掩膜版除尘除油设备制造技术

本发明专利技术公开了掩膜版除尘除油设备，包括清洗箱，所述清洗箱的顶部外壁固定连接有注水管，所述清洗箱的顶部外壁固定连接有注液管，所述注水管的顶部外壁开设有注水孔，所述注液管的顶部外壁开设有注液孔，所述注水管、注液管的外壁之间固定连接有导管，所述导管的数量为三个，所述注水管、注液管的底部外壁均固定连接有清洗装置。通过设置的注水管与注液管，让掩膜板在进行清洗时，能够持续不断的对掩膜板进行清洗，同时设置的导管连通注水管与注液管，让注入的水流与清洗液进行混合，再经由清洗装置处设置的喷头喷射出去，同时喷孔设置为三孔，让喷射出去的水流能够形成散射，使得清洗范围变广，清洗的效果更好、效率更高。

【技术实现步骤摘要】
掩膜版除尘除油设备
本专利技术属于掩膜板清洗
，具体涉及掩膜版除尘除油设备。
技术介绍
随着现代3C电子产业的高速发展，手机背板纹理、平板显示器、集成电路板中微纳结构的加工工艺越发关键，掩膜曝光就是其中一种。掩膜曝光中所用的掩膜版通常是在石英玻璃上镀一层铬层，并通过曝光腐蚀工艺制作出所需图案。掩膜版脏污后无法进行曝光实验，否则其上的脏污印记会毫无保留的转移到光刻板上。因此，脏污掩膜版的清洗至关重要。然而传统的装置在使用时还存在以下问题：1、由于掩膜板脏污需要人工进行清理，导致了效率慢且清洗的不干净。2、由于掩膜板脏污在清理时无法均匀的对两面进行清洗，需要更换面再次清洗，导致了效率慢且浪费水资源与清洗液资源。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本专利技术目的是提供掩膜版除尘除油设备，具备提高清洗效率且清洗效果好的优点。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：掩膜版除尘除油设备，包括清洗箱，所述清洗箱的顶部外壁固定连接有注水管，所述清洗箱的顶部外壁固定连接有注液管，所述注水管的顶部外壁开设有注水孔，所述注液管的顶部外壁开设有注液孔，所述注水管、注液管的外壁之间固定连接有导管，所述导管的数量为三个，所述注水管、注液管的底部外壁均固定连接有清洗装置，所述清洗装置的一侧外壁固定连接有喷头，所述喷头的外壁开设有喷孔。优选的，所述清洗箱的顶部外壁固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴的底部外壁固定连接有置板框，所述置板框的一侧外壁固定连接有挡帽，所述置板框的一侧外壁固定连接有固定桩，所述固定桩的外壁固定连接有第二转轴，所述第二转轴的外壁固定连接有挡板。优选的，所述挡帽的外壁与挡板的外壁活动连接。优选的，所述挡板的外壁与固定桩的外壁通过设置的第二转轴转动连接。优选的，所述置板框的内壁开设有卡槽。优选的，所述置板框的内壁设置有掩膜板，所述置板框的内壁与掩膜板的外壁通过设置的卡槽活动连接。优选的，所述清洗箱的内壁底部设置有水箱。优选的，所述置板框的顶部外壁与电机的输出端通过设置的第一转轴转动连接。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、通过设置的注水管与注液管，让掩膜板在进行清洗时，能够持续不断的对掩膜板进行清洗，同时设置的导管连通注水管与注液管，让注入的水流与清洗液进行混合，再经由清洗装置处设置的喷头喷射出去，同时喷孔设置为三孔，让喷射出去的水流能够形成散射，使得清洗范围变广，清洗的效果更好、效率更高。2、通过设置的置板框处的卡槽，用于对需清洗的掩膜板进行稳定，同时设置的挡板转动放下，挡板经由设置在固定桩处的第二转轴进行转动，转动到挡帽位置，被挡帽卡住，然后设置的电机带动的置板框带动掩膜板开始转动，这样可以保证掩膜板两面的清洁度，让掩膜板的清洗过程变得简单，方便了掩膜板的清洗，提高了掩膜板的清洗速率。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为本专利技术的水箱处结构示意图；图3为本专利技术的导管处结构示意图；图4为本专利技术的置板框处结构示意图；图5为本专利技术的电机处结构示意图；图6为本专利技术的挡板处结构示意图。图中：1、清洗箱；2、注水孔；3、注液孔；4、导管；5、注水管；6、注液管；7、清洗装置；8、喷头；9、喷孔；10、电机；11、第一转轴；12、置板框；13、挡帽；14、固定桩；15、第二转轴；16、挡板；17、卡槽；18、掩膜板；19、水箱。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-6，本专利技术提供一种技术方案：掩膜版除尘除油设备，包括清洗箱1，清洗箱1的顶部外壁固定连接有注水管5，清洗箱1的顶部外壁固定连接有注液管6，注水管5的顶部外壁开设有注水孔2，注液管6的顶部外壁开设有注液孔3，注水管5、注液管6的外壁之间固定连接有导管4，导管4的数量为三个，注水管5、注液管6的底部外壁均固定连接有清洗装置7，清洗装置7的一侧外壁固定连接有喷头8，喷头8的外壁开设有喷孔9。本实施方案中，通过开始连接电源打开电机10，这时设备开始运行，电机10输出端带动第一转轴11处的置板框12进行转动，这时已经连接好的注水管5与注液管6开始向清洗装置7内注入水流以及清洗液，这时设置的导管4连通注水管5与注液管6，让注入的水流与清洗液进行混合，再经由清洗装置7处设置的喷头8处的喷孔9喷射出去，同时喷孔9设置为三孔，让喷射出去的水流能够形成散射，更好的对掩膜板18进行清洗，使得清洗范围变广。具体的，清洗箱1的顶部外壁固定连接有电机10，电机10的输出端固定连接有第一转轴11，第一转轴11的底部外壁固定连接有置板框12，置板框12的一侧外壁固定连接有挡帽13，置板框12的一侧外壁固定连接有固定桩14，固定桩14的外壁固定连接有第二转轴15，第二转轴15的外壁固定连接有挡板16。本实施例中，本专利技术使用时，先把需要进行清洗的掩膜板18放置在置板框12处开设的卡槽17内，掩膜板18放置完成后，把设置的挡板16转动放下，挡板16经由设置在固定桩14处的第二转轴15进行转动，转动到挡帽13位置，被挡帽13卡住，这时掩膜板18的放置工作已完成，设备开始运行，电机10输出端带动第一转轴11处的置板框12进行转动，这时已经连接好的注水管5与注液管6开始向清洗装置7内注入水流以及清洗液，这时设置的导管4连通注水管5与注液管6，让注入的水流与清洗液进行混合，再经由清洗装置7处设置的喷头8喷射出去，随着混合着清洗液的水流喷射出去的同时，电机10带动的置板框12带动掩膜板18开始转动，这样可以保证掩膜板18两面的清洁度，让掩膜板18的清洗过程变得简单，方便了掩膜板18的清洗。具体的，挡帽13的外壁与挡板16的外壁活动连接。本实施例中，设备使用时，先把需要进行清洗的掩膜板18放置在置板框12处开设的卡槽17内，掩膜板18放置完成后，把设置的挡板16转动放下，挡板16经由设置在固定桩14处的第二转轴15进行转动，转动到挡帽13位置，被挡帽13卡住，这时掩膜板18的放置工作已完成。具体的，挡板16的外壁与固定桩14的外壁通过设置的第二转轴15转动连接。本实施例中，设备使用时，先把需要进行清洗的掩膜板18放置在置板框12处开设的卡槽17内，掩膜板18放置完成后，把设置的挡板16转动放下，挡板16经由设置在固定桩14处的第二转轴15进行转动，转动到挡帽13位置，被挡帽13卡住，这时掩膜板18的放置工作已完成。具体的，置板框12的内壁开设有卡槽17。本实施例中，设备使用时，先把需要进行清洗的掩膜板18放置在置板框12处开设的卡槽17内，这样可以保证掩膜板18的稳定性，使被清洗本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.掩膜版除尘除油设备，包括清洗箱(1)，其特征在于：所述清洗箱(1)的顶部外壁固定连接有注水管(5)，所述清洗箱(1)的顶部外壁固定连接有注液管(6)，所述注水管(5)的顶部外壁开设有注水孔(2)，所述注液管(6)的顶部外壁开设有注液孔(3)，所述注水管(5)、注液管(6)的外壁之间固定连接有导管(4)，所述导管(4)的数量为三个，所述注水管(5)、注液管(6)的底部外壁均固定连接有清洗装置(7)，所述清洗装置(7)的一侧外壁固定连接有喷头(8)，所述喷头(8)的外壁开设有喷孔(9)。/n

【技术特征摘要】
1.掩膜版除尘除油设备，包括清洗箱(1)，其特征在于：所述清洗箱(1)的顶部外壁固定连接有注水管(5)，所述清洗箱(1)的顶部外壁固定连接有注液管(6)，所述注水管(5)的顶部外壁开设有注水孔(2)，所述注液管(6)的顶部外壁开设有注液孔(3)，所述注水管(5)、注液管(6)的外壁之间固定连接有导管(4)，所述导管(4)的数量为三个，所述注水管(5)、注液管(6)的底部外壁均固定连接有清洗装置(7)，所述清洗装置(7)的一侧外壁固定连接有喷头(8)，所述喷头(8)的外壁开设有喷孔(9)。


2.根据权利要求1所述的掩膜版除尘除油设备，其特征在于：所述清洗箱(1)的顶部外壁固定连接有电机(10)，所述电机(10)的输出端固定连接有第一转轴(11)，所述第一转轴(11)的底部外壁固定连接有置板框(12)，所述置板框(12)的一侧外壁固定连接有挡帽(13)，所述置板框(12)的一侧外壁固定连接有固定桩(14)，所述固定桩(14)的外壁固定连接有第二转轴(15)，所述第二转轴(15)的外壁固定连接有...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱超，杨柯，余强根，牛恩众，
申请(专利权)人：常州高光半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32