一种用于比对光谱的方法和装置制造方法及图纸

本申请实施例的目的是提供一种用于比对光谱的方法和装置。所述方法包括：对于需要进行比对的多个光谱对象，获取所述光谱对象对应的趋势相关信息，其中，所述趋势相关信息用于指示光谱对象的光谱值随波长变化的趋势，所述多个光谱对象为具有相同波长点集合的光谱；根据所述趋势相关信息，对所述光谱对象的光谱匹配度进行评定。本申请实施例具有以下优点：通过在评定光谱匹配度时将光谱值随波长变化的趋势作为参考值，提升了评定光谱匹配的准确性；根据本申请实施例，基于趋势光谱和现有技术的比对参考值，综合评定光谱匹配度，进一步提升了评定光谱匹配的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于比对光谱的方法和装置
本专利技术涉及计算机
，尤其涉及一种用于比对光谱的方法和装置。
技术介绍
现有技术中，半导体器件的膜厚和关键尺寸测量均需比对光谱，即将从样品采集到的光谱与理论计算的光谱比对，然后通过分析获取被测样品的参数信息。例如，设测量的光谱为S1(λi,i＝1,2,3,…n)，理论光谱为S2(λi,i＝1,2,3,…n)，现有技术通常直接计算光谱S1与S2的均方根误差(RootMeanSquareError，RMSE)或拟合度(GoodnessofFit，GOF)，作为光谱比对的评定标准。其中，光谱S1与S2的RMSE的计算公式如下：当作为光谱比对的评定标准时，RMSE越小，比对的两条光谱S1(λi)和S2(λi)越接近或相似。然而，该方法存在不足。例如比较一条光谱S与另外若干条光谱的匹配度时，可能会出现光谱间的RMSE或GOF相同，但实际上匹配度存在优劣的情况。这种时候，仅靠原光谱间的RMSE或GOF无法评定光谱S与哪一条光谱更接近或相似，需要借助更多的手段来解决该问题。
技术实现思路
本申请实施例的目的是提供一种用于比对光谱的方法和装置。本申请实施例提供了一种用于比对光谱的方法，其中，所述方法包括：对于需要进行比对的多个光谱对象，获取所述光谱对象对应的趋势相关信息，其中，所述趋势相关信息用于指示光谱对象的光谱值随波长变化的趋势，所述多个光谱对象为具有相同波长点集合的光谱；根据所述趋势相关信息，对所述光谱对象的光谱匹配度进行评定。其中，所述光谱匹配度用于表征两条光谱接近或相似的程度。本申请实施例提供了一种用于比对光谱的装置，其中，所述装置包括：用于对于需要进行比对的多个光谱对象，获取所述光谱对象对应的趋势相关信息的装置，其中，所述趋势相关信息用于指示光谱值随波长变化的趋势，所述光谱对象为具有相同波长点集合的光谱；用于根据所述趋势相关信息，对所述光谱对象的光谱匹配度进行评定的装置。本申请实施例提供了一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如本申请实施例所述的方法。本申请实施例提供了一种计算机可读的存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现如本申请实施例所述的方法。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点：通过在评定光谱匹配度时将光谱值随波长变化的趋势作为参考值，提升了评定光谱匹配的准确性；根据本申请实施例，基于趋势光谱和现有技术的比对参考值，综合评定光谱匹配度，进一步提升了评定光谱匹配的准确性。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1示出了根据本申请实施例的用于比对光谱的方法流程图；图2示出了根据本申请实施例的用于比对光谱的装置的结构示意图；附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。具体实施方式在更加详细地讨论示例性实施例之前应当提到的是，一些示例性实施例被描述成作为流程图描绘的处理或方法。虽然流程图将各项操作描述成顺序的处理，但是其中的许多操作可以被并行地、并发地或者同时实施。此外，各项操作的顺序可以被重新安排。当其操作完成时所述处理可以被终止，但是还可以具有未包括在附图中的附加步骤。所述处理可以对应于方法、函数、规程、子例程、子程序等等。这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本申请的示例性实施例的目的。但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。应当理解的是，虽然在这里可能使用了术语“第一”、“第二”等等来描述各个单元，但是这些单元不应当受这些术语限制。使用这些术语仅仅是为了将一个单元与另一个单元进行区分。举例来说，在不背离示例性实施例的范围的情况下，第一单元可以被称为第二单元，并且类似地第二单元可以被称为第一单元。这里所使用的术语“和/或”包括其中一个或更多所列出的相关联项目的任意和所有组合。应当理解的是，当一个单元被称为“连接”或“耦合”到另一单元时，其可以直接连接或耦合到所述另一单元，或者可以存在中间单元。与此相对，当一个单元被称为“直接连接”或“直接耦合”到另一单元时，则不存在中间单元。应当按照类似的方式来解释被用于描述单元之间的关系的其他词语(例如“处于...之间”相比于“直接处于...之间”，“与...邻近”相比于“与...直接邻近”等等)。这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所陈述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。还应当提到的是，在一些替换实现方式中，所提到的功能/动作可以按照不同于附图中标示的顺序发生。举例来说，取决于所涉及的功能/动作，相继示出的两幅图实际上可以基本上同时执行或者有时可以按照相反的顺序来执行。下面结合附图对本申请实施例作进一步详细描述。图1示出了根据本申请实施例的用于比对光谱的方法流程图。参照图1，在步骤S1中，对于需要进行比对的多个光谱对象，获取所述光谱对象对应的趋势相关信息。其中，所述需要进行比对的多个光谱对象为具有相同波长点集合的光谱。如果输入光谱的波长点集合不同，则将输入光谱转化为具有相同波长点集合的光谱，以作为需要进行比对的光谱对象。根据一个实施例，将输入光谱转化为具有相同波长点集合的光谱的步骤包括：找到输入光谱波长点集合的区间交集W；取任一或指定某一光谱的波长点集在区间W内的点集C；通过将其它光谱的光谱值以波长点集C为基准进行插值，获得具有相同波长点集C的转化光谱。需要说明的是，上述将输入光谱转化为具有相同波长点集合的光谱的举例仅为更好地说明本专利技术的技术方案，而非对本专利技术的限制，本领域技术人员应该理解。其中，所述趋势相关信息用于指示光谱对象的光谱值随波长变化的趋势。优选地，趋势相关信息包括光谱对象的趋势光谱。其中，所述趋势光谱用于指示光谱对象的光谱点之间的相对关系。该相对关系可通过多种算式来体现，例如相减，相除，倒数计算，求导，加权，跨点操作等等。根据一个实施例，在步骤S1中基于预定的计算规则，计算所述光谱对象的趋势光谱，作为其趋势相关信息。其中，趋势光谱的计算方法包括但不限于以下任一种：1)差值法；2)比值法；3)多点加权差值法；4)多点加权比值法；5)倒数差值法；6)多点倒数加权差值法；7)导数法；8)多点加权导数法。需要说明的是，本领域技术人员应熟悉，可采用多种趋势光谱的计算方法本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于比对光谱的方法，其中，所述方法包括：/n对于需要进行比对的多个光谱对象，获取所述光谱对象对应的趋势相关信息，其中，所述趋势相关信息用于指示光谱对象的光谱值随波长变化的趋势，所述多个光谱对象为具有相同波长点集合的光谱；/n根据所述趋势相关信息，对所述光谱对象的光谱匹配度进行评定。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于比对光谱的方法，其中，所述方法包括：
对于需要进行比对的多个光谱对象，获取所述光谱对象对应的趋势相关信息，其中，所述趋势相关信息用于指示光谱对象的光谱值随波长变化的趋势，所述多个光谱对象为具有相同波长点集合的光谱；
根据所述趋势相关信息，对所述光谱对象的光谱匹配度进行评定。


2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述获取光谱对应趋势相关信息包括：
基于预定的计算规则，计算所述光谱对象的趋势光谱，作为其趋势相关信息。


3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述对所述光谱对象的光谱匹配度进行评定包括：
根据各个光谱对象的趋势光谱的对应点，计算相应的第一评定值；
根据所述第一评定值，对所述光谱对象的光谱匹配度进行评定。


4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述对所述光谱对象的光谱匹配度进行评定包括：
根据各个光谱对象的趋势光谱的对应点，计算相应的第一评定值；
根据各个光谱对象对应的光谱值，计算相应的第二评定值；
根据所述第一评定值和第二评定值，对所述光谱对象的光谱匹配度进行评定。


5.根据权利要求3或4所述的方法，其中，所述第一评定值和第二评定值包括以下任一...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄鲲，史丹丹，王金歌，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31