流通的阀体。附图说明图1是表示本专利技术所涉及的实施方式的基板收纳容器的分解立体示意图。图2是表示容器主体中的阀体的剖面示意图。图3(a)是表示阀体的结构的剖面透视图，图3(b)是表示阀体的结构的剖面图。图4(a)是表示安装于基板收纳容器的阀体的阻断气体流通的状态的剖面示意图，图4(b)是表示安装于基板收纳容器的阀体的允许气体流通的状态的剖面示意图。图5是表示变形例的栓部的前端的形状的示意图。图6是表示变形例的栓部的配置的剖面图。图7是表示第二实施方式的容器主体的阀体的剖面图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。在本说明书的实施方式的整个内容中，对相同的部件标注相同的附图标记。图1是表示本专利技术的实施方式所涉及的基板收纳容器1的分解立体示意图。如图1所示，基板收纳容器1包括用于收纳基板W的容器主体10，用于封闭容器主体10的开口11的盖体20，以及设置在容器主体10和盖体20之间的环形密封件30。容器主体10为箱状体，并且是开口11形成在正面的前开口型。开口11以朝向外侧扩展的方式形成为带有台阶的弯曲形状，并且该台阶部的面作为与密封件30接触的密封面12，形成在开口11的正面的内周边缘处。此外，从容易进行直径为300mm或450mm的基板W的插入操作考虑，容器主体10优选为前开口型，但是也可以为开口11形成在下表面的底开口型。在容器主体10的内部的左右两侧配置有支撑体13。支撑体13具有载置以及定位基板W的功能。在支撑体13中，沿高度方向形成有两个以上的凹槽，以构成所谓的凹槽齿。并且，基板W载置于相同高度的左右两处的凹槽齿上。支撑体13的材料可以与容器主体10的材料相同，但是也可以使用不同的材料以提高清洁性能和滑动性能。另外，在容器主体10内部的后侧(里侧)配置有后保持器(未图示)。在盖体20被封闭的情况时，后保持器与后述的前保持器成对地保持基板W。然而，也可以如本实施方式这样不具备后保持器，而使支撑体13在凹槽齿的里侧具有例如呈“く”形状或直线形状的基板保持部，从而利用前保持器与基板保持部保持基板W。这里的支撑体13和后保持器等通过嵌件成型或嵌合等设置在容器主体10。基板W由该支撑体13支撑并收纳在容器主体10中。此外，作为基板W的一个例子，可以列举出硅晶圆，但是没有特别的限制，例如可以是石英晶圆、砷化镓晶圆等。在容器主体10的顶部的中央部，可拆装地设置有机器人凸缘14。以清洁状态气密性收纳基板W的基板收纳容器1由工厂中的搬运机器人夹持机器人凸缘14，从而被搬运到加工基板W的每个工序的加工装置。另外，在容器主体10的两侧部的外表面中央部，分别可拆装地安装有供作业者把持的手动握柄15。图2是表示容器主体10的阀体40的剖面示意图。如图2所示，在容器主体10的内侧底面部101设置有供气部16和排气部17，且在容器主体10的外侧底板102设置有与供气部16相对应的气体导入部50和与排气部17相对应的气体排出部51。此外，在供气部16或排气部17配置有过滤气体的过滤片44。在内侧底面部101和外侧底板102之间设置有用于连通供气部16和气体导入部50的供气流路60(气体流路)以及用于连通排气部17和气体排出部51的排气流路70(气体流路)。此外，后述的阀体40安装在作为气体流本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板收纳容器，其特征在于具备：/n容器主体，其收纳基板；以及/n盖体，其封闭所述容器主体的开口；以及/n阀体，其控制气体向所述容器主体的流通；/n其中，所述阀体具有：/n筒体，其形成有开放端部，并具有内部空间；以及/n栓部，其将所述内部空间分隔成第一空间与第二空间，并到达所述开放端部；/n以及弹性体，其覆盖所述开放端部以及所述栓部；/n其中，所述第一空间具有连通至所述容器主体的外部的第一连通孔；并且所述第二空间具有连通至所述容器主体的内部的第二连通孔；/n所述弹性体通过与所述栓部紧密相接或与所述栓部分离，从而控制气体向所述容器主体的流通。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180313 JP 2018-0450641.一种基板收纳容器，其特征在于具备：
容器主体，其收纳基板；以及
盖体，其封闭所述容器主体的开口；以及
阀体，其控制气体向所述容器主体的流通；
其中，所述阀体具有：
筒体，其形成有开放端部，并具有内部空间；以及
栓部，其将所述内部空间分隔成第一空间与第二空间，并到达所述开放端部；
以及弹性体，其覆盖所述开放端部以及所述栓部；
其中，所述第一空间具有连通至所述容器主体的外部的第一连通孔；并且所述第二空间具有连通至所述容器主体的内部的第二连通孔；
所述弹性体通过与所述栓部紧密相接或与所述栓部分离，从而控制气体向所述容器主体的流通。


2.如权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
其中，所述弹性体为板状，且以使所述气体仅在所述第一空间、所述第二空间流动的方式，将所述第一空间侧的开放端部与所述栓部之间、以及所述栓部与所述第二空间侧的开放端部之间分别密封。


3.如权利要求1或者2所述的基板收纳容器，其特征在于，
其中，在对所述第一空间或所述第二空间施加正压的情况时，所述弹性体...

【专利技术属性】
技术研发人员：小川统，
申请(专利权)人：信越聚合物股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP