下载一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法的技术资料

文档序号:29784900

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本发明提供一种精密金属掩膜版张网拉伸精确度检测方法,本发明方法在拉伸前的掩膜版上设置激光标记点,通过实际点与理论点之间的距离来检测是否合格,可以在掩膜版用于蒸镀之前对掩膜版张网精确度进行检测,防止掩膜版投入使用后才发现张网不合格导致的蒸镀材...
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