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本实用新型有关于一种挡液板结构与以之制备的蚀刻设备，是一种适用于湿式蚀刻机的挡液排液功能且增加其透气性以降低产品损耗的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备；本实用新型主要借由具有复数个宣泄孔的挡液板结构搭配风刀装置的设计，有效使风刀装置吹出的气体...
该专利属于亚智科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亚智科技股份有限公司授权不得商用。

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