一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法技术

本发明专利技术公开了一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，包括以下步骤：用清洗液对掩膜版表面进行清洗；将掩膜版置于流动的清水中冲洗，冲洗结束后沥干；将掩膜版浸泡在35‑45℃的无水乙醇中30‑60min，取出后，用鼓风机风干表面乙醇；利用喷涂的方式使纳米涂料均匀附着到掩膜版表面形成厚度为20‑40nm的纳米涂层，将表面喷涂有纳米涂料的掩膜版在室温下放置1‑3h后，再转移至加热装置中在65‑70℃下保温烘干即可，由于纳米涂层的存在，使得掩膜版使用寿命大大提高，可以反复蒸镀100次以上，而且在使用过程中，杜绝了由于有机材料或金属材料掉成片掉落的情况，蒸镀提高合格率，也不需要耗费大量时间来清洗掩膜版上残留的蒸镀材料，提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法
本专利技术掩膜版
，具体涉及一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法。
技术介绍
近年来，作为平板显示器，液晶显示装置或具备有机电致发光元件的显示装置受到瞩目。液晶显示装置的电力消耗少，但是为了获得明亮的画面，需要外部照明(背光)。对此，具备有机电致发光元件的显示装置的有机电致发光元件是自发光型的元件，因此不需要像液晶显示装置那样的背光。因此，具备有机电致发光元件的显示装置在具有省电特征的同时，还具有高辉度和广视角的特征。有机电致发光元件在阳极和阴极间具备含有由有机化合物构成的发光层的功能层。作为形成这种功能层的方法，已知有真空蒸镀法等气相法、使用功能层形成材料溶解或分散于溶剂中而得的溶液的液相法。通过真空蒸镀形成功能层的情况下，使掩膜版靠近基板，介由掩膜版对阴极、空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层、阳极各层进行图案形成。此时使用的特别是用于RGB层的细微图案化的蒸镀用掩膜版非常精密，因此难以制造且非常昂贵。但是，在有机EL元件的有机层的图案形成中，如果多次使用同一掩膜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，其特征在于，包括以下步骤：/n(1)用4-氨基苯硼酸、清洗助剂、去离子水组成的清洗液对掩膜版表面进行清洗，除去掩膜版表面的油渍、脏污、灰尘；/n(2)将掩膜版置于流动的清水中冲洗，冲洗结束后沥干；/n(3)将掩膜版浸泡在35-45℃的无水乙醇中30-60min，取出后，用鼓风机风干表面乙醇；/n(4)利用喷涂的方式使纳米涂料均匀附着到掩膜版表面形成厚度为20-40nm的纳米涂层，所述纳米涂料由以下重量份数的原料组成：/n

【技术特征摘要】
1.一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)用4-氨基苯硼酸、清洗助剂、去离子水组成的清洗液对掩膜版表面进行清洗，除去掩膜版表面的油渍、脏污、灰尘；
(2)将掩膜版置于流动的清水中冲洗，冲洗结束后沥干；
(3)将掩膜版浸泡在35-45℃的无水乙醇中30-60min，取出后，用鼓风机风干表面乙醇；
(4)利用喷涂的方式使纳米涂料均匀附着到掩膜版表面形成厚度为20-40nm的纳米涂层，所述纳米涂料由以下重量份数的原料组成：



(5)将表面喷涂有纳米涂料的掩膜版在室温下放置1-3h后，再转移至加热装置中在65-70℃下保温烘干即可。


2.如权利要求1所述的延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，其特征在于，所述清洗助剂为三聚磷酸钠与AntaroxBL330、Antarox17R4、Antarox17R2、AntaroxFM63中的至少一种复合而成。


3.如权利要求2所述的延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，其特征在于，所述清洗助剂为三聚磷酸钠与AntaroxFM63按质量比1：1-1.6复合而成。


4.如权利要求1所述的延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法，其特征在于，所述4-氨基苯硼酸、清洗助剂、去离子水的质量比为1：0.1-0....

【专利技术属性】
技术研发人员：钱超，吴建，
申请(专利权)人：常州高光半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32