【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及位移测量装置，更具体地说是一种微纳米级位移测量装置。
技术介绍
随着工业和科学研究的迅速发展，目前人类正在积极开展和进行微观领域的学术研究和 实际应用，随着原子力显微镜的专利技术，使制造业向着微、纳米级别靠近，这就对传统的信息 获取手段和技术提出了更高要求。就微位移测试系统来说，目前用于获取微位移的微位移传 感器的主要结构结构形式有光学传感器，即激光干涉仪，激光干涉薄膜等，是应用光学原理进行测量，此类技术现在已经成熟，分辨率可以达到lnm左右。但是，其相对高昂的价格和需要较大的空间以放置 装置设备，对于大规模应用于工业、教学和科研等领域受到了极大的限制。化学传感器，利用化学反应测量位移，此种传感器抗干扰能力差，响应频率低，还没有 能够大规模适用于生产和科研。电容传感器，电容传感器具备很高的分辨率和响应频率，而且在实际生产和科研中有一 定的应用，但是电容传感器中的电容膜片加工工艺要求严格，极容易产生加工制造误差，进 而影响传感器的精度，电容传感器的行程小，线性度差，这一点也影响了其使用范围。
技术实现思路
本专利技术是为避免上述现有技术所存在的不足之处，...
【技术保护点】
应变式微纳米级微纳米位移传感器，其特征是设置由各刚性杆体和柔性铰链构成的检测单元为： 位移量一级放大机构，具有呈“Ｌ”形设置的一级杠杆，其一级短杆（１１）为输入臂，其一级长杆（１２）为输出臂，其与固定座连接的短杆端柔性铰链（１３）为一级支点，一级被测位移量形成在一极短杆（１１）上，以其与二级放大机构连接的长杆端柔性铰链（１４）为被测位移量一级输出端； 位移量二级放大机构（２），具有直杆段杠杆（２１），其一端以直杆端柔性铰链（２２）与固定座连接，另一端是与多自由度构件相连接的弹性体（３）；以所述直杆端柔性铰链（２２）为二级支点，长杆端柔性铰链（１４）到二级支点的距离为短臂，以...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：余永，宋博，杨卫超，葛运建，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：34[中国|安徽]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。