静态位移实时干涉测量装置制造方法及图纸

一种静态位移实时干涉测量装置，包括： 〈１〉带有第一驱动电源（１）和第一温度控制器（１８）的第一光源（１３）发射的光束通过第一段光纤（１３０１）射入第一隔离器（１４）内，由第一隔离器（１４）出射后，通过第二段光纤（１３０２）由合波元件（７）的第二端口ｂ射入，从合波元件（７）的第三端口（ｃ）射出后，再通过第三段光纤（１３０３）由光纤耦合器（８）的第一端口（Ｐ１）射入，从光纤耦合器（８）的第三端口（Ｐ３）射出后，再通过第四段光纤（１３０４），经过准直器（１５）准直，透过部分反射元件（１６）射到被测物体（１７）上； 〈２〉由光纤耦合器（８）第二端口（Ｐ２）出射的光束经过第七段光纤（８０１）射到光电转换元件（９）上，由光纤耦合器（８）第四端口（Ｐ４）出射的光束经过第八段光纤（８０２）射到防反射元件（１２）上； 其特征在于： 〈３〉有波长λ↓［２］不等于第一光源（１３）的波长λ↓［１］的带有第二驱动电源（３）和第二温度控制器（４）的第二光源（５），由第二光源（５）发射的光束通过第五段光纤（５０１），经过第二隔离器（６），再经过第六段光纤（５０２）由合波元件（７）的第一端口（ａ）射入，同样从合波元件（７）的第三端口（ｃ）射出后，再通过第三段光纤（１３０３）由光纤耦合器（８）的第一端口（Ｐ１）射入，从光纤耦合器（８）的第三端口（Ｐ３）射出后，再通过第四段光纤（１３０４），经过准直器（１５）准直，透过部分反射元件（１６）射到被测物体（１７）上； 〈４〉第一驱动电源（１）和第二驱动电源（３）之间连接有触发控制器（２）； 〈５〉有包含三个输入端口（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）和一个输出端口（１１ｄ）的信号处理器（１１），信号处理器（１１）的第一输入端口（１１ａ）与光电转换元件（９）的输出端相连，信号处理器（１１）的第二输入端口（１１ｂ）与第二驱动电源（３）相连，信号处理器（１１）的第三输入端口（１１ｃ）与第一驱动电源（１）相连，信号处理器（１１）的输出端口（１１ｄ）连接到数字显示器（１０）上。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及到静态位移实时干涉测量装置，特别涉及到使用正弦相位调制干涉测量的双波长纳米精度干涉测量装置。
技术介绍
在光学精密干涉测量中，正弦相位调制干涉测量是一种高精度的测量，位移测量可以达到纳米精度，但是测量范围只有半个光源波长。为了解决这个问题，日本新泻(Niigata)大学的佐佐木修已(Osami Sasaki)等人于1991年提供了一种双波长半导体激光干涉仪(在先技术“Two-wavelength sinusoidalphase-modulating laser-diode interferometer insensitive to external disturbances，”Applied Optics，Vol.30，No.28，4040-4045)。在此干涉仪中，采用了两个光源，利用合成波长技术将位移的测量范围扩大到152ìm，大大扩大了测量范围。遗憾的是此干涉仪测量精度较低，仅有0.6微米；而且使用体光学系统，体积较大；测量光束直径较大(1厘米左右)，不能用来测量尺寸微小的物体的位移；并且没有考虑激光器的温度控制措施，而温度变化引起的激光器波长漂移将造成测量误差。同本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王学锋，王向朝，刘英明，钱锋，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：