【技术实现步骤摘要】
表面形貌抗振干涉测量系统
本专利技术涉及一种表面形貌特征的测量方法。技术背景随着精密加工技术的飞速发展，精密检测技术所面临的挑战日益严峻，以表面测量为代表的现代精密测量技术也受到了越来越多的关注。在表面测量技术中，光学干涉测量具有非接触、快速性、高精度等优点，并能准确直观地获取被测工件表面的面形、波纹度以及粗糙度等信息。相移干涉仪在精密测量领域占有重要的地位，获得了比较广泛的应用，但其采用激光或单波长光源作为系统的测量光源，会产生相位不确定问题，限制了测量深度。白光垂直扫描干涉仪采用低相干光源作为其测量光源，解决了相位不确定问题，但实现轴向的垂直扫描需要昂贵的微位移平台，这也在一定程度上限制了数据采集速度。为了取代垂直扫描干涉仪中的机械运动部件，可使用波长可调节激光源或白光源加上可控的波长扫描装置来实现波长扫描。为了控制产品加工质量、提高生产效率以及降低废品率，发展表面形貌在线测量方法至关重要。但是，工业现场往往存在着大量的机器运转振动噪声，空气扰动噪声等，对测量系统产生了极大的干扰。因此，增强白光波长扫描干涉测量仪的抗干扰能力，开展表面形貌伺服抗振系统的...
【技术保护点】
表面形貌抗振干涉测量系统，其特征在于：该测量系统包括白光光源，将白光光源过滤成单色光的声光可调滤光器（AOTF），和使单色光分成两路的第一分光镜，一路单色光经第一物镜入射到被测工件，另一路单色光经第二物镜入射到参考反射镜，入射到被测工件和参考反射镜的单色光被反射后在第一分光镜处汇合并产生干涉，干涉光经第二分光镜分成两路，第一路干涉光进入用于获取被测工件的表面形貌的测量模块，第二路干涉光进入用于抑制噪声干扰的补偿模块；声光可调滤光器依次与驱动器，单片机扫频模块和声光可调滤光器与DSP模块控制单元连接，单片机扫频模块由声光可调滤光器与DSP模块控制单元触发；测量模块包括CCD相...
【技术特征摘要】
1.表面形貌抗振干涉测量系统，其特征在于:该测量系统包括白光光源，将白光光源过滤成单色光的声光可调滤光器(AOTF)，和使单色光分成两路的第一分光镜，一路单色光经第一物镜入射到被测工件，另一路单色光经第二物镜入射到参考反射镜，入射到被测工件和参考反射镜的单色光被反射后在第一分光镜处汇合并产生干涉，干涉光经第二分光镜分成两路，第一路干涉光进入用于获取被测工件的表面形貌的测量模块，第二路干涉光进入用于抑制噪声干扰的补偿模块；声光可调滤光器依次与驱动器，单片机扫频模块和声光可调滤光器与DSP模块控制单元连接，单片机扫频模块由声光可调滤光器与DSP模块控制单元触发； 测量模块包括CCD相机和计算机，测量模块工作时单片机扫频模块采用低速扫频模式，第一路干涉光经第一成像透镜进入CXD相机，CXD相机采集第一路干涉光形成的干涉图像并将干涉图像输入计算机中，计算机计算获得被测工件的表面三维形貌； 声光可调滤光器与DSP模块控制单元受...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹衍龙，吴紫涧，管佳燕，徐朋，李博，张哲嘉，吴涛，周威杰，叶雪峰，赵奎，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：实用新型
国别省市：
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