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本发明公开了一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法,包括以下步骤:用清洗液对掩膜版表面进行清洗;将掩膜版置于流动的清水中冲洗,冲洗结束后沥干;将掩膜版浸泡在35‑45℃的无水乙醇中30‑60min,取出后,用鼓风机风干表面乙醇;利用喷涂...该专利属于常州高光半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州高光半导体材料有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种延长掩膜版使用寿命、改善蒸镀质量的方法,包括以下步骤:用清洗液对掩膜版表面进行清洗;将掩膜版置于流动的清水中冲洗,冲洗结束后沥干;将掩膜版浸泡在35‑45℃的无水乙醇中30‑60min,取出后,用鼓风机风干表面乙醇;利用喷涂...