一种对夹型配重的顶针结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种对夹型配重的顶针结构，属于半导体设备领域。本实用新型专利技术所述的对夹型配重的顶针结构，该顶针置于热台的通孔内，热台的下方设有顶板，顶针的底端布置于顶板上，定顶板由气缸作动进行上下运动，所述的顶针的底端与顶板接触端之间设有对夹配重单元，该对夹配重单元保持顶针垂直于顶板的水平基准面。本实用新型专利技术所述的对夹型配重的顶针机构，采用的对夹配重单元防止顶针在运动过程中发生倾斜导致断裂。采用的对夹配重单元使得顶针的重心下移，重心驱使顶针保持一个垂直的状态不会发生倾斜。保证下顶针在升降的过程中形成独立的垂直状态不会与周边设备发生接触摩擦，进一步增加了顶针在运动过程中的稳定性，解决了顶针卡断的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种对夹型配重的顶针结构
本技术涉及一种对夹型配重的顶针结构，属于半导体设备领域。
技术介绍
科技飞速发展，半导体行业日见突出重要的今天，半导体的自动化及要求也越来越高，半导体行业中很多设备都用到了真空机械手传送晶片，然而在真空中配合机械手传送片的机构就是顶针机构。其重要性不言而喻。因为顶针机构一般都是针对特定的机台特定腔体结构及特定设备布局，设计特定的顶针机构。其结构也存在多种多样，应用上都或多或少的存在着各种问题。给设备的使用也造成很大的不变，给客户也造成不小的烦恼。其中经常出现的问题则是使用过程中顶针用一段时间就会断掉，甚至有些时候顶针断掉的频率还特别高，如果顶针断了并没有及时发现，而继续正常运行设备，则后果可能会很严重。因此给客户带来很大的困扰的同时，也给公司带来人力和经济上的浪费。最常用的一种顶针，由于顶针放在热台的孔内，间隙配合，然而这个间隙很难控制，空隙小了，顶针与孔配合太紧，顶针不容易落下去，就容易发生事故。当然如果间隙太大，更容易出现断针的情况，因为间隙大了，实际顶针放在孔内就会出现倾斜的状态，如图示，这样，在顶板顶升顶针的时候就会在热台的孔的底部产生一定的斜切力，尽管顶针的表面都设计的非常光滑，但久而久之，也会被摩擦的粗糙并留下摩擦的痕迹，然后就会发生断裂。顶针一般采用陶瓷材质，所以比较脆，而热台一般有陶瓷热台和金属热台。底端的设备一般配备的是金属铝热台，所以针对这种金属热台配陶瓷顶针的设备，应用过程中更容易出现断针。热台的工作温度一般都在300~400°的高温，在高温下，金属热台的顶针孔会涨大，而陶瓷顶针的热膨胀系数很小，几乎不膨胀。所以顶针在孔内更倾斜，则顶升顶针的过程中更容易出现断针。多次做实验证明了这一点。曾经在同一台设备上，同一个热台上，用同样规格的顶针，常温下全新的四根顶针连续升降测试1000次都正常升降，无断针情况。拿出来观察，顶针表面只是有些地方摩擦粗糙，无其他异常。然后换另外四根全新的顶针，将热台升温到300°测试，顶针只测试了30次就出现了第一根针断裂。实际应用中也是经常出现断针的情况。让人困扰不已。
技术实现思路
本技术针对上述不足提供了一种对夹型配重的顶针结构。本技术采用如下技术方案：本技术所述的对夹型配重的顶针结构，该顶针置于热台的通孔内，热台的下方设有顶板，顶针的底端布置于顶板上，定顶板由气缸作动进行上下运动，所述的顶针的底端与顶板接触端之间设有对夹配重单元，该对夹配重单元保持顶针垂直于顶板的水平基准面。本技术所述的对夹型配重的顶针结构，所述的对夹配重单元包括上重块，下重块，螺钉；所述的顶针的底端部置于下重块的中心处，下重块的上设有对夹布置的上重块，上重块包覆固定顶针，上重块与下重块之间通过螺钉相互固定。本技术所述的对夹型配重的顶针结构，所述的下重块的中心处设有套置顶针的圆孔，沿圆孔为中心按圆周排列布置沉孔；上重块由两个对称布置的重块组成，两个对称布置的重块的中心分别设有半凹腔，两个半凹腔相互拼合组成容纳针体的内腔部。本技术所述的对夹型配重的顶针结构，所述上重块两个对称布置的重块的半凹腔一侧设有通孔；该通孔与下重块的沉孔保持轴心一致，所述的螺钉贯穿沉孔与通孔，螺钉的螺帽端位于沉孔内。本技术所述的对夹型配重的顶针结构，所述的两个半凹腔的内缘壁设有台阶。本技术所述的对夹型配重的顶针结构，所述的顶针的底端圆周面设有台阶槽。本技术所述的对夹型配重的顶针机构，所述的顶针的底端的台阶槽插置于凹腔内的台阶上。有益效果本技术所述的对夹型配重的顶针机构，采用的对夹配重单元防止顶针在运动过程中发生倾斜导致断裂。采用的对夹配重单元使得顶针的重心下移，重心驱使顶针保持一个垂直的状态不会发生倾斜。保证下顶针在升降的过程中形成独立的垂直状态不会与周边设备发生接触摩擦，进一步增加了顶针在运动过程中的稳定性，解决了顶针卡断的问题。本技术所述的对夹型配重的顶针机构，可针对不同材质的顶针进行装配并使用，增加了与顶板之间的接触面积，提高了不同材质顶针在顶板上的适用性。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是本技术的对夹配重机构爆炸示意图；图3是适配于本技术的顶针结构示意图；图4是本技术的半上重块的结构示意图；图5是本技术的下重块结构示意图；图6是本技术的下重块剖面结构示意图；图7是本技术的对夹配重机构装配示意图；图8是本技术的另一种结构示意图。图中1是热台，2是顶针，3是配重块，4是顶板，31是上重块，32是下重块，33是螺钉，34是半凹腔，35是台阶，36是圆孔，37是通孔，38是沉孔。具体实施方式为使本技术实施例的目的和技术方案更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1所示：一种对夹型配重的顶针结构，该顶针置于热台的通孔内，热台的下方设有顶板，顶针的底端布置于顶板上，定顶板由气缸作动进行上下运动，顶针的底端与顶板接触端之间设有对夹配重单元，该对夹配重单元保持顶针垂直于顶板的水平基准面。如图2所示：所述的对夹型配重的顶针结构，所述的对夹配重单元包括上重块31，下重块32，螺钉33；顶针2的底端部置于下重块32的中心处，下重块32的上设有对夹布置的上重块31，上重块31包覆固定顶针，上重块31与下重块32之间通过螺钉相互固定。下重块32的中心处设有套置顶针的圆孔36，沿圆孔36为中心按圆周排列布置沉孔38；上重块31由两个对称布置的重块组成，两个对称布置的重块的中心分别设有半凹腔，两个半凹腔相互拼合组成容纳针体的内腔部。上重块两个对称布置的重块的半凹腔34一侧设有通孔37；该通孔37与下重块的沉孔38保持轴心一致，螺钉贯穿沉孔38与通孔37，螺钉的螺帽端位于沉孔38内。如图3所示：顶针2的直径一般很小，直径为a，a取2~5mm。在顶针2的根部有两处台阶槽的长度分别是b和d，间隔距离为c。此两处台阶槽的外径为均为e，可取e=a-1~a-0.5mm。此两处台阶槽专为安装配重3而提供很好的定位及着力点。顶针的蘑菇头或沉头直径要大于a同时也大于热台的孔径，以此实现顶针头不会穿过热台孔。顶针总长度L一般取30~80mm，根据腔体结构而定。如图4、图5、图6所示：配重块3的上重块31成半圆形状，上有沉头通孔数量n1，n1取1或2，外圆直径为m，内径成台阶状，台阶长度为b，台阶内径为e，与顶针2上的一槽宽及槽深一致，总厚度为t1。配重块3的下重块32成圆形，上面有配合上重块的螺纹孔，对应数量为2或4，外径直径依然是m，内径也成台阶状，台阶长度为d，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种对夹型配重的顶针结构，该顶针置于热台的通孔内，热台的下方设有顶板，顶针的底端布置于顶板上，定顶板由气缸作动进行上下运动，其特征在于;所述的顶针的底端与顶板接触端之间设有对夹配重单元，该对夹配重单元保持顶针垂直于顶板的水平基准面。/n

【技术特征摘要】
1.一种对夹型配重的顶针结构，该顶针置于热台的通孔内，热台的下方设有顶板，顶针的底端布置于顶板上，定顶板由气缸作动进行上下运动，其特征在于;所述的顶针的底端与顶板接触端之间设有对夹配重单元，该对夹配重单元保持顶针垂直于顶板的水平基准面。


2.根据权利要求1所述的对夹型配重的顶针结构，其特征在于：所述的对夹配重单元包括上重块，下重块，螺钉；所述的顶针的底端部置于下重块的中心处，下重块的上设有对夹布置的上重块，上重块包覆固定顶针，上重块与下重块之间通过螺钉相互固定。


3.根据权利要求2所述的对夹型配重的顶针结构，其特征在于：所述的下重块的中心处设有套置顶针的圆孔，沿圆孔为中心按圆周排列布置沉孔；上重块由两个对称布置的重...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯永刚，胡冬冬，郭颂，刘海洋，李娜，陈兆超，程实然，许开东，
申请(专利权)人：江苏鲁汶仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32