膜片的制造制造技术

一种在圆片中蚀刻出空腔之后，利用精密磨削技术制造膜片的方法。公开了一种基于多孔硅牺牲层的使用，防止膜片变形的技术。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及精密加工的硅膜片，更具体地说，涉及制造这种膜片的方法。许多微型机械器件的工作原理采用使用柔性膜片作为挠性部件，通常用作无源换能元件。含有柔性膜片的各种器件包括精密加工的压力传感器，麦克风及各种微型流体器件，例如微型泵及喷墨印刷头。制造过程中膜片的几何公差，以及膜片与器件其它部分的热相容性对整体器件性能具有很大的影响，尤其是在诸如低压传感或者精确的皮升容量液体处理之类的应用中更是如此。由于精密加工时代的开始，已在膜片的材料和几何形状控制方面，采用了不同的解决方案。压力传感器从其早期阶段就采用薄的硅膜片作为传感元件。简单地通过对暴露的硅区域进行各向异性蚀刻，同时借助计时蚀刻，或者借助诸如重硼掺杂或反向p-n结点形成之类的蚀刻终止(etch-stop)技术，控制膜片的厚度，形成膜片。喷墨印刷头和微型泵中的挠性元件通过由不锈钢，玻璃或硅制成。在E.Stemme和S.Larsson的“The piezoelectric capillaryinjector-A new hydrodynamic method for dot pattern generation”，IEEE Trans本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造位于空腔上的膜片的方法，该方法包括通过磨削减小圆片的厚度，并在膜片下形成一个空腔。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：哈罗德S冈布尔，SJ内尔米切尔，安德尔泽普鲁查斯卡，斯蒂芬皮特非茨杰拉尔德，
申请(专利权)人：兰道克斯实验有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]