【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】表面形貌抗振干涉测量系统，包括白光光源，声光可调滤光器，第一分光镜，第二分光镜，测量模块和补偿模块；声光可调滤光器依次与驱动器，单片机扫频模块和声光可调滤光器与DSP模块控制单元连接，单片机扫频模块由声光可调滤光器与DSP模块控制单元触发；测量模块包括CCD相机和计算机，测量模块工作时单片机扫频模块采用低速扫频模式，声光可调滤光器与DSP模块控制单元受控于计算机；补偿模块包括光电探测器，DSP控制模块和压电陶瓷，补偿模块工作时单片机扫频模块采用高速扫频模式。本专利技术具有只需使用一个光源即可实现振动补偿的，能够实现在线测量，结构简单、价格低廉的优点。【专利说明】表面形貌抗振干涉测量系统
本专利技术涉及一种表面形貌特征的测量方法。技术背景随着精密加工技术的飞速发展，精密检测技术所面临的挑战日益严峻，以表面测量为代表的现代精密测量技术也受到了越来越多的关注。在表面测量技术中，光学干涉测量具有非接触、快速性、高精度等优点，并能准确直观地获取被测工件8表面的面形、波纹度以及粗糙度等信息。相移干涉仪在精密测量领域占有重要的地位，获得了比较广泛的应用，但其...
【技术保护点】
表面形貌抗振干涉测量系统，其特征在于：该测量系统包括白光光源，将白光光源过滤成单色光的声光可调滤光器（AOTF），和使单色光分成两路的第一分光镜，一路单色光经第一物镜入射到被测工件，另一路单色光经第二物镜入射到参考反射镜，入射到被测工件和参考反射镜的单色光被反射后在第一分光镜处汇合并产生干涉，干涉光经第二分光镜分成两路，第一路干涉光进入用于获取被测工件的表面形貌的测量模块，第二路干涉光进入用于抑制噪声干扰的补偿模块；声光可调滤光器依次与驱动器，单片机扫频模块和声光可调滤光器与DSP模块控制单元连接，单片机扫频模块由声光可调滤光器与DSP模块控制单元触发；测量模块包括CCD相...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：曹衍龙，吴紫涧，管佳燕，徐朋，李博，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：
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