低温泵及真空排气方法技术

本发明专利技术提供一种能够高速排出非冷凝性气体的低温泵、低温板结构及真空排气方法。本发明专利技术的低温泵（1）具备：吸附低温板（2），具备接收非冷凝性气体的入射的前表面（4）和具备非冷凝性气体的吸附区域的背面（5）；以及反射低温板（3），具备与背面（5）对置的非冷凝性气体的反射面（7）。吸附低温板（2）可以具有多个从前表面（4）贯穿至背面（5）的贯穿孔（6）。吸附低温板（2）可以具有10%以上70%以下的非冷凝性气体的通过概率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种低温泵，其特征在于，具备：吸附低温板，具备接收非冷凝性气体的入射的前表面和具备非冷凝性气体的吸附区域的背面；以及反射低温板，具备与所述背面对置的非冷凝性气体的反射面，所述吸附低温板具有多个从所述前表面贯穿至所述背面的孔。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高桥走，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP