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本发明提供一种固定装置和加工设备。该固定装置包括用于对待加工基片进行一对一吸附固定的真空吸附单元，真空吸附单元包括抽真空结构和设置在抽真空结构上的承载部，承载部用于承载基片；抽真空结构包括轴体和套设在轴体上的环体，抽真空结构中开设有第一抽真...
该专利属于东泰高科装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东泰高科装备科技有限公司授权不得商用。

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