超低温冷冻装置、冷冻系统及真空装置制造方法及图纸

于使用混合沸点相互各异复数种冷媒的混合冷媒的超低温冷冻装置（Ｒ）中，为确保对于过冷却器（３１）的液体冷媒流量，增大低温盘管（３２）的冷却效率，对于设置了低温盘管（３２）及毛细管（２９）的主冷媒回路（３８）、上流端连接于上述主冷媒回路（３８）的上流端，设置了毛细管（２８）的副冷媒回路（３９），使副冷媒回路（３９）的高度位置低于主冷媒回路（３８）的高度位置。使自过冷却器（３１）一次一侧（３１ａ）喷出的气液混合状态冷媒流入副冷媒回路（３９）的流量比流入主冷媒回路（３８）的流量多，流向副冷媒回路（３９）的液体冷媒流量比流入主冷媒回路（３８）的流量增加。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术，关于一种为产生超低温冷量的超低温冷冻装置、冷冻系统及真空装置。
技术介绍
迄今为止，作为为产生-100℃以下的超低温冷量的冷冻系统，如专利文献1、2、3所示，混合沸点温度不同的复数种冷媒形成的非共沸点混合冷媒封入冷媒回路的混合冷媒方式超低温冷冻装置已为所知。该种超低温冷冻装置，如设置于衬底(晶片)等制造用真空成膜装置真空罐内的水分由冷冻去除从而提高真空水准。该冷冻系统的冷媒回路，其基本构成为包括如压缩机、冷凝器、复数级气液分离器、复数级的气液分离器、复数级的分级热交换器、复数个减压器及冷却器(蒸发器)。从上述压缩机喷出的混合冷媒中，主要是把高沸点冷媒由冷凝器冷凝后，在第一气液分离器分离液体冷媒和气体冷媒，将该气体冷媒在第一级分级热交换器的一次一侧，与上述分离后并减压后的液体冷媒热交换并冷却。还有，第二级以后的分级热交换器亦进行同样的热交换。也就是，各级的气液分离器中，分离由上一级分级热交换器冷凝的冷媒的气体冷媒和液体冷媒。该分离后的冷媒由减压器减压后，于对应的上述各级热交换器蒸发，由该蒸发热冷凝来自上述气液分离器的气体冷媒。并且，在复数级的分级热交换器上按照混合冷媒本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种冷冻系统，其特征为：包括：压缩机，压缩冷媒；冷凝器，冷却上述压缩机喷出的冷媒至冷凝；过冷却器，具有流过自该冷凝器喷出冷媒的一次一侧，及流过自该一次一侧喷出且由过冷却器用减压器减压的冷媒的二次一侧，由一次一 侧的冷媒与二次一侧的冷媒间的热交换进行冷却；主冷却器，蒸发自该过冷却器一次一侧喷出且由主冷却器用减压器减压的冷媒对冷却对象进行冷却；过冷却器冷媒流量增加器，使自上述过冷却器一次一侧喷出的冷媒中，流过过冷却器二次一侧液体冷媒流 量多于流向主冷却器液体冷媒流量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥正幸，八木昌文，清水宽正，友泽章，池田昌彦，盐野真士，
申请(专利权)人：新明和工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]