半导体或光伏材料的加工设备制造技术

本实用新型专利技术公开了半导体或光伏材料的加工设备，包括炉体本体、炉门，炉门上设置电极结构，电机结构包括电极柱、电极主体和绝缘材料，电极柱与电极主体连接，绝缘材料覆盖电极柱侧面。本实用新型专利技术提供了一种结构简单、电极机构设计合理的半导体或光伏材料的加工设备。

Processing equipment for semiconductor or photovoltaic materials

【技术实现步骤摘要】
半导体或光伏材料的加工设备
本技术涉及半导体或光伏材料加工领域，更具体的说，它涉及一种半导体或光伏材料的加工设备。
技术介绍
半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过化学处理才能够应用到产品上，CVD技术是其中的一种处理方式，CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺，例如磷扩散、硼扩散等，都可以采用气体扩散的方式来对原材料进行加工，目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、石墨舟、小舟或者花篮。目前的设备中存在如下问题：石墨舟通常尺寸较大，一般都能达到2米左右，电场从整个石墨舟尾部传递到前部会产生很大差异，难以获得均匀一致的电场。石墨舟片竖直设置，片状材料竖直放置在石墨舟片之间，与石墨舟片贴合。由于片状材料需要竖直放置，会出现片状材料表面与石墨舟片表面贴合不紧的情况，从而导致片状材料导电不良，工艺后的片状材料出现绕镀，片状材料四周会产生黑边，且存在倒片的风险，致使不良品率升高。
技术实现思路
本技术克服了现有技术的不足，提供了一种结构简单、电极机构设计合理的加工设备。本技术的技术方案如下：半导体或光伏材料的加工设备，包括炉体本体、炉门，炉门上设置电极结构，电极结构包括电极柱、电极主体和绝缘材料，电极柱与电极主体连接，绝缘材料覆盖电极柱侧面。进一步的，炉体本体外侧设置加强筋。进一步的，炉体本体采用耐高温、抗压材料。进一步的，电极柱的一端与电极主体连接；电极柱另一端裸露，扩大接触面积。进一步的，电极柱包括连接部、衔接部和固定部；连接部覆盖具有绝缘、加固的材料，衔接部覆盖具有绝缘、可拉伸材料，固定部覆盖绝缘材料。进一步的，电极柱与电极主体之间设置导电连接件；导电连接件的一端设置放置电极柱的安置孔，导电连接件的另一端设置连接电极主体的连接孔。进一步的，电极柱的连接部和衔接部的直径相同，衔接部的直径大于固定部的直径。进一步的，电极柱的衔接部侧面设置辅助固定装置；辅助固定装置固定于炉门远离炉体本体的一侧；辅助固定装置包括固定柱、气缸、伸缩杆和夹持装置；其中固定柱的一端与炉门固定，另一端与气缸固定；气缸靠近电极柱的一端设置伸缩杆，其受气缸控制；伸缩杆另一端固定夹持装置。进一步的，炉体本体采用圆柱形或者长方体，炉体本体采用金属材质或者非金属材料,电极柱裸露的一端呈圆弧球面。进一步的，连接部覆盖采用陶瓷绝缘套管，衔接部覆盖采用波纹管，固定部覆盖采用铁氟龙套管；电极柱与电极主体之间设置导电连接件采用法兰。本技术的优点在于：本方案结构简单、设计合理、将反应设备的炉体本体采用耐高温、抗压材料，以金属材料为较佳选择，提高本身的抗压属性和使用寿命。金属类导电材料的选择，为避免炉体本体的通电，在电极结构中覆盖绝缘材料，来避免漏电。当炉体采用非圆形设计，或其它材料时，容易出现抗压性差，故加入相应加强筋设计，来提升整体抗压性。电极结构具体采用多种绝缘材料，具有绝缘、加固的陶瓷绝缘套管材料，具有绝缘、可拉伸的波纹管材料，容易套接极具耐高温和绝缘性能的铁氟龙套管材料，实现电极柱中处于炉体本体上不同部位采用不同的绝缘材料，达到尽可能完美绝缘和炉体本体的真空密封效果。连接件的法兰选择，更好的连接了电极柱和电极主体，将炉门因设置电极结构处容易发生漏电的部分，加强保障能达到真空状态的要求。电极柱上设置的辅助固定装置能灵活的调整和控制电极柱。附图说明图1为本技术装上石墨舟的示意图；图2为本技术采用传统圆柱形反应炉设置电极结构的示意图；图3为本技术的一种电极结构爆炸图；图4为本技术图3的剖面图；图5为本技术的另一种电极结构爆炸图；图6为本技术图5的剖面图。图中标识：炉体本体1、炉门2、辅助固定装置3-1、法兰3-2、密封腔体3-21、铁氟龙套管3-3、波纹管3-4、电极主体3-5、陶瓷绝缘套管3-6、电极柱3-7、气体输入口4、真空接口5。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术进一步说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。实施例一：如图1至图6所示，半导体或光伏材料的加工设备，包括炉体本体1、炉门2，炉门2上设置电极结构，电极结构包括电极柱3-7、电极主体3-5和绝缘材料。电极柱3-7与电极主体3-5连接，绝缘材料覆盖电极柱3-7侧面。通过对电极柱的绝缘包裹覆盖，使电极柱3-7只露出两端，在炉门2与石墨舟中的电极结构连接时将更方便，更容易形成均匀的电场，实现等离子体增强化学气相沉积。如图1所示，炉体本体1内将平行放置石墨舟，石墨舟上的硅片也将平行放置。此放置结构比传统竖直放置石墨舟的产能更高，且更容易控制石墨舟的高度，石墨舟尾部传递到前部的电场差异将极小。炉体本体内平行放于石墨舟中的每一层石墨舟板，更容易紧密设置，且不会提高产品的不良率。炉体本体1采用规则形状如圆柱形或者长方体，也可以采用非规则图形如多边形，带内角形状等，只要与石墨舟整体形状相匹配即可。炉体本体1当采用非圆柱形设计情况下，在工艺处理过程中，炉体本体会处于真空状态下，容易产生挤压变形。为防止炉体本体1的变形，并提高使用寿命，可在炉体本体1外侧设置加强筋，以提高整体在使用过程中的抗压能力。炉体本体1采用耐高温、抗压材料，炉体本体1采用金属材料(可以是不锈钢，镍铬合金，铝合金等)或者非金属材料(碳化硅，氧化锆，氧化铝等金属氧化物),其中以炉体本体1采用金属材质为较佳选择，如采用SUS310S不锈钢结构。具体的，如图3至图6所示，覆盖电极柱3-7电极柱包括连接部、衔接部和固定部；连接部覆盖具有绝缘、加固的材料，衔接部覆盖具有绝缘、可拉伸材料，固定部覆盖绝缘材料。具体的连接部覆盖采用陶瓷绝缘套管3-6，衔接部覆盖采用波纹管3-4，固定部覆盖采用铁氟龙套管3-3为佳。自然也可以其他本领域技术人员能想到的，实现该功能的绝缘材料进行替换。以采用最佳材料为例，波纹管3-4实现电极结构升降动作时的动密封。陶瓷绝缘套管3-6更具有保护电极柱3-7不受炉体本体1内工艺处理气体的腐蚀。铁氟龙套管3-3达到炉门2与炉体本体1结合时的真空密封和绝缘效果。从而避免了当采用金属炉体本体1时的通电，确保设备安全和提供良好的加工石墨舟的环境。电极柱3-7与电极主体3-5之间设置导电连接件，导电连接件采用法兰3-2。便于法兰3-2的连接，电极柱3-7的连接部和衔接部的直径相同，自然也可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.半导体或光伏材料的加工设备，其特征在于：包括炉体本体、炉门，炉门上设置电极结构，电极结构包括电极柱、电极主体和绝缘材料，电极柱与电极主体连接，绝缘材料覆盖电极柱侧面。/n

【技术特征摘要】
1.半导体或光伏材料的加工设备，其特征在于：包括炉体本体、炉门，炉门上设置电极结构，电极结构包括电极柱、电极主体和绝缘材料，电极柱与电极主体连接，绝缘材料覆盖电极柱侧面。


2.根据权利要求1所述的半导体或光伏材料的加工设备，其特征在于：电极柱的一端与电极主体连接；电极柱另一端裸露，扩大接触面积。


3.根据权利要求1所述的半导体或光伏材料的加工设备，其特征在于：电极柱包括连接部、衔接部和固定部；连接部覆盖具有绝缘、加固的材料，衔接部覆盖具有绝缘、可拉伸材料，固定部覆盖绝缘材料。


4.根据权利要求1所述的半导体或光伏材料的加工设备，其特征在于：电极柱与电极主体之间设置导电连接件；导电连接件的一端设置放置电极柱的安置孔，导电连接件的另一端设置连接电极主体的连接孔。


5.根据权利要求3所述的半导体或光伏材料的加工设备，其特征在于：电极柱的连接部和衔接部的直径相同，衔接部的直径大于固定部的直径。


6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，徐栋，刘群，庞爱锁，朱太荣，林依婷，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44