一种固定装置和加工设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种固定装置和加工设备。该固定装置包括用于对待加工基片进行一对一吸附固定的真空吸附单元，真空吸附单元包括抽真空结构和设置在抽真空结构上的承载部，承载部用于承载基片；抽真空结构包括轴体和套设在轴体上的环体，抽真空结构中开设有第一抽真空通道，轴体能绕其轴线在环体内自转，以开启或关闭第一抽真空通道；承载部中开设有第二抽真空通道，第一抽真空通道和第二抽真空通道贯通，能对基片进行吸附固定。该固定装置能实现一个真空吸附单元独立地对一个基片进行吸附固定，从而使真空吸附时的真空泄漏量变得很小，进而确保每个真空吸附单元都能对基片进行牢固的吸附固定，实现对多片待加工基片的吸附固定更加牢固可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种固定装置和加工设备
本专利技术涉及太阳能电池
，具体地，涉及一种固定装置和加工设备。
技术介绍
太阳能薄膜电池具有柔性，轻薄等优点，目前薄膜电池生产工序中，利用真空吸盘对其进行吸平、固定。在阵列叠片工序中，需要将单片cell(即电池基片)依次布置在载板上，而载板就是一个面积较大的开放式真空吸盘。目前，载板无法牢固地对多个放置在其上的电池基片都进行一定程度的真空吸附；如果将载板设置为一个真空腔室，为满足一定真空度，真空泄露量会非常大，真空源功率和真空管道规格会非常大，导致无法设计施工。如何实现载板对多个电池基片的一定牢固程度的吸附固定已成为目前亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种固定装置和加工设备。该固定装置能实现一个真空吸附单元独立地对一个基片进行吸附固定，相对于现有的一个真空腔室对应吸附多个基片的方案，能使真空吸附时的真空泄漏量变得很小，从而增强了真空吸附单元对其吸附固定的基片的吸附力，确保每个真空吸附单元都能对基片进行牢固的吸附固定，最终实现该固定装置对多片待加工基片的吸附固定更加牢固可靠。本专利技术提供一种固定装置，包括用于对待加工基片进行一对一吸附固定的真空吸附单元，所述真空吸附单元包括抽真空结构和设置在所述抽真空结构上的承载部，所述承载部用于承载所述基片；所述抽真空结构包括轴体和套设在所述轴体上的环体，所述抽真空结构中开设有第一抽真空通道，所述轴体能绕其轴线在所述环体内自转，以开启或关闭所述第一抽真空通道；所述承载部中开设有第二抽真空通道，所述第一抽真空通道和所述第二抽真空通道贯通，能对所述基片进行吸附固定。优选地，所述轴体为阀杆，所述环体为阀体；所述第一抽真空通道包括开设在所述阀杆内且沿所述阀杆中心轴延伸的第一孔道以及开设在所述阀杆中的第二孔道，所述第二孔道与所述第一孔道贯通，所述第二孔道与所述第一孔道成设定夹角，且所述第二孔道从所述第一孔道延伸至所述阀杆表面并在所述阀杆表面形成开口；所述第一抽真空通道还包括开设在所述阀体中的第三孔道，所述第三孔道从所述阀体的与所述阀杆接触的面延伸至所述阀体的表面并在所述阀体表面形成开口，且所述第三孔道能与所述第二孔道贯通；所述第一孔道的一端连接抽真空器件，另一端封闭。优选地，所述阀杆的一端连接驱动部件，所述驱动部件能驱动所述阀杆以其中心轴为轴在所述阀体内自转；所述阀体的与所述阀杆相接触的壁上开设有第一凹槽，所述第一凹槽的延伸方向沿所述阀杆的自转方向，且所述第一凹槽与所述第三孔道贯通；所述阀体的与所述阀杆相接触的壁上还设置有凸起块，所述凸起块位于所述第一凹槽的一端，且所述凸起块沿所述阀杆的自转方向延伸；所述第二孔道在所述阀杆表面的开口能随着所述阀杆的自转被所述凸起块封闭或者与所述第一凹槽贯通。优选地，所述阀杆的与所述阀体接触的壁上开设有第二凹槽，所述第二凹槽的延伸方向沿所述阀杆的自转方向，所述第二孔道在所述阀杆表面的开口位于所述第二凹槽内；所述抽真空结构还包括第一密封件，所述第一密封件设置于所述第二凹槽中，且所述第一密封件与所述第二凹槽的大小形状相适配；所述第一抽真空通道还包括开设在所述第一密封件中的第四孔道，所述第四孔道的一端开口与所述第二孔道在所述阀杆表面的开口对接，所述第四孔道能与所述第三孔道贯通。优选地，所述承载部包括第一载板，所述第一载板设置在所述阀体的开设有所述第三孔道的一侧；所述第二抽真空通道包括开设在所述第一载板中的第五孔道，所述第五孔道贯穿所述第一载板的厚度，且所述第五孔道与所述第三孔道贯通；所述承载部还包括第二载板，所述第二载板设置在所述第一载板的背离所述阀体的一侧，所述第二载板上用于放置所述基片；所述第二抽真空通道还包括开设在所述第二载板中的多个第六孔道，所述第六孔道贯穿所述第二载板的厚度，且多个所述第六孔道均匀分布于所述第二载板的对应所述第五孔道的区域；所述第一载板的背离所述阀体的一面在对应所述第五孔道的区域开设有第三凹槽；所述承载部还包括密封板，所述密封板设置于所述第一载板和所述第二载板之间，所述密封板上设置有镂空区，所述镂空区与所述第三凹槽位置相对应，且所述镂空区与所述第三凹槽大小形状相同。优选地，一根所述阀杆上贯穿有多个所述阀体，所述承载部还延伸至覆盖各个所述阀体的开设有所述第三孔道的一侧，以构成一组所述真空吸附单元。优选地，沿所述阀杆的延伸方向，所述阀杆上各个所述阀体的所述凸起块沿所述阀杆的自转方向延伸的长度依次增大。优选地，所述真空吸附单元包括多组，多组所述真空吸附单元沿垂直于所述阀杆延伸方向的方向依次排布，构成所述真空吸附单元阵列。优选地，所述阀杆的延伸方向为所述真空吸附单元阵列的列方向，排布在所述真空吸附单元阵列的同一行中的所述阀体的所述凸起块沿所述阀杆的自转方向延伸的长度相同；所述真空吸附单元阵列中，任意相邻两列所述真空吸附单元之间的间距相等，任意相邻两行所述真空吸附单元之间的间距相等。本专利技术还提供一种加工设备，用于对基片进行加工，包括上述固定装置，所述固定装置能对所述基片进行吸附固定。本专利技术的有益效果：本专利技术所提供的固定装置，通过使真空吸附单元的抽真空结构中的第一抽真空通道独立开启和关闭，能实现一个真空吸附单元独立地对一个基片进行吸附固定，相对于现有的一个真空腔室对应吸附多个基片的方案，能使真空吸附时的真空泄漏量变得很小，从而增强了真空吸附单元对其吸附固定的基片的吸附力，确保每个真空吸附单元都能对基片进行牢固的吸附固定，最终实现该固定装置对多片待加工基片的吸附固定更加牢固可靠。本专利技术所提供的加工设备，通过采用上述固定装置，确保了该加工设备对基片的加工精度，从而提升了该加工设备对基片的加工质量。附图说明图1为本专利技术实施例1中固定装置的结构示意图；图2为图1中阀杆的结构剖视图；图3为图1中阀杆的结构示意图；图4为图1中阀体的结构示意图；图5为图4中阀体的局部结构剖视图；图6为第一抽真空通道关闭的结构示意图；图7为第一抽真空通道开启的结构示意图；图8为图1抽真空结构中第一密封件的结构示意图；图9为图1中承载部第一载板的结构俯视图；图10为图1中承载部第一载板的结构仰视图；图11为图1中承载部第二载板的结构示意图；图12为图1中承载部密封板的结构示意图；图13为由多组真空吸附单元构成的真空吸附单元阵列的示意图；图14为真空吸附单元阵列中各真空吸附单元开启与关闭的示意图；图15为多个真空吸附单元阵列排布呈阵列的示意图。其中的附图标记说明：1.真空吸附单元；2.阀杆；21.第二凹槽；3.阀体；31.第一凹槽；32.凸起块；33.第一环形槽；41.第一孔道；42.第二孔道；43.第三孔道；44.第四孔道；5.抽真空器件；6.第一密封件；7.第一载板；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固定装置，其特征在于，包括用于对待加工基片进行一对一吸附固定的真空吸附单元，所述真空吸附单元包括抽真空结构和设置在所述抽真空结构上的承载部，所述承载部用于承载所述基片；/n所述抽真空结构包括轴体和套设在所述轴体上的环体，所述抽真空结构中开设有第一抽真空通道，所述轴体能绕其轴线在所述环体内自转，以开启或关闭所述第一抽真空通道；所述承载部中开设有第二抽真空通道，所述第一抽真空通道和所述第二抽真空通道贯通，能对所述基片进行吸附固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种固定装置，其特征在于，包括用于对待加工基片进行一对一吸附固定的真空吸附单元，所述真空吸附单元包括抽真空结构和设置在所述抽真空结构上的承载部，所述承载部用于承载所述基片；
所述抽真空结构包括轴体和套设在所述轴体上的环体，所述抽真空结构中开设有第一抽真空通道，所述轴体能绕其轴线在所述环体内自转，以开启或关闭所述第一抽真空通道；所述承载部中开设有第二抽真空通道，所述第一抽真空通道和所述第二抽真空通道贯通，能对所述基片进行吸附固定。


2.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述轴体为阀杆，所述环体为阀体；
所述第一抽真空通道包括开设在所述阀杆内且沿所述阀杆中心轴延伸的第一孔道以及开设在所述阀杆中的第二孔道，所述第二孔道与所述第一孔道贯通，所述第二孔道与所述第一孔道成设定夹角，且所述第二孔道从所述第一孔道延伸至所述阀杆表面并在所述阀杆表面形成开口；
所述第一抽真空通道还包括开设在所述阀体中的第三孔道，所述第三孔道从所述阀体的与所述阀杆接触的面延伸至所述阀体的表面并在所述阀体表面形成开口，且所述第三孔道能与所述第二孔道贯通；
所述第一孔道的一端连接抽真空器件，另一端封闭。


3.根据权利要求2所述的固定装置，其特征在于，所述阀杆的一端连接驱动部件，所述驱动部件能驱动所述阀杆以其中心轴为轴在所述阀体内自转；所述阀体的与所述阀杆相接触的壁上开设有第一凹槽，所述第一凹槽的延伸方向沿所述阀杆的自转方向，且所述第一凹槽与所述第三孔道贯通；
所述阀体的与所述阀杆相接触的壁上还设置有凸起块，所述凸起块位于所述第一凹槽的一端，且所述凸起块沿所述阀杆的自转方向延伸；
所述第二孔道在所述阀杆表面的开口能随着所述阀杆的自转被所述凸起块封闭或者与所述第一凹槽贯通。


4.根据权利要求3所述的固定装置，其特征在于，所述阀杆的与所述阀体接触的壁上开设有第二凹槽，所述第二凹槽的延伸方向沿所述阀杆的自转方向，所述第二孔道在所述阀杆表面的开口位于所述第二凹槽内；
所述抽真空结构还包括第一密封件，所述第一密封件设置于所述第二凹槽中，且所述第一密封件与所述第二凹槽的大小形状相适配；
所述第一抽真空通道还包括开设在所述第一密封件中的第四孔道，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：李小凤，吴桐，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11