基板保持装置、基板保持方法和成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够以垂直的姿态稳定地保持多个基板的基板保持装置、基板保持方法和成膜装置。本发明专利技术的一个方式的基板保持装置具备：基板支承台和夹紧机构。所述基板支承台具有支承面和旋转机构部。所述支承面具有多个支承区域，在所述多个支承区域分别配置有多个基板。所述旋转机构部构成为能够使所述支承面绕与所述支承面平行的轴从水平姿态立起为垂直姿态。所述夹紧机构具有多个夹紧部。所述多个夹紧部构成为沿着所述多个支承区域的周围配置，并且能够保持所述多个基板的周缘部。所述多个夹紧部包括多个第一夹紧部，所述多个第一夹紧部配置在所述多个支承区域之间的间隙区域，并且能够分别保持所述多个基板的周缘部。

Substrate holding device, substrate holding method and film forming device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板保持装置、基板保持方法和成膜装置
本专利技术涉及能够使基板从水平姿态立起为垂直姿态的基板保持装置、基板保持方法和成膜装置。
技术介绍
作为成膜装置，已知有在沿垂直方向立起的玻璃基板的表面形成规定的膜的立式溅射装置。这种溅射装置通常具有：成膜室，其具有沿垂直方向配置的靶；基板保持机构，其能够在成膜室内使基板从水平姿态立起为垂直姿态。例如在专利文献1中，公开了一种溅射装置，具有：基板保持板，其载置水平地搬入到成膜室内的基板；基板夹紧机构，其夹紧载置在基板保持板上的基板；以及，旋转机构，其使基板保持板立起。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004-332117号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题近年来，从提高生产性的观点出发，正在推进能够一次对多个基板同时进行成膜处理的溅射装置的开发。因此，要求能够在分别适当地保持多个基板的同时，使多个基板从水平姿态向垂直姿态稳定地立起的技术。鉴于上述情况，本专利技术的目的在于提供一种能够以垂直的姿态稳定地保持多个基板的基板保持装置、基板保持方法和成膜装置。用于解决课题的方案为了实现上述目的，本专利技术的一个方式的基板保持装置具备基板支承台和夹紧机构。所述基板支承台具有支承面和旋转机构部。所述支承面具有多个支承区域，在所述多个支承区域分别配置有多个基板。所述旋转机构部构成为能够使所述支承面绕与所述支承面平行的轴从水平姿态立起为垂直姿态。所述夹紧机构具有多个夹紧部。所述多个夹紧部构成为沿着所述多个支承区域的周围配置，并且能够保持所述多个基板的周缘部。所述多个夹紧部包括多个第一夹紧部，所述多个第一夹紧部配置在所述多个支承区域之间的间隙区域，并且能够分别保持所述多个基板的周缘部。在所述基板保持机构中，由于多个夹紧部包括配置在多个支承区域之间的间隙区域的多个第一夹紧部，所以能够一边适当地维持基板之间的装置位置，一边将多个基板稳定地保持为垂直姿态。所述多个支承区域可以包括，当所述基板支承台为垂直姿态时在上下方向相邻的至少两个支承区域。所述多个夹紧部还可以包括多个第二夹紧部和多个第三夹紧部，所述多个第二夹紧部和多个第三夹紧部配置在除所述间隙区域以外的所述多个支承区域的周围的周边区域。所述多个第一夹紧部及所述多个第二夹紧部具有伴随着与所述支承面大致平行的运动并与所述多个基板的周缘部相对的钩部。所述多个第三夹紧部具有伴随着从所述支承面的上方接近所述支承面的运动并与所述多个基板的周缘部相对的钩部。根据上述结构，能够通过第一夹紧部及第二夹紧部来以规定的对准精度相对于支承面保持基板，并能够通过第三夹紧部确保基板的平面度。所述多个第一夹紧部及所述多个第二夹紧部还可以具有旋转支承部，所述旋转支承部以能够朝向夹紧位置并沿固定曲率的曲线轨道可旋转的方式支承所述钩部。另一方面，所述多个第三夹紧部还可以具有连杆机构部，所述连杆机构部以能够朝向夹紧位置并沿着具有比所述多个第一及第二夹紧部大的、从所述支承面起的最大高度的曲线轨道移动的方式支承所述钩部。所述多个第一夹紧部至第三夹紧部还可以分别具有对所述钩部向所述夹紧位置施力的施力构件。所述夹紧机构也可以构成为：在通过所述多个第一夹紧部和所述多个第二夹紧部保持所述多个基板的周缘部之后，通过所述多个第三夹紧部保持所述多个基板的周缘部。由此，即使在基板发生翘曲的情况下，也能够将基板适当地保持在支承面上。所述多个基板典型地使用平面形状为矩形的玻璃基板。在这种情况下，所述多个第三夹紧部可以配置在比所述多个第一夹紧部和所述多个第二夹紧部更靠近所述多个基板的角部的位置。通过在比较容易产生翘曲等的基板的角部配置第三夹紧部，能够恰当地保持基板。所述夹紧机构还可以包括驱动部，所述驱动部能够在所述基板支承台处于水平姿态时使所述多个夹紧部从夹紧位置移动到非夹紧位置。所述驱动部具有第一基座构件和第一升降单元。所述第一基座构件具有多个操作轴，所述多个操作轴与所述多个夹紧部对应配置。所述第一升降单元使所述第一基座构件在上升位置与下降位置之间升降，其中，该上升位置是通过利用所述多个操作轴推起所述多个夹紧部而将所述多个夹紧部设置于所述非夹紧位置的位置，该下降位置是通过解除所述多个操作轴对所述多个夹紧部的推起而将所述多个夹紧部设置于所述夹紧位置的位置。所述驱动部还可以具有第二基座构件和第二升降单元。所述第二基座构件平行于所述第一基座构件配置并且具有多个支承销，所述支承销能够贯通所述支承面。所述第二升降单元使所述第二基座构件在上升位置和下降位置之间升降，其中，该上升位置是被所述多个支承销支承的所述多个基板的背面的位置，该下降位置是将被所述多个支承销支承的所述多个基板配置在所述支承面上的位置。所述基板支承台还可以具有吸附部。所述吸附部构成为能够设置在所述支承面，并能够静电吸附所述多个基板。本专利技术的一个方式的基板保持方法为：在维持水平姿态的支承面上的多个支承区域分别配置基板，通过多个夹紧部保持所述基板，所述多个夹紧部分别配置在所述多个支承区域之间的中间区域和除所述中间区域之外的所述多个支承区域的周边区域，并且具有伴随着相对于所述支承面大致平行的移动并与所述基板的周缘部相向的第一钩部，通过多个夹紧部保持所述基板，所述多个夹紧部配置在所述周边区域，并且具有伴随着从所述支承面的上方接近所述支承面的运动并与所述基板的周缘部相向的第二钩部，使所述支承面从水平姿态立起为垂直姿态。本专利技术的一个方式的成膜装置具备：成膜室、基板支承台和夹紧机构。所述成膜室具有成膜源。所述基板支承台配置在所述成膜室。所述基板支承台具有：支承面，其具有分别配置有多个基板的多个支承区域；旋转机构部，其能够使所述支承面绕与所述支承面平行的轴从水平姿态立起为垂直姿态。所述夹紧机构具有多个夹紧部。所述多个夹紧部构成为沿着所述多个支承区域的周围配置，并且能够保持所述多个基板的周缘部。所述多个夹紧部包括多个第一夹紧部，所述多个第一夹紧部配置在所述多个支承区域之间的间隙区域中，并且能够分别保持所述多个基板的周缘部。专利技术效果如上所述，根据本专利技术，能够以垂直的姿态稳定地保持多个基板。附图说明图1是表示本专利技术的一个实施方式的基板保持装置的结构的概要立体图。图2是具有上述基板保持装置的成膜装置的概要侧视图。图3是上述基板保持装置的基板支承台的俯视图。图4是示出了上述基板保持装置中的第一和第二夹紧部的结构的基板支承台的主要部分的剖视图。图5是示出了上述基板保持装置中的第三夹紧部的结构的基板支承台的主要部分的剖视图。图6是上述基板保持装置的驱动部的立体图。图7是上述驱动部的俯视图。图8是表示其动作的一例的侧视图。图8是表示上述驱动部的动作的一例的侧视图。图9是上述基本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板保持装置，具有：/n基板支承台以及夹紧机构，/n所述基板支承台具有：/n支承面，其具有分别配置多个基板的多个支承区域；/n旋转机构部，其能够使所述支承面绕与所述支承面平行的轴从水平姿态立起为垂直姿态，/n所述夹紧机构具有：/n多个夹紧部，其沿着所述多个支承区域的周围配置，并且能够保持所述多个基板的周缘部，/n所述多个夹紧部包括多个第一夹紧部，所述多个第一夹紧部配置在所述多个支承区域之间的中间区域并且能够分别保持所述多个基板的周缘部。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180411 JP 2018-0758701.一种基板保持装置，具有：
基板支承台以及夹紧机构，
所述基板支承台具有：
支承面，其具有分别配置多个基板的多个支承区域；
旋转机构部，其能够使所述支承面绕与所述支承面平行的轴从水平姿态立起为垂直姿态，
所述夹紧机构具有：
多个夹紧部，其沿着所述多个支承区域的周围配置，并且能够保持所述多个基板的周缘部，
所述多个夹紧部包括多个第一夹紧部，所述多个第一夹紧部配置在所述多个支承区域之间的中间区域并且能够分别保持所述多个基板的周缘部。


2.根据权利要求1所述的基板保持装置，其中，
所述多个支承区域包括在所述基板支承台为垂直姿态时在上下方向相邻的至少两个支承区域。


3.根据权利要求1或2所述的基板保持装置，其中，
所述多个夹紧部还包括多个第二夹紧部和多个第三夹紧部，所述多个第二夹紧部和所述多个第三夹紧部配置在除所述中间区域以外的所述多个支承区域的周边区域，
所述多个第一夹紧部及所述多个第二夹紧部具有伴随着与所述支承面大致平行的运动并与所述多个基板的周缘部相向的钩部，
所述多个第三夹紧部具有伴随着从所述支承面的上方接近所述支承面的运动并与所述多个基板的周缘部相向的钩部。


4.根据权利要求3所述的基板保持装置，其中，
所述多个第一夹紧部及所述多个第二夹紧部还具有旋转支承部，所述旋转支承部以能够朝向夹紧位置并沿固定曲率的曲线轨道旋转的方式支承所述钩部。


5.根据权利要求3或4所述的基板保持装置，其中，
所述多个第三夹紧部还具有连杆机构部，所述连杆机构部以能够朝向夹紧位置并能够沿着具有比所述多个第一夹紧部及所述多个第二夹紧部大的、从所述支承面起的最大高度的曲线轨道移动的方式支承所述钩部。


6.根据权利要求4或5所述的基板保持装置，其中，
所述多个第一夹紧部至所述多个第三夹紧部还分别具有对所述钩部朝向所述夹紧位置施力的施力构件。


7.根据权利要求3至6中任一项所述的基板保持装置，其中，
所述夹紧机构构成为：在通过所述多个第一夹紧部和所述多个第二夹紧部保持所述多个基板的周缘部之后，通过所述多个第三夹紧部保持所述多个基板的周缘部。


8.根据权利要求3至7中任一项所述的基板保持装置，其中，
所述多个基板的俯视形状为矩形，
所述多个第三夹紧部配置在比所述多个第...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤雄亮，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：日本;JP