一种光栅三维形貌测量仪制造技术

本发明专利技术涉及一种光栅三维形貌测量仪，用于微小视场的检测，包括支架以及与支架连接的投影组件、采集组件和控制处理器，所述的投影组件和采集组件分别与控制处理器连接，所述的投影组件包括由内向外依次连接的DMD芯片、LED投影光源、菲尔透镜、镜头透镜和成像板，待检测物设置在菲尔透镜和镜头透镜之间，所述的待检测物与镜头透镜之间设有中继镜头，所述的镜头透镜为短焦透镜，所述的待检测物与镜头透镜的距离大于或等于2倍镜头透镜的焦距。与现有技术相比，本发明专利技术具有测量精度高、操作便捷、测量物体范围更广、应用范围广等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种测量系统，尤其是涉及一种光栅三维形貌测量仪。
技术介绍
三坐标测量机测量精度较高，普遍可达到微米级，并且测量稳定度较高。但其对环境要求苛刻，对温度及震动比较敏感，设备便携性差，测量方式单一，最大缺点是接触式测量，易对被测物体本身造成触碰伤害，并且设备的探针对于被测物体复杂表面(比如微米级凹槽/坑的深度)无法实现测量。高精度的影像仪的测量精度可以到达微米级，但是影像仪只能实现二维信息的测量，无法实现三维信息整体形貌的检测和测量，具有很大的局限性。普通的光栅扫描仪利用光栅投射装置在被测物体上投射若干编码的结构光，利用CCD相机采集编码图像，然后在计算机中进行分析计算，利用三角测量原理得到被测物体的外形三维信息。图3为普通的光栅扫描仪的投影光路图，图中LED投影光源12发出结构光经过菲尔透镜13后变为平行光束，平行光束照射到待投影实物后的投影光经过镜头透镜15后成像，对于普通投影镜头，由于镜头透镜15焦距较长，镜头透镜15到待检测物4的距离在1倍焦距与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光栅三维形貌测量仪，用于微小视场的检测，包括支架(3)以及与支架(3)连接的投影组件(1)、采集组件(2)和控制处理器，所述的投影组件(1)和采集组件(2)分别与控制处理器连接，所述的投影组件(1)包括由内向外依次连接的DMD芯片(11)、LED投影光源(12)、菲尔透镜(13)、镜头透镜(15)和成像板(16)，待检测物(4)设置在菲尔透镜(13)和镜头透镜(15)之间，其特征在于，所述的待检测物(4)与镜头透镜(15)之间设有中继镜头(14)，所述的镜头透镜(15)为短焦透镜，所述的待检测物(4)与镜头透镜(15)的距离大于或等于2倍镜头透镜(15)的焦距。

【技术特征摘要】
1.一种光栅三维形貌测量仪，用于微小视场的检测，包括支架(3)以及与支
架(3)连接的投影组件(1)、采集组件(2)和控制处理器，所述的投影组件(1)
和采集组件(2)分别与控制处理器连接，所述的投影组件(1)包括由内向外依次
连接的DMD芯片(11)、LED投影光源(12)、菲尔透镜(13)、镜头透镜(15)
和成像板(16)，待检测物(4)设置在菲尔透镜(13)和镜头透镜(15)之间，其
特征在于，所述的待检测物(4)与镜头透镜(15)之间设有中继镜头(14)，所述
的镜头透镜(15)为短焦透镜，所述的待检测物(4)与镜头透镜(15)的距离大
于或等于2倍镜头透镜(15)的焦距。
2.根据权利要求1所述的一种光栅三维形貌测量仪，其特征在于，所述的采
集组件(2)包括分别与控制处理器连接第一工业相机(21)和第二工业相机(22)，
所述的第一工业相机(21)的光轴与LED投影光源(12)的光轴在一平面内，并
且两条光轴的夹角为10-35度，所述的第一工业相机(21)的光轴与第二工业相机
(22)的光轴设置在与前一平面垂直的平面内，并且两条光轴的夹角为5-35度。
3.根据权利要求2所述的一种光栅三维形貌测量仪，其特征在于，所述的第
一工业相机(21)和第二工业相机(22)上均设有滤光片，所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓辉，韩林，刘广建，
申请(专利权)人：上海航天动力科技工程有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31