一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法技术

本发明专利技术提供一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法，本发明专利技术方法在拉伸前的掩膜版上设置激光标记点，通过实际点与理论点之间的距离来检测是否合格，可以在掩膜版用于蒸镀之前对掩膜版张网精确度进行检测，防止掩膜版投入使用后才发现张网不合格导致的蒸镀材料以及设备使用的能源浪费，而且本发明专利技术方法操作简单，检测效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法
本专利技术属于掩膜版
，尤其是涉及一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法。
技术介绍
有机发光二极管(OLED，OrganicLightEmittingDiode)显示是一种应用在平板显示领域的新技术，因其具有包括广视角、广色域、高对比度、低功耗等优点，近年来发展迅速并已成功量产。在生产OLED显示屏的过程中，多层金属材料、无机材料或有机材料需采用蒸镀的方式逐层沉积到玻璃基板上。在蒸镀制程中，金属掩膜版被用来遮挡待蒸镀的玻璃基板以形成特定图案，金属掩膜版可以分为普通金属掩膜版(CommonMetalMask，缩写：CMM)和高精度的精细金属掩膜版(FineMetalMask，缩写：FMM)，分别用于不同膜层的沉积。在蒸镀前，需要使用张网设备将网格状的CMM或多张条状的FMM对位并焊接到金属掩膜版框架上，这种工艺被称为张网工艺。在张网过程中，为了保证各发光层能够被蒸镀在玻璃基板正确的位置上，张网过程中需要对CMM或FMM的每个端部施加一定的拉力并使得其上的每一个标记点都对位到需求的精度规格本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1：在精密掩膜版的两侧长边中点对称焊接有校准点(3)；/nS2：以两个校准点(3)的中点为原点建立直角坐标系，将掩膜版(1)分割成四个象限块；/nS3：在四个象限块内选取四个激光标记点a，b，c，d；/nS4：计算激光标记点a，b，c，d的拉伸后理论点A

【技术特征摘要】
1.一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：在精密掩膜版的两侧长边中点对称焊接有校准点(3)；
S2：以两个校准点(3)的中点为原点建立直角坐标系，将掩膜版(1)分割成四个象限块；
S3：在四个象限块内选取四个激光标记点a，b，c，d；
S4：计算激光标记点a，b，c，d的拉伸后理论点A1，B1，C1，D1；
S5：检测并获取四个激光标记点a，b，c，d在拉伸后的掩膜版(1)实际位置点A2，B2，C2，D2坐标；
S6：设定误差阈值μ，分别计算实际位置点A2，B2，C2，D2与对应的理论点A1，B1，C1，D1的绝对距离L；
S7：所有点的绝对距离L都小于误差阈值μ时，则为合格。


2.根据权利要求1所述的一种精密金属掩膜版张网拉伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱超，杨柯，牛恩众，余强根，
申请(专利权)人：常州高光半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32