一种微孔内表面粗糙度的检测方法及其装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
一种微孔内表面粗糙度的检测方法及其装置
本专利技术涉及光电子技术测量领域，具体是一种微孔内表面粗糙度的检测方法及其装置。
技术介绍
随着现代科学技术的进步和发展，各种超精度加工技术的出现，高质量表面加工得以实现，从而对表面粗糙度侧量提出了越来越高的要求。而且在一些高尖端
，产品越来越多的呈现微型化的发展趋势，其中微孔器件在机械、仪表、航空、电子、生物医疗和纺织工业的应用越来越广泛。随之而来的问题是如何对微孔内壁的表面粗糙度的检验，目前的比较常用的方法测量微孔内壁表面的粗糙度的方法按照测量原理和实现方式的不同，一般可分为比较测量法、机械触针法、电子显微镜法、光学法及其它一些综合测量方法等。然而在某些领域，比如在航空工业上，大飞机发动机和火箭发动器喷注器小孔直径均在400μm以下，以上方法多少受到限制，比如用机械触针法，很难伸入微孔中，而生产更微型的探针则成本过高等。这些微孔内壁质量直接影响到整个产品的使用性能和寿命，特别是对于运转速度快、装配精度高、密封性要求严且高温作业下的产品，其影响作用表现得更加突出。多年来，微孔内壁粗糙度的测量的问题始终是实验和理论研究...
【技术保护点】
一种微孔内表面粗糙度的检测方法，其特征在于包括以下步骤：1）将激光发射器，光电探测器导通电源，预热10?30分钟；2）将已知微孔内壁粗糙度的标准样块放置在工作台上，并用夹具固定，调整三维工作台，使RIM_FOS传感器发射激光在经过微孔轴线的平面上，与样块间距为2?4mm，并调整传感器夹具使RIM_FOS传感器与水平面呈30?60°；3）由光电传感器采集激光经样品块微孔内部粗糙度调制后的两组光通量，将数据处理得到相应电压U1和U2后保存于上位机中；4)选择若干已知微孔内壁粗糙度的标准样块，重复步骤2）3），上位机将所得数据进行处理，分别记录各微孔对应的两组光通量产生的电压U1...
【技术特征摘要】
1.一种微孔内表面粗糙度的检测方法，其特征在于包括以下步骤：1)将激光发射器，光电探测器导通电源，预热10-30分钟；2)将已知微孔内壁粗糙度的标准样块放置在三维工作台上，并用夹具固定，调整三维工作台，使RIM_FOS传感器发射激光在经过微孔轴线的平面上，与标准样块间距为2-4mm，并调整传感器夹具使RIM_FOS传感器与水平面呈30-60°；3)由光电探测器采集激光经标准样块微孔内部粗糙度调制后的两组光通量，将数据处理得到相应电压U1和U2后保存于上位机中；4)选择若干已知微孔内壁粗糙度的标准样块，重复步骤2)3)，上位机将所得数据进行处理，分别记录各微孔对应的两组光通量产生的电压U1和U2的比值，由于微孔内壁粗糙度σ2和两组光通量产生的电压U1和U2的比值成非线性关系：根据统计的数据对f(x)进行标定；5)将步骤2)中的标准样块换成待测样块，重复步骤2)3)，将所得U1和U2带入公式中，实现对待测微孔内部粗糙度的评定。2.根据权利要求1所述的微孔内表面粗糙度的检测方法，其特征在于：所述的标准样块的微孔成排设置，步骤3)中，通过三维工作台的调整，先对单个微孔四个互成90°的方位进行多点采样，再对标准样块上成排的微...
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