一种固定装置和加工设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种固定装置和加工设备。该固定装置包括用于对待加工基片进行一对一吸附固定的真空吸附单元，真空吸附单元包括抽真空结构和设置在抽真空结构上的承载部，承载部用于承载基片；抽真空结构包括轴体和套设在轴体上的环体，抽真空结构中开设有第一抽真空通道，轴体能绕其轴线在环体内自转，以开启或关闭第一抽真空通道；承载部中开设有第二抽真空通道，第一抽真空通道和第二抽真空通道贯通，能对基片进行吸附固定。该固定装置能实现一个真空吸附单元独立地对一个基片进行吸附固定，从而使真空吸附时的真空泄漏量变得很小，进而确保每个真空吸附单元都能对基片进行牢固的吸附固定，实现对多片待加工基片的吸附固定更加牢固可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种固定装置和加工设备
本专利技术涉及太阳能电池
，具体地，涉及一种固定装置和加工设备。
技术介绍
太阳能薄膜电池具有柔性，轻薄等优点，目前薄膜电池生产工序中，利用真空吸盘对其进行吸平、固定。在阵列叠片工序中，需要将单片cell(即电池基片)依次布置在载板上，而载板就是一个面积较大的开放式真空吸盘。目前，载板无法牢固地对多个放置在其上的电池基片都进行一定程度的真空吸附；如果将载板设置为一个真空腔室，为满足一定真空度，真空泄露量会非常大，真空源功率和真空管道规格会非常大，导致无法设计施工。如何实现载板对多个电池基片的一定牢固程度的吸附固定已成为目前亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种固定装置和加工设备。该固定装置能实现一个真空吸附单元独立地对一个基片进行吸附固定，相对于现有的一个真空腔室对应吸附多个基片的方案，能使真空吸附时的真空泄漏量变得很小，从而增强了真空吸附单元对其吸附固定的基片的吸附力，确保每个真空吸附单元都能对基片进行牢固的吸附固定，最终实现该固定装置对多本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固定装置，其特征在于，包括用于对待加工基片进行一对一吸附固定的真空吸附单元，所述真空吸附单元包括抽真空结构和设置在所述抽真空结构上的承载部，所述承载部用于承载所述基片；/n所述抽真空结构包括轴体和套设在所述轴体上的环体，所述抽真空结构中开设有第一抽真空通道，所述轴体能绕其轴线在所述环体内自转，以开启或关闭所述第一抽真空通道；所述承载部中开设有第二抽真空通道，所述第一抽真空通道和所述第二抽真空通道贯通，能对所述基片进行吸附固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种固定装置，其特征在于，包括用于对待加工基片进行一对一吸附固定的真空吸附单元，所述真空吸附单元包括抽真空结构和设置在所述抽真空结构上的承载部，所述承载部用于承载所述基片；
所述抽真空结构包括轴体和套设在所述轴体上的环体，所述抽真空结构中开设有第一抽真空通道，所述轴体能绕其轴线在所述环体内自转，以开启或关闭所述第一抽真空通道；所述承载部中开设有第二抽真空通道，所述第一抽真空通道和所述第二抽真空通道贯通，能对所述基片进行吸附固定。


2.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述轴体为阀杆，所述环体为阀体；
所述第一抽真空通道包括开设在所述阀杆内且沿所述阀杆中心轴延伸的第一孔道以及开设在所述阀杆中的第二孔道，所述第二孔道与所述第一孔道贯通，所述第二孔道与所述第一孔道成设定夹角，且所述第二孔道从所述第一孔道延伸至所述阀杆表面并在所述阀杆表面形成开口；
所述第一抽真空通道还包括开设在所述阀体中的第三孔道，所述第三孔道从所述阀体的与所述阀杆接触的面延伸至所述阀体的表面并在所述阀体表面形成开口，且所述第三孔道能与所述第二孔道贯通；
所述第一孔道的一端连接抽真空器件，另一端封闭。


3.根据权利要求2所述的固定装置，其特征在于，所述阀杆的一端连接驱动部件，所述驱动部件能驱动所述阀杆以其中心轴为轴在所述阀体内自转；所述阀体的与所述阀杆相接触的壁上开设有第一凹槽，所述第一凹槽的延伸方向沿所述阀杆的自转方向，且所述第一凹槽与所述第三孔道贯通；
所述阀体的与所述阀杆相接触的壁上还设置有凸起块，所述凸起块位于所述第一凹槽的一端，且所述凸起块沿所述阀杆的自转方向延伸；
所述第二孔道在所述阀杆表面的开口能随着所述阀杆的自转被所述凸起块封闭或者与所述第一凹槽贯通。


4.根据权利要求3所述的固定装置，其特征在于，所述阀杆的与所述阀体接触的壁上开设有第二凹槽，所述第二凹槽的延伸方向沿所述阀杆的自转方向，所述第二孔道在所述阀杆表面的开口位于所述第二凹槽内；
所述抽真空结构还包括第一密封件，所述第一密封件设置于所述第二凹槽中，且所述第一密封件与所述第二凹槽的大小形状相适配；
所述第一抽真空通道还包括开设在所述第一密封件中的第四孔道，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：李小凤，吴桐，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11