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一种在圆片中蚀刻出空腔之后，利用精密磨削技术制造膜片的方法。公开了一种基于多孔硅牺牲层的使用，防止膜片变形的技术。...
该专利属于兰道克斯实验有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过兰道克斯实验有限公司授权不得商用。

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