【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种压力测量装置，属于压力传感器。现有压力传感器，都由引压接咀、弹性与敏感元件及包含在同一外壳内，靠近敏感元件的放大器电路等组成。这种结构存在如下问题引压咀无阻尼特性，无法避免测量压力瞬间扰动对精度的不良影响，尤其在高压液体介质测量时扰动产生的水锤效应将可能导致弹性元件瞬间过载使传感器丧失精度、甚至损坏；接咀基座与弹性元件间无应力隔离或单应力隔离设计，不能减小传感器使用安装应力及制造工艺中热应力的不良影响；放大电路离测量点近，易受温度的影响，使得传感器的可靠性与长期稳定性下降。本技术目的在于克服上述不足，提供一种高可靠、高精度、长期稳定的压力传感器。本技术的目的是以如下方式完成的传感器主外壳两端分别有压力敏感元件组件及放大器接线合组件，中间以细颈结构相连，组成一个测量与输出接线的整体。引压咀经通孔将被测流体压力传递到弹性与敏感元件，为敏感元件组件主体；引压咀前端有一可拆卸、带阻尼特性(细孔或阻尼材料)的声学滤波头，后端经基座与弹性元件相连(电子束焊)，基座与弹性元件底部有带应力隔离的沟、槽(双隔离槽)。本技术有如下优点与效果声学滤波头提供对外界高频压力扰动或水锤效应的衰减，防止弹性元件瞬间过载，可延长传感器使用寿命；弹性敏感元件与引压咀基座双应力槽可分别减少传感器使用时安装应力及焊接制造工艺中的剩余应力，提高稳定性；温度承受能力较低的放大器(或调节电路)远离与测量介质接触的安装处，细颈结构、独立外壳，减少从接咀、壳体至精密电子元器间的热传导，提高传感器工作的稳定性，便于维修。以下结合附图对技术进行说明。附图说明图1是技术的剖视图。图2是技术...
【技术保护点】
一种离子束溅射沉积薄膜压力传感器，由外壳、接管咀、敏感元件及放大电路等组成，其特征是：主外壳［６］两端分别有压力敏感元件组件［３］及放大器、接线合组件［９］，中间以细颈结构［７］相连；引压咀［１］下端有阻尼声学滤波头［２］，上端经基座与弹性元件相连，基座与弹性元件底部有带应力隔离的沟槽。
【技术特征摘要】
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