挡液板结构与以之制备的蚀刻设备制造技术

本实用新型专利技术有关于一种挡液板结构与以之制备的蚀刻设备，是一种适用于湿式蚀刻机的挡液排液功能且增加其透气性以降低产品损耗的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备；本实用新型专利技术主要借由具有复数个宣泄孔的挡液板结构搭配风刀装置的设计，有效使风刀装置吹出的气体得以经由宣泄孔宣泄，并利用水滴的表面张力现象防止水滴由宣泄孔落下造成基板显影不均等异常现象，确实达到保有原始挡液板的挡液效果，以及增加透气性以破除真空以减少因真空吸板导致的基板刮伤或破片风险等主要优势。

Liquid baffle structure and etching equipment

【技术实现步骤摘要】
挡液板结构与以之制备的蚀刻设备
本技术有关于一种挡液板结构与以之制备的蚀刻设备，尤其是指一种适用于湿式蚀刻机的挡液排液功能且增加其透气性以降低产品损耗的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备。
技术介绍
请参阅图1所示，为传统挡液板结构的整体设置示意图，其中一实心PVC板态样的挡液板结构A设置于一湿式蚀刻机(图式未标示)内，主要用以阻挡一蚀刻药液(图式未标示)对设置于该挡液板结构A下方的基板(图式未标示)的喷溅而造成蚀刻不均匀的现象，并且在湿式蚀刻的制程步骤中，该基板设置于二风刀B之间，当该基板设置于一输送装置(图式未标示)而由该挡液板结构A的左方接受蚀刻药液蚀刻后移动至风刀B之间，该等风刀B再喷出一气体C到该基板的表面以将该基板表面残留的蚀刻药液吹除；然而，当在该等风刀B进行吹气的状态下，容易在该挡液板结构A下方形成微小的真空空间而形成涡流并造成真空吸板的问题；因此，如何有效借由创新的硬体设计，确实达到保有原始挡液板的挡液效果，以及增加透气性以破除真空以减少因真空吸板导致的基板刮伤或破片风险，仍是湿式蚀刻机等相关产业开发业者与相关研究人员需持续努力克服与解决的课题。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题即在于提供一种挡液板结构与以之制备的蚀刻设备，尤其是指一种适用于湿式蚀刻机的挡液排液功能且增加其透气性以降低产品损耗的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备，主要借由具有复数个宣泄孔的挡液板结构搭配风刀装置的硬体设计，有效使风刀装置吹出的气体得以经由宣泄孔宣泄，并利用水滴的表面张力现象防止水滴由宣泄孔落下造成基板显影不均等异常现象，确实达到保有原始挡液板的挡液效果，以及增加透气性以破除真空以减少因真空吸板导致的基板刮伤或破片风险等主要优势。本技术所采用的技术手段如下所述。为了达到上述的实施目的，本技术提出一种挡液板结构，适用于一湿式蚀刻机，挡液板结构包括有一第一挡板、一与第一挡板接合的第二挡板，以及一与第二挡板接合的第三挡板，其主要特征在于：第二挡板具有复数个贯穿第二挡板且错位设置的宣泄孔。如上所述的挡液板结构，其中第一挡板与第二挡板呈正交设置，且第二挡板与第三挡板呈正交设置。如上所述的挡液板结构，其中第一挡板、第二挡板与第三挡板围设成一凹槽的态样。如上所述的挡液板结构，其中第二挡板的长度介于10厘米(centimeter，cm)至15厘米(cm)之间。如上所述的挡液板结构，其中宣泄孔的孔径小于3毫米(millimeter，mm)。如上所述的挡液板结构，其中宣泄孔为千鸟排列或矩阵排列等其中的一种排列方式。如上所述的挡液板结构，其中宣泄孔为直通孔或斜锥孔等其中的一种态样或两者的混合。如上所述的挡液板结构，其中宣泄孔具有一第一壁面，以及一第二壁面，且第二挡板具有一下表面，当宣泄孔为斜锥孔态样时，第一壁面与下表面的第一夹角不同于第二壁面与下表面的第二夹角。如上所述的挡液板结构，其中当宣泄孔为斜锥孔态样时，宣泄孔的上孔径与下孔径不相等。如上所述的挡液板结构，其中当宣泄孔为斜锥孔态样时，宣泄孔的上孔径小于下孔径。如上所述的挡液板结构，其中当宣泄孔为斜锥孔态样时，宣泄孔由第二挡板的下表面朝向上表面的方向渐缩。此外，为了达到上述的实施目的，本技术另提出一种蚀刻设备，设置于一湿式蚀刻机的一槽体内，蚀刻设备至少包括有一如上所述的挡液板结构、一基板、一输送装置，以及一风刀装置；基板设置于挡液板结构的下方；输送装置设置于基板的下方，输送装置包括有至少一滚轮，其中滚轮与基板接触以运行基板；风刀装置设置于挡液板结构的一端部，风刀装置包括有一设置于基板上方的第一风刀，以及一设置于基板下方的第二风刀，其中第一风刀与第二风刀分别吹出一气体至基板。如上所述的蚀刻设备，其中蚀刻设备可进一步设置有一喷洒装置，喷洒装置相对于风刀装置一端而设置于挡液板结构的另一端部。如上所述的蚀刻设备，其中喷洒装置喷洒一药液至基板上。如上所述的蚀刻设备，其中挡液板结构与基板的垂直距离介于8mm至15mm之间。如上所述的蚀刻设备，其中滚轮呈顺时针方向转动，并带动基板由喷洒装置下端部朝向风刀装置的第一风刀下端部的方向移动。如上所述的蚀刻设备，其中气体远离第一风刀与第二风刀的方向分别与基板的法线方向夹设有一第三夹角。如上所述的蚀刻设备，其中第三夹角介于20度至35度之间。再者，为了达到上述实施目的，本技术另研拟一种蚀刻方法，于一湿式蚀刻机的一槽体内运行；首先，设置一挡液板结构，其中挡液板结构设置有复数个宣泄孔；接着，使用一设置于挡液板结构下方的输送装置输送一基板，以经过一喷洒装置进行一药液喷洒；接续，使用一设置于挡液板结构下方的风刀装置对基板吹出一气体，以使基板干燥；最后，气体经由宣泄孔宣泄。如上所述的蚀刻方法，其中输送装置借由至少一呈顺时针方向转动的滚轮带动基板由喷洒装置的下端部朝向风刀装置的第一风刀的下端部的方向移动。如上所述的蚀刻方法，其中风刀装置分别借由一设置于该输送装置的上端部的第一风刀与一设置于该输送装置的下端部的第二风刀朝向基板的上表面与下表面吹送气体。借此，本技术所产生的技术效果：本技术的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备主要借由具有复数个宣泄孔的挡液板结构搭配风刀装置的硬体设计，有效使风刀装置吹出的气体得以经由宣泄孔宣泄，并利用水滴的表面张力现象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蚀刻不均等异常现象，确实达到保有原始挡液板的挡液效果，以及增加透气性以破除真空以减少因真空吸板导致的基板刮伤或破片风险等主要优势。附图说明图1：传统挡液板结构的整体设置示意图。图2：本技术挡液板结构其一较佳实施例的整体结构示意图。图3：本技术挡液板结构其一较佳实施例的宣泄孔排列示意图。图4：本技术挡液板结构其二较佳实施例的宣泄孔排列示意图。图5：本技术挡液板结构其三较佳实施例的宣泄孔排列示意图。图6：本技术蚀刻设备其一较佳实施例的整体结构示意图。图7：本技术蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构运作局部放大图。图8：本技术蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图9：本技术蚀刻设备其一较佳实施例的宣泄孔的表面张力局部放大图。图10：本技术蚀刻设备其二较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图11：本技术蚀刻设备其三较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图12：本技术挡液板结构其二较佳实施例的宣泄孔的表面张力局部放大图。图13：本技术蚀刻方法的步骤流程图。图号说明：传统挡液板结构A挡液板结构B风刀C气体本技术1蚀刻设备10挡液板结构11第一挡板12第二挡板121宣泄孔1211第一壁面1212第二壁面122下表面...

【技术保护点】
1.一种挡液板结构，适用于一湿式蚀刻机，该挡液板结构(10)包括有一第一挡板(11)、一与该第一挡板(11)接合的第二挡板(12)，以及一与该第二挡板(12)接合的第三挡板(13)，其特征在于：该第二挡板(12)具有复数个贯穿该第二挡板(12)且错位设置的宣泄孔(121)。/n

【技术特征摘要】
1.一种挡液板结构，适用于一湿式蚀刻机，该挡液板结构(10)包括有一第一挡板(11)、一与该第一挡板(11)接合的第二挡板(12)，以及一与该第二挡板(12)接合的第三挡板(13)，其特征在于：该第二挡板(12)具有复数个贯穿该第二挡板(12)且错位设置的宣泄孔(121)。


2.如权利要求1所述的挡液板结构，其特征在于，该第一挡板(11)与该第二挡板(12)呈正交设置，且该第二挡板(12)与该第三挡板(13)呈正交设置。


3.如权利要求1所述的挡液板结构，其特征在于，该第一挡板(11)、该第二挡板(12)与该第三挡板(13)围设成一凹槽的态样。


4.如权利要求1所述的挡液板结构，其特征在于，该第二挡板(12)的一长度(H)介于10厘米至15厘米之间。


5.如权利要求1所述的挡液板结构，其特征在于，该宣泄孔(121)的一孔径(A0)小于3毫米。


6.如权利要求1所述的挡液板结构，其特征在于，该宣泄孔(121)为千鸟排列或矩阵排列其中之一。


7.如权利要求5所述的挡液板结构，其特征在于，该宣泄孔(121)为直通孔或斜锥孔其中之一态样或两者的混合。


8.如权利要求7所述的挡液板结构，其特征在于，该宣泄孔(121)具有一第一壁面(1211)，以及一第二壁面(1212)，且该第二挡板(12)具有一下表面(122)，当该宣泄孔(121)为斜锥孔态样时，该第一壁面(1211)与该下表面(122)的一第一夹角(θ1)不同于该第二壁面(1212)与该下表面(122)的一第二夹角(θ2)。


9.如权利要求7所述的挡液板结构，其特征在于，当该宣泄孔(121)为斜锥孔态样时，该宣泄孔(121)的一上孔径(A1)与一下孔径(A2)不相等。


10.如权利要求7所述的挡液板结构，其中当该宣泄孔(121)为斜锥孔态样时，该宣泄孔(121)的一上孔径(A1)小于一下孔径(A2)。


11.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱显炜，郑宇轩，李宗荣，
申请(专利权)人：亚智科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71