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本发明公开了一种半导体激光端点干涉测长法，它克服了现有激光干涉测长法要求测量元件必须从长度的起始点沿直线连续移动到终止点，并对移动过程中干涉条纹的变化量进行计数，测量过程中若受到异物遮挡光线等干扰将导致测量结果无效的缺点。本发明利用半导体激...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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