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一种无线传感器（１０，１００，２００），包括至少一个电容性平板（１０，１２；１０２，１０４），用于在半导体加工环境内感测与感兴趣对象（１４）的距离。所述传感器（１０，１００，２００）包括内部电源（２８，３４２）和无线通信装置（３６２），使得...
该专利属于赛博光学半导体公司所有，仅供学习研究参考，未经过赛博光学半导体公司授权不得商用。

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