【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种三维显微光切法表面粗糙度测量仪,其特征在于:包括有可升降载物台,在可升降载物台上放有待测工件,在待测工件的正上方固定有显微成像系统,所述的显微成像系统从上到下依次包括有工业CCD相机、镜筒透镜和无限远校正显微镜,在待测工件的斜上方转动的安装有半导体激光器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:卢荣胜,
申请(专利权)人:合肥米克光电技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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