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本发明提供了一种微孔内表面粗糙度的检测方法及其装置，采集经粗糙面强度调制的不同位置的漫散射光通量进行粗糙度评定，两组光通量产生电压的比值与粗糙度成非线性关系，先将已知粗糙度的微孔进行标定，再将待测微孔与标定值进行对比，即检测出待测微孔的粗糙...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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