对于平板表面形貌的干涉测量装置制造方法及图纸

一种对于平板表面形貌的干涉测量装置，包括： 〈１〉带有驱动电源（８）的激光光源（７），由激光光源（７）发射的激光束经第三透镜（１１）和第二透镜（４）准直为平行激光束射到待测透明平板（６）上，在第三透镜（１１）和第二透镜（４）之间的光路上置有第一分束器（３）； 〈２〉由物光（Ｇｗ）和参考光（Ｇｃ）产生的干涉光束经第一透镜（２）会聚在光电探测器（１）的接收面上，光电探测器（１）的输出经过模数转换器（１０）输进计算机（９）里； 其特征在于： 〈３〉所说的物光（Ｇｗ）是由待测透明平板（６）反射回来的激光束经过第二透镜（４）和第一分束器（３）的反射后，再透过第四透镜（１２）、第二分束器（１３）、第三分束器（１４）和第五透镜（１５）聚焦于光折变晶体（１６）内，由光折变晶体（１６）返回的光束再透过第五透镜（１５）至第三分束器（１４）上； 〈４〉所说的参考光（Ｇｃ）是由待测透明平板（６）反射回来的激光束经过第二透镜（４）和第一分束器（３）的反射后，再透过第四透镜（１２）射到第二分束器（１３）上，由第二分束器（１３）反射的光束经过置于平移台（２１）上光程差调节器（２２）内的反射镜（２０）的反射，再透过光程差调节器（２２）内的第七透镜（１９）和第六透镜（１８）后经第二反射镜（１７）的反射至第三分束器（１４）上，与上述物光（Ｇｗ）相遇产生干涉光束射向第一透镜（２）。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是一种对于平板表面形貌的干涉测量装置，特别是涉及到测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉的结构。
技术介绍
在测量透明平板的表面形貌时，除了被测前外表面的反射光外，还存在透明平板后内表面的反射光。因此，干涉信号中除了被测前外表面反射光与参考光Gc所产生的干涉信号外，还包括了被测前外表面反射光与透明平板后内表面反射光所产生的干涉信号，以及后内表面反射光与参考光Gc所产生的干涉信号，这些噪音使得难以正确得到透明平板被测前外表面的表面形貌。为解决这个问题，美国的Peter de Groot提出使用波长可调半导体激光移相干涉仪实现了透明平板外表面形貌的测量(参见在先技术Peter de Groot，“Measurement of transparent plates with wavelength-tuned phase-shiftinginterferometry，”Appl.Opt.2001，39(16)，2658-2663)。其干涉仪如图1所示。激光光源7为半导体激光器，它的波长由驱动电源8改变激光光源7的注入电流来调制。激光光源7发出的光束由第一分束器3反射，反射光经过第二透镜4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：钱锋，王向朝，王学锋，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：