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本发明涉及一种光栅三维形貌测量仪，用于微小视场的检测，包括支架以及与支架连接的投影组件、采集组件和控制处理器，所述的投影组件和采集组件分别与控制处理器连接，所述的投影组件包括由内向外依次连接的DMD芯片、LED投影光源、菲尔透镜、镜头透镜和...
该专利属于上海航天动力科技工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海航天动力科技工程有限公司授权不得商用。

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