一种新型滴胶纳米压印设备制造技术

技术编号:24579542 阅读:38 留言:0更新日期:2020-06-21 00:52
本实用新型专利技术提出一种新型滴胶纳米压印设备,包括:外壳;底座,位于外壳的底端;加热板,安装于底座上;托板,位于加热板上,托板上开设有多个真空槽,部分真空槽内开设有真空孔,真空孔与外接的真空泵A通过气管连接;压板,位于托板上方,压板中间开设有透视窗,在托板的下表面上开设有环形真空槽,环形真空槽内开设有气孔,气孔通过气管与外接的真空泵B连接;升降装置,升降装置的底端与底座连接,顶端与压板连接,升降装置上设置有微调整单元;滴胶装置,包括旋转臂,旋转臂上设置有滴胶针头,与滴胶针头通过胶管连接有胶桶,与胶桶连接有推拉杆;紫外灯,位于压板上方的外壳内侧。本实用新型专利技术能够防止气泡的产生,提高成品率,降低了成本。

A new type of nano imprinting equipment for gutta percha

【技术实现步骤摘要】
一种新型滴胶纳米压印设备
本技术属于纳米压印
,尤其涉及一种新型滴胶纳米压印设备。
技术介绍
纳米压印技术是华裔科学家周郁在1995年专利技术的一项成本低廉、分辨率高的光刻技术。在纳米压印中,只需要用一次压印就可以大量生产复制品,因此纳米图案复制领域一直是各国科学家研究的热点。目前,现有的压印设备在滴胶压印过程中,常常容易产生气泡,尤其在采用比较稀的胶液时,由于滴胶完成后胶液扩散速度快,很容易出现多个接触点,从而产生气泡。
技术实现思路
本技术针对上述的技术问题,提出一种新型滴胶纳米压印设备,其能够防止气泡的产生,提高压印的成品率,降低了生产成本。为了达到上述目的,本技术采用的技术方案为:一种新型滴胶纳米压印设备,包括:外壳;底座,位于所述外壳内侧的底部;加热板,安装于所述底座上;托板,位于所述加热板上,所述托板上开设有多个真空槽,基板位于所述托板的上表面,所述部分真空槽内开设有真空孔,所述真空孔与外接的真空泵A通过气管连接,基板放置在所述托板的上表面通过所述真空本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型滴胶纳米压印设备,其特征在于,包括:/n外壳;/n底座,位于所述外壳内侧的底部;/n加热板,安装于所述底座上;/n托板,位于所述加热板上,所述托板上开设有多个真空槽,基板位于所述托板的上表面,所述部分真空槽内开设有真空孔,所述真空孔与外接的真空泵A通过气管连接;/n压板,位于所述托板上方,所述压板中间开设有透视窗,在所述托板的下表面上开设有环形真空槽用于固定模板,所述环形真空槽内开设有气孔,所述气孔通过气管与外接的真空泵B连接;/n升降装置,所述升降装置的底端与所述底座连接,所述升降装置的顶端与所述压板连接用于驱动所述压板竖向移动,所述升降装置上设置有微调整单元用于调节所述压板与所...

【技术特征摘要】
1.一种新型滴胶纳米压印设备,其特征在于,包括:
外壳;
底座,位于所述外壳内侧的底部;
加热板,安装于所述底座上;
托板,位于所述加热板上,所述托板上开设有多个真空槽,基板位于所述托板的上表面,所述部分真空槽内开设有真空孔,所述真空孔与外接的真空泵A通过气管连接;
压板,位于所述托板上方,所述压板中间开设有透视窗,在所述托板的下表面上开设有环形真空槽用于固定模板,所述环形真空槽内开设有气孔,所述气孔通过气管与外接的真空泵B连接;
升降装置,所述升降装置的底端与所述底座连接,所述升降装置的顶端与所述压板连接用于驱动所述压板竖向移动,所述升降装置上设置有微调整单元用于调节所述压板与所述托板之间的平行度使所述压板与所述托板之间保持平行;
滴胶装置,包括可旋转的旋转臂,所述旋转臂上设置有滴胶针头,与所述滴胶针头通过胶管连接有用于盛放胶液的胶桶,与胶桶连接有可对胶桶内的胶液施压的推拉杆;
紫外灯,位于所述压板上方的外壳内侧,与所述外壳连接可透过所述透视窗对胶液固化。


2.根据权利要求1所述的新型滴胶纳米压印设备,其特征在于:所述滴胶纳米压印设备还包括控制器,所述控制器与所述加热板、所述真空泵A,所述真空泵B、所述升降装置、所述微调整单...

【专利技术属性】
技术研发人员:冀然
申请(专利权)人:青岛天仁微纳科技有限责任公司
类型:新型
国别省市:山东;37

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