激光干涉测长法制造技术

技术编号:2511201 阅读:187 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种半导体激光端点干涉测长法,它克服了现有激光干涉测长法要求测量元件必须从长度的起始点沿直线连续移动到终止点,并对移动过程中干涉条纹的变化量进行计数,测量过程中若受到异物遮挡光线等干扰将导致测量结果无效的缺点。本发明专利技术利用半导体激光调制技术,只在被测长度的两个端点位置进行干涉测量即可得到长度值。这种测长方法不涉及长度的中间过程,抗干扰性强,可应用于长度、位移等的精密测量。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是一种激光干涉测长法,涉及一种利用半导体激光的调制技术,在被测长度的两个端点干涉测量长度的方法。在长度的精密干涉测量方法中,经典方法有迈克尔逊干涉仪,现代方法有双频激光干涉仪等。它们的相同点是,在测量中都要求测量元件从长度的起始点沿直线连续移动到终止点,并对移动过程中干涉条纹的变化量进行计数,再从干涉条纹的变化量计算出长度值。哈尔滨工业大学出版社1988年出版的《计量光学》第16章第2节340页分析的激光干涉仪,采用的测量方法是让激光束通过分光镜分成两束后,分别进入固定的反射镜和移动的反射镜,检测移动反射镜从长度的起始点沿直线连续移动到长度的终止点的过程中,两个反射镜形成的干涉条纹的变化数目,计算得到被测长度值。这种测量方法要求测量元件从长度的起始点沿直线连续移动到终止点,并在移动过程中对干涉条纹的变化数目连续进行计数,才能得到长度值。其缺点是如果在测量元件移动过程中,发生异物遮挡测量光线等干扰,则测量结果无效。本专利技术的目的是提供一种只需要在被测长度的两个端点位置分别进行干涉测量,就可得到这两个端点间长度值的半导体激光端点干涉测长法。这种方法的测量结果只与长度的两本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在被测长度的两个端点分别进行激光干涉测量而得到端点间长度值的方法,其特征在于包括以下步骤:利用基准电源(1)给半导体激光器(10)提供基准电流,使其以基准频率或波长工作;通过比较器(7)得到激光器(10)的预置工作温度和实测工作 温度的误差值,经驱动电路(8)使半导体致冷器件(9)调节激光器(10)的工作温度,实现自动恒温控制,以避免温度变化对激光频率和波长产生影响;利用锯齿波调制电源(2)对激光器(10)的基准电流进行调制,即在激光器基准电流上迭加锯齿波调制电 流,使激光频率υ或波长λ在基准值附近作小范围线性变化Δυ或Δλ;让激光器(10)发出的调制激光束经准直透镜(...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:侯德胜
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所
类型:发明
国别省市:51[中国|四川]

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