本发明专利技术涉及环保设备技术领域，且公开了一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，包括过滤箱，所述过滤箱的底面固定连接有支撑架，所述过滤箱顶部的内侧设置有第一过滤部件，所述第一过滤部件顶部的内侧固定套接有进液管，所述过滤箱中部的内侧设置有自清理部件，所述自清理部件的正面固定安装有同步传动部件。本发明专利技术通过第一过滤部件与二次过滤网板相互配合形成双重过滤机构，继而分别对蚀刻机产生的废蚀刻液进行针对大杂质的离心过滤以及针对小杂质的流延过滤，完成对废蚀刻液为循环再生处理前的预处理作业，大大降低后续离子膜电解设备、循环设备等设备的作业负荷以及各种设备内部的存渣量。部的存渣量。部的存渣量。
【技术实现步骤摘要】
一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备
[0001]本专利技术涉及环保设备
，具体为一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备。
技术介绍
[0002]掩膜版是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，然后把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上，被曝光的区域会被显影出来，而后在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，而蚀刻所采用的蚀刻液则是一种铜版画雕刻用原料，从理论上讲，凡能氧化铜而生成可溶性铜盐的试剂，都可以用来蚀刻敷铜箔板，而随着我国对企业环保等方面重视，蚀刻液的可重复使用课题就成为现
中研究的重点，目前针对蚀刻液的回收再生工艺流程通常为：对蚀刻机加工产生的废蚀刻液进行回收至废液收集设备中，然后进行电解，即将废液收集设备中的废蚀刻液泵送至离子膜电解设备中进行电解，随后再调整酸碱值：即把电解后的废蚀刻液通过管道流入循环设备中，循环设备将废蚀刻液的pH值调配到正常参数，一部分泵送回离子膜电解设备中循环使用，而另一部分则过滤后输送到蚀刻机中，由此实现蚀刻液的重复使用，降低对加工废液对环境的污染，但是在最初的收集工序中缺乏针对性的预处理过滤设备，进而导致了后续各工序设备的处理压力以及效率都有较大的影响，再者现有的一些过滤设备虽然也能解决上述问题，但是普遍存在过滤方式单一，效果不理想以及自身清理麻烦等问题，因此，综上所述问题，本申请提供一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备。
专利
技术实现思路
[0003]本专利技术提供了一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]本专利技术提供如下技术方案：一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，包括过滤箱，所述过滤箱的底面固定连接有支撑架，所述过滤箱顶部的内侧设置有第一过滤部件，所述第一过滤部件顶部的内侧固定套接有进液管，所述过滤箱中部的内侧设置有自清理部件，所述自清理部件的正面固定安装有同步传动部件，所述同步传动部件的一侧固定安装有动力部件，所述自清理部件的底部设置有二次过滤网板，所述二次过滤网板固定套接在过滤箱中部的内侧，所述二次过滤网板的底部设置有反冲洗部件和第一泵送部件，所述反冲洗部件以及第一泵送部件的一侧均固定套接在过滤箱底部的内侧，所述过滤箱的底部设置有第二泵送部件。
[0005]精选的，所述第一过滤部件的内部包括有过滤网筒，且过滤网筒中部的内侧固定套接有第一传动轴，所述第一传动轴顶部的表面固定安装有轴承套，所述轴承套中部的表面固定套接有密封板，所述密封板通过螺丝固定安装在过滤箱顶部的内侧，所述第一传动
轴的顶端固定安装有第一伺服电机。
[0006]精选的，所述密封板的表面固定套接有第一密封圈，且第一密封圈活动套接在过滤箱顶部的内侧，所述密封板的顶面固定连接有把手。
[0007]精选的，所述自清理部件的内部包括有两个螺旋杆，且两个螺旋杆活动套接在过滤箱中部的内侧，两个所述螺旋杆的底面与二次过滤网板的顶面活动连接，两个所述螺旋杆一端的外侧各设置有一个输渣管，两个所述输渣管的一端均固定套接在过滤箱中部侧壁的内部，两个所述输渣管另一端的表面螺纹连接有防漏盖。
[0008]精选的，所述防漏盖的顶面活动连接有第二密封圈，且第二密封圈固定套接在输渣管另一端的表面。
[0009]精选的，所述同步传动部件的内部包括有同步带，且同步带两侧的内部各活动套接有一个同步带轮，两个所述同步带轮的内部各固定套接有一个第二传动轴，两个所述第二传动轴一端的表面各固定安装有一个轴用密封圈，两个所述轴用密封圈固定套接在过滤箱中部侧壁的内部，两个所述第二传动轴的另一端与自清理部件内部两个螺旋杆的一端固定安装在一起。
[0010]精选的，所述动力部件的内部包括有小型伞齿轮箱，且小型伞齿轮箱的反面与同步传动部件内部两个第二传动轴中一个的一端固定安装在一起，所述小型伞齿轮箱的顶部固定安装有第二伺服电机，所述第二伺服电机的反面固定安装在过滤箱顶部一侧的正面上。
[0011]精选的，所述反冲洗部件的内部包括有五个冲洗管，且五个冲洗管之间固定安装有固定杆，所述冲洗管的内部开设有喷水槽，所述喷水槽为倾斜状态，所述固定杆套接在过滤箱底部的内侧。
[0012]精选的，所述第一泵送部件的内部包括有分流管，且分流管一端顶部的内侧固定套接有五个支流管，五个所述支流管的一端分别固定套接在反冲洗部件内部五个冲洗管一端的内侧，所述分流管的另一端固定安装有单向阀门，且分流管一端的端口固定安装有第一自吸式水泵，所述第一自吸式水泵的底面固定安装有第一固定板，所述第一固定板的反面固定安装在过滤箱底部一侧的侧壁上。
[0013]精选的，所述第二泵送部件的内部包括有吸液管，且吸液管的一端固定套接在过滤箱顶部的内侧，所述吸液管的另一端固定安装有第二自吸式水泵，所述第二自吸式水泵的一侧固定安装有输液管，所述第二自吸式水泵的底面固定安装有第二固定板，所述第二固定板的一侧固定套接在支撑架底部的内侧。
[0014]本专利技术具备以下有益效果：1、本专利技术通过第一过滤部件与二次过滤网板相互配合形成双重过滤机构，继而分别对蚀刻机产生的废蚀刻液进行针对大杂质的离心过滤以及针对小杂质的流延过滤，完成对废蚀刻液为循环再生处理前的预处理作业，大大降低后续离子膜电解设备、循环设备等设备的作业负荷以及各种设备内部的存渣量。
[0015]2、本专利技术通过自清理部件、同步传动部件、动力部件三者组成自动清理结构，由此实现对二次过滤网板顶部凹陷处过滤废蚀刻液所存积的杂质进行自动清洗输出，降低后续工作人员对装置的维修保养的作业量。
[0016]3、本专利技术通过第一泵送部件、反冲洗部件组成反冲洗机构，继而对二次过滤网板
内部的滤网结构进行自动清洗，避免小杂质堵塞二次过滤网板内部的滤网结构，保证二次过滤网板长周期、高效的过滤效果，优化装置的使用效果，便于推广使用。
[0017]4、本专利技术通过将第一过滤部件行进整体设置且过滤箱通过螺丝锁合安装，一来，十分方便工作人员的组装作业，二来，后续可选择多组更换的模式来维持第一过滤部件长周期、高效的过滤效果，提高装置使用时的舒适性。
附图说明
[0018]图1为本专利技术结构的正视示意图；图2为本专利技术结构示的右视意图；图3为本专利技术结构第一过滤部件的左视示意图；图4为本专利技术结构自清理部件的俯视示意图；图5为本专利技术结构反冲洗部件的俯视示意图；图6为本专利技术结构二次过滤网板的立体示意图。
[0019]图中：1、过滤箱；2、支撑架；3、第一过滤部件；31、过滤网筒；32、第一传动轴；33、轴承套；34、密封板；35、第一伺服电机；36、第一密封圈；37、把手；4、进液管；5、自清理部件；51、螺旋杆；52、输渣管；53、防漏盖；54、第二密封圈；6、同步传动部件；61、同步带；62、同步带轮；63、第二传动轴；64、轴用密封圈；7、动力部件；71、小型伞齿轮箱；72、第二伺服电机；8、二次本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，包括过滤箱（1），其特征在于：所述过滤箱（1）的底面固定连接有支撑架（2），所述过滤箱（1）顶部的内侧设置有第一过滤部件（3），所述第一过滤部件（3）顶部的内侧固定套接有进液管（4），所述过滤箱（1）中部的内侧设置有自清理部件（5），所述自清理部件（5）的正面固定安装有同步传动部件（6），所述同步传动部件（6）的一侧固定安装有动力部件（7），所述自清理部件（5）的底部设置有二次过滤网板（8），所述二次过滤网板（8）固定套接在过滤箱（1）中部的内侧，所述二次过滤网板（8）的底部设置有反冲洗部件（9）和第一泵送部件（10），所述反冲洗部件（9）以及第一泵送部件（10）的一侧均固定套接在过滤箱（1）底部的内侧，所述过滤箱（1）的底部设置有第二泵送部件（11）。2.根据权利要求1所述的一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，其特征在于：所述第一过滤部件（3）的内部包括有过滤网筒（31），且过滤网筒（31）中部的内侧固定套接有第一传动轴（32），所述第一传动轴（32）顶部的表面固定安装有轴承套（33），所述轴承套（33）中部的表面固定套接有密封板（34），所述密封板（34）通过螺丝固定安装在过滤箱（1）顶部的内侧，所述第一传动轴（32）的顶端固定安装有第一伺服电机（35）。3.根据权利要求2所述的一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，其特征在于：所述密封板（34）的表面固定套接有第一密封圈（36），且第一密封圈（36）活动套接在过滤箱（1）顶部的内侧，所述密封板（34）的顶面固定连接有把手（37）。4.根据权利要求1所述的一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，其特征在于：所述自清理部件（5）的内部包括有两个螺旋杆（51），且两个螺旋杆（51）活动套接在过滤箱（1）中部的内侧，两个所述螺旋杆（51）的底面与二次过滤网板（8）的顶面活动连接，两个所述螺旋杆（51）一端的外侧各设置有一个输渣管（52），两个所述输渣管（52）的一端均固定套接在过滤箱（1）中部侧壁的内部，两个所述输渣管（52）另一端的表面螺纹连接有防漏盖（53）。5.根据权利要求4所述的一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，其特征在于：所述防漏盖（53）的顶面活动连接有第二密封圈（54），且第二密封圈（54）固定套接在输渣管（52）另一端的表面。6.根据权利要求1所述的一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，其特征在于：所述同步传动部件（6...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱超，杨柯，牛恩众，余强根，
申请(专利权)人：常州高光半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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