感测设备制造技术

本发明专利技术提供一种感测设备，其包括：芯片（２０），在其中于基片（１）上形成用于传播电磁波的传输线（２）；用于产生电磁波（１０）的电磁波发生器（７）；耦合装置（９）；以及检测器（５），用于检测经该传输线（２）传播的电磁波在该传输线的任意位置上的电磁波传播状态。通过该检测器（５）检测设置在该传输线（２）附近的对象（４）和该电磁波之间的交互作用，以感测该对象（４）和该电磁波的空间交互状态。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种利用毫米波到太赫波区域中的高频电磁波检测对象的物理性质值等的感测设备和方法。
技术介绍
近年来，已经开发了利用毫米波到太赫(THz)频率(30GHz到30THz)的电磁波的无损感测技术。现在正在开发的这种频带中的电磁波应用领域里的技术例子包括利用安全的荧光设备替代X射线荧光检查仪的成像技术、获得材料的吸收光谱或复介电常数以探测(或者检查)其中的结合状态的光谱技术、分析生命分子的技术以及估计载体浓度或迁移率的技术。 作为一种利用太赫电磁波的感测系统，日本专利申请特开H10-104171号公开了一种准备光电导元件的方法，其中在基片上形成的光电导膜上设置还充当电极的天线并对该光电导元件照射超短脉冲激光以便产生和检测太赫电磁波。由于太赫范围中存在各种材料的吸收线，对于诸如塑料、复合材料等的分析、含水量分析以及生命分子分析的感测技术应用太赫电磁波变得更加重要。通过二维地移动被探测(或被检查)的材料，还可能通过例如基于电磁波吸收系数的差异的成像得到二维图像。 在这种情况下，由于采用空间成像系统迄今一直存在需要对齐光轴的问题，以及测量粉末材料或液体材料时难以提高灵敏度的问本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感测设备，包括：传输线，用于通过它传播电磁波；以及检测装置，用于在该传输线上的任意位置处检测该电磁波的传播状态，其中检测设置在该传输线附近的对象和该电磁波之间的交互作用。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2004-7-30 223665/2004;JP 2005-5-27 154772/2005书定义之外，本发明不受这些特定实施例的限制。 本申请要求2004年7月30日申请的2004-223665号以及2005年5月27日申请的2005-154772号日本专利申请的优先权，这二份专利申请收录作为参考。权利要求1.一种感测设备，包括传输线，用于通过它传播电磁波；以及检测装置，用于在该传输线上的任意位置处检测该电磁波的传播状态，其中检测设置在该传输线附近的对象和该电磁波之间的交互作用。2.依据权利要求1的感测设备，还包括电磁波生成装置。3.依据权利要求2的感测设备，其中传输线和电磁波生成装置设置在同一基片上。4.依据权利要求2的感测设备，其中该电磁波生成装置为电流注入式。5.依据权利要求1的感测设备，其中该检测装置包括薄线形探子。6.依据权利要求1的感测设备，其中该检测装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：尾内敏彦，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]