一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法技术

本发明专利技术提供一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法，本发明专利技术方法在拉伸前的掩膜版上设置激光标记点，通过实际点与理论点之间的距离来检测是否合格，可以在掩膜版用于蒸镀之前对掩膜版张网精确度进行检测，防止掩膜版投入使用后才发现张网不合格导致的蒸镀材料以及设备使用的能源浪费，而且本发明专利技术方法操作简单，检测效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法
本专利技术属于掩膜版
，尤其是涉及一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法。
技术介绍
有机发光二极管(OLED，OrganicLightEmittingDiode)显示是一种应用在平板显示领域的新技术，因其具有包括广视角、广色域、高对比度、低功耗等优点，近年来发展迅速并已成功量产。在生产OLED显示屏的过程中，多层金属材料、无机材料或有机材料需采用蒸镀的方式逐层沉积到玻璃基板上。在蒸镀制程中，金属掩膜版被用来遮挡待蒸镀的玻璃基板以形成特定图案，金属掩膜版可以分为普通金属掩膜版(CommonMetalMask，缩写：CMM)和高精度的精细金属掩膜版(FineMetalMask，缩写：FMM)，分别用于不同膜层的沉积。在蒸镀前，需要使用张网设备将网格状的CMM或多张条状的FMM对位并焊接到金属掩膜版框架上，这种工艺被称为张网工艺。在张网过程中，为了保证各发光层能够被蒸镀在玻璃基板正确的位置上，张网过程中需要对CMM或FMM的每个端部施加一定的拉力并使得其上的每一个标记点都对位到需求的精度规格内，然后将其焊接到掩膜框架上。然而金属掩膜版的本身材质制作不均匀和张网机张网拉力不均匀因素都会导致掩膜版上的内部特定图案发生畸变或者相对位置发生变化，也就会导致蒸镀不良率大大提升，所以在将掩膜版用于蒸镀之前需要对张网后的掩膜版进行精度检测。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对上述问题，提供一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法，包括以下步骤：r>S1：在精密掩膜版的两侧长边中点对称焊接有校准点；S2：以两个校准点的中点为原点建立直角坐标系，将掩膜版分割成四个象限块；S3：在四个象限块内选取四个激光标记点a，b，c，d；S4：计算激光标记点a，b，c，d的拉伸后理论点A1，B1，C1，D1；S5：检测并获取四个激光标记点a，b，c，d在拉伸后的掩膜版实际位置点A2，B2，C2，D2坐标；S6：设定误差阈值μ，分别计算实际位置点A2，B2，C2，D2与对应的理论点A1，B1，C1，D1的绝对距离L；S7：所有点的绝对距离L都小于误差阈值μ时，则为合格。进一步的，所述S4具体包括：记录掩膜版1拉伸前的长边长度E1和拉伸后的长边长度E2，计算长边长度E1与长边长度E2的比例系数记录掩膜版1拉伸前的宽边长度F1和拉伸后的宽边长度F2，计算宽边长度F1与宽边长度F2的比例系数β，设激光标记点a坐标为(x，y)，则拉伸后理论点A1的坐标则为进一步的，所述步骤S1中焊接的校准点在检测完毕后需要切除。进一步的，所述激光标记点a，b，c，d依次两两关于坐标轴对称，设置对称主要是为了反映拉力不均匀区域以及起到对比的作用。进一步的，所述误差阈值μ为30μm。与现有的技术相比具有以下有益效果：本专利技术方法在拉伸前的掩膜版上设置激光标记点，通过实际点与理论点之间的距离来检测是否合格，可以在掩膜版用于蒸镀之前对掩膜版张网精确度进行检测，防止掩膜版投入使用后才发现张网不合格导致的蒸镀材料以及设备使用的能源浪费，而且本专利技术方法操作简单，检测效率高。附图说明图1是本专利技术掩膜版结构示意图；图2是本专利技术掩膜版拉伸点位演示图。图中，1-掩膜版，2-夹持部位，3-校准点。具体实施方式以下实施例仅处于说明性目的，而不是想要限制本专利技术的范围。实施例如图1-2所示，一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法，包括以下步骤：S1：在精密掩膜版的两侧长边中点对称焊接有校准点3；S2：以两个校准点3的中点为原点建立直角坐标系，将掩膜版1分割成四个象限块；S3：在四个象限块内选取四个激光标记点a，b，c，d；S4：记录掩膜版1拉伸前的长边长度E1和拉伸后的长边长度E2，计算长边长度E1与长边长度E2的比例系数记录掩膜版1拉伸前的宽边长度F1和拉伸后的宽边长度F2，计算宽边长度F1与宽边长度F2的比例系数β，设激光标记点a坐标为(x，y)，则拉伸后理论点A1的坐标则为以此计算出其他点的理论坐标；S5：检测并获取四个激光标记点a，b，c，d在拉伸后的掩膜版1实际位置点A2，B2，C2，D2坐标；S6：设定误差阈值μ，分别计算实际位置点A2，B2，C2，D2与对应的理论点A1，B1，C1，D1的绝对距离L；S7：所有点的绝对距离L都小于误差阈值μ时，则为合格，误差阈值μ是根据掩膜版在蒸镀时的良率以及生产经验来设定的参数，不同尺寸的掩膜版对应设定的误差阈值μ也不同，作为本实施例的误差阈值μ设定为30μm。检测完毕后，将所述步骤S1中焊接的校准点3切除。本专利技术方法在拉伸前的掩膜版上设置激光标记点，通过实际点与理论点之间的距离来检测是否合格，可以在掩膜版用于蒸镀之前对掩膜版张网精确度进行检测，防止掩膜版投入使用后才发现张网不合格导致的蒸镀材料以及设备使用的能源浪费，而且本专利技术方法操作简单，检测效率高。本专利技术可以以其他的具体形式实现，而不脱离其精神和本质特征。因此，当前的实施例在所有方面都被看作是示例性的而非限定性的，本专利技术的范围由所附权利要求而非上述描述定义，并且，落入权利要求的含义和等同物的范围内的全部改变从而都被包括在本专利技术的范围之中。并且，在不同实施例中出现的不同技术特征可以进第一组合，以取得有益效果。本领域技术人员在研究附图、说明书及权利要求书的基础上，应能理解并实现所揭示的实施例的其他变化的实施例。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1：在精密掩膜版的两侧长边中点对称焊接有校准点(3)；/nS2：以两个校准点(3)的中点为原点建立直角坐标系，将掩膜版(1)分割成四个象限块；/nS3：在四个象限块内选取四个激光标记点a，b，c，d；/nS4：计算激光标记点a，b，c，d的拉伸后理论点A

【技术特征摘要】
1.一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：在精密掩膜版的两侧长边中点对称焊接有校准点(3)；
S2：以两个校准点(3)的中点为原点建立直角坐标系，将掩膜版(1)分割成四个象限块；
S3：在四个象限块内选取四个激光标记点a，b，c，d；
S4：计算激光标记点a，b，c，d的拉伸后理论点A1，B1，C1，D1；
S5：检测并获取四个激光标记点a，b，c，d在拉伸后的掩膜版(1)实际位置点A2，B2，C2，D2坐标；
S6：设定误差阈值μ，分别计算实际位置点A2，B2，C2，D2与对应的理论点A1，B1，C1，D1的绝对距离L；
S7：所有点的绝对距离L都小于误差阈值μ时，则为合格。


2.根据权利要求1所述的一种精密金属掩膜版张网拉伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱超，杨柯，牛恩众，余强根，
申请(专利权)人：常州高光半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32