具有纳米结构材料的超高真空低温泵装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了具有纳米结构材料的超高真空低温泵装置。本发明专利技术的低温泵装置包括纳米结构材料以实现超高真空度。纳米结构材料可以与吸附材料或者固定粘合层混合，固定粘合层用于固定吸附材料。纳米结构材料的良好的热导性和吸附性能有助于降低工作温度并且延长低温泵的再生周期。

【技术实现步骤摘要】
具有纳米结构材料的超高真空低温泵装置
本专利技术一般地涉及半导体
，更具体地，涉及低温泵系统及其真空实现方法。
技术介绍
真空系统广泛地应用于科学研究和工业中。半导体制造领域在需要高真空系统的许多重要
之中。通常，器件的性能高度依赖于真空系统中存在的压强和杂质。生长环境中的残余气体和/或者其它杂质可能是产品污染的重要来源。超高真空状态（regime）是以压强低于10-9托为特征的真空状态且不易实现。虽然泵可以不断地从真空室中去除粒子以试图减小真空室中的压强，但是气体通过表面解吸从腔室的壁进入真空室或者渗透穿过壁进入真空室。特别地，当压强较低时，腔室内部和真空室外部的周围环境之间的压强差使渗透更加严重。低温泵是可以用于通过在低温下去除封闭真空室中的气体来试图实现超高真空条件的一种类型的真空器件。低温泵通过将粒子冷凝在冷表面上来捕获粒子。
技术实现思路
为了解决现有技术中所存在的缺陷，根据本专利技术的一方面，提供了一种低温泵系统，包括：罐，具有连接至真空室的法兰；低温叶片阵列，布置在所述罐内；固定粘合层，位于所述低温叶片阵列的叶片上；以及吸附材料，位于所述固定粘合层上，所述吸附材本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低温泵系统，包括：罐，具有连接至真空室的法兰；低温叶片阵列，布置在所述罐内；固定粘合层，位于所述低温叶片阵列的叶片上；以及吸附材料，位于所述固定粘合层上，所述吸附材料和所述固定粘合层中的至少一个包括碳纳米管材料。

【技术特征摘要】
2013.10.22 US 14/059,8511.一种低温泵系统，包括：罐，具有连接至真空室的法兰；布置在所述罐中的冷镦机；低温叶片阵列，布置在所述罐内并围绕所述冷镦机；固定粘合层，位于所述低温叶片阵列的叶片上；以及吸附材料，位于所述固定粘合层上，所述吸附材料和所述固定粘合层中的至少固定粘合层包括碳纳米管材料。2.根据权利要求1所述的低温泵系统，其中，所述吸附材料包括活性炭材料，所述碳纳米管材料混合在所述活性炭材料中的孔内。3.根据权利要求1所述的低温泵系统，其中，所述吸附材料包括活性炭材料。4.根据权利要求1所述的低温泵系统，其中，所述固定粘合层的热导率大于没有与纳米结构材料混合的第二固定粘合层的热导率。5.根据权利要求1所述的低温泵系统，其中，所述低温叶片阵列的工作温度为8开尔文。6.根据权利要求1所述的低温泵系统，其中，所述碳纳米管材料包括单壁碳纳米管。7.根据权利要求1所述的低温泵系统，其中，所述碳纳米管材料包括多壁碳纳米管。8.根据权利要求1所述的低温泵系统，其中，所述碳纳米管材料具有结晶缺陷。9.根据权利要求8所述的低温泵系统，其中，纳米结构材料的所述结晶缺陷是用于要被所述碳纳米管材料吸附的粒子的结合位点。10.根据权利要求9所述的低温泵系统，其中，所述粒子包括H2O、O2、CO2、H2、N2或者He。11.根据权利要求1所述的低温泵系统，其中，所述真空室用于物理汽相沉积(PVD)、分子束外延(MBE)或者注入室。12.一种低温泵系统的真...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏伦德拉·巴布·阿南塔洛曼，杨文成，高宗恩，卢一斌，秦威，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71