感测设备制造技术

技术编号:2575912 阅读:227 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供了一种感测设备,用于使用电磁波获得测试试样的信息,所述电磁波包括30GHz至30THz的频率区域内的频率区域,所述感测设备包括:电磁波发送部,其包括多个传输部(4a,4b),用于传播电磁波;以及检测部(3a,3c),其用于接收并检测来自所述多个传输部(4a,4b)的电磁波,其中,构建所述多个传输部(4a,4b)中的至少一个,以使得测试试样(5,6)可以被置于如下部分中,所述部分受传播通过其的电磁波所影响。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种感测设备和方法,用于通过使用电磁波获得例如 目标测试试样的特性的信息,所述电磁波包括主要在毫米波至太赫兹波区域(30GHz至30THz )内的频率区域。
技术介绍
近年来,已经在开发使用毫米波至太赫兹(THz )波频率(30GHz 至30THz)的电磁波的非破环性感测技术。在这样的频带的电磁波的光镜装置的成像技术。此外,现正开发的技术的示例包括用于获得 材料的吸收镨或复数介电常数以检查其中的键合状态的镨技术、用于 分析生物分子的技术、以及用于估计栽流子浓度或迁移率的技术。直到现在,包括还充当电极的天线的光电导设备被适当地使用作 为THz波生成装置的示例(见JP 10-104171A),所述天线被提供在光 电导膜上,所述光电导膜形成在衬底上。图8示出光电导设备的结构示 例。衬底130具有例如以辐射所处理的蓝宝石上硅结构。在衬底130中, 作为光电导材料的硅膜形成在蓝宝石衬底上。以低温生长在GaAs衬底 上的LT-GaAs膜在很多情况下被用作光电导膜。形成在衬底表面中的 双极天线138包括一对双极反馈器138a和138b以及一对双极臂部139a 和139b。光脉沖在间本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感测设备,用于使用电磁波获得测试试样的信息,所述电磁波包括30GHz至30THz的频率区域中的频率区域,所述感测设备包括:    电磁波发送部,其包括多个传输部,用于传播电磁波;以及    检测部,其用于接收并检测来自所述多个传输部的电磁波,    其中,构建所述多个传输部中的至少一个,以使得测试试样能被置于如下部分中,所述部分受传播通过其的电磁波所影响。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:尾内敏彦
申请(专利权)人:佳能株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1