【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】半导体加工工具中的电容性距离感测
技术介绍
在半导体晶片和/或诸如用在平板电视装置之类的LCD面板制造 期间，衬底暴露在其中形成有电产生的等离子的气体中。气体从位于 衬底上的"喷头"状夹具进入，所述夹具也作为一个电极以形成等离 子。为最大化产量，从喷头到衬底的距离对于整个衬底表面来说一致 是重要的。换言之，衬底表面的平面与喷头的平面平行是重要的。因 此，在设置进行加工的半导体加工工具中，将喷头和衬底或支撑衬底 的"台板(platen)"的相对位置调节为平行是非常重要的。这需要测 量喷头和衬底的相对位置的能力，特别地，测量各个点处的喷头和衬 底之间的距离，从而得到两个位置的平行性测量。现有执行这种距离/平行性测量的一种方式是，使用放置在喷头下 的台板上的测量装置。典型地，这种测量装置包括可压缩的内部弹簧。 测量装置位于台板上，并且接触喷头，而且当降低喷头时被压縮。在 喷头的降低状态中，任何点处测量装置的厚度为台板和喷头之间的距 离。测量装置内部的测量设备将测量装置的厚度，由此测量从台板到 喷头的距离。由此，台板和喷头之间的多个点处的测量能提供台板与 喷头的平行性的全部测量...
【技术保护点】
一种用于在半导体加工间内感测与感兴趣对象的距离的传感器，所述传感器包括： 外壳； 布置在所述外壳内的电源； 耦合到所述电源的无线通信电路； 耦合到所述无线通信电路和所述电源的控制器； 至少一个电容性平板，被配置 为形成具有随距离变化的电容值的电容器； 测量电路，耦合到所述控制器和所述至少一个电容性平板，所述测量电路被配置为测量电容值并将该电容值的指示提供给所述控制器；以及 其中，所述控制器被配置为：至少部分地基于所测量的电容值而提供与所 述对象有关的指示。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：德尔克H加德纳，克雷格D拉姆齐，达那L帕特尔奇克，
申请(专利权)人：赛博光学半导体公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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