槽式湿法刻蚀装置制造方法及图纸

一种槽式湿法刻蚀装置包括：工艺槽，至少一个酸液供应罐，连接管道和支撑部件，其中，所述工艺槽的位置低于酸液供应罐的位置，所述酸液供应罐通过连接管道与所述工艺槽连通，所述连接管道至少包括连接的横向管道和纵向管道，所述横向管道的入口端与所述酸液供应罐连接，所述纵向管道的出口端与所述工艺槽连接，所述酸液供应罐用于存储酸液以及将存储的酸液通过连接管道供应到工艺槽中，所述工艺槽用于将所述酸液供应罐供应的酸液稀释或者将供应的多种酸液混合，以进行刻蚀工艺；所述支撑部件与所述横向管道接触，用于使得所述横向管道保持水平。本发明专利技术槽式湿法刻蚀装置保证每次换酸后酸的浓度能保持稳定。

Groove type wet etching device

【技术实现步骤摘要】
槽式湿法刻蚀装置
本专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种槽式湿法刻蚀装置。
技术介绍
刻蚀工艺是按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖的薄膜进行选择性腐蚀或剥离的工艺。刻蚀工艺不仅是半导体器件和集成电路的基本制造工艺，而且还应用于薄膜电路、印刷电路和其他微细图形的加工。目前，最主要的刻蚀方法有两种：湿法刻蚀和干法等离子刻蚀。在湿法刻蚀中，刻蚀剂是液态化学混合物，它与晶圆衬底发生化学反应，产生可溶性物质，从而溶解于溶液中，例如，用含有氢氟酸的溶液刻蚀二氧化硅薄膜，用磷酸刻蚀铝薄膜等。槽式湿法刻蚀设备作为湿法刻蚀工艺的主要设备，通常将晶圆放置于槽式刻蚀设备的酸槽或工艺槽中，利用酸槽或工艺槽的刻蚀溶液或酸液浸没晶圆一段特定的时间，便可刻蚀去除晶圆上不需要的材料层。现有通常通过专门的酸液供应装置向酸槽或工艺槽供应酸液，以在酸槽或工艺槽中形成稀释的氢氟酸为例，通过一酸液供应罐将一定体积的未稀释的氢氟酸(比如摩尔浓度为49％的氢氟酸)供入酸槽或工艺槽，同时通过一纯水供应装置将一定体积的纯水供入酸槽或工艺槽，两者混合，在酸槽或工艺槽形成稀释的氢氟酸。但是前述在酸槽或工艺槽形成稀释的氢氟酸的方式，容易使得形成的氢氟酸的浓度偏低或偏高，不利于刻蚀工艺的进行，并且为了消除浓度报警费时费力。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是怎样提高晶圆翘曲度监测的准确性。本专利技术提供了一种槽式湿法刻蚀装置，包括：工艺槽，至少一个酸液供应罐，连接管道和支撑部件，其中，所述工艺槽的位置低于酸液供应罐的位置，所述酸液供应罐通过连接管道与所述工艺槽连通，所述连接管道至少包括连接的横向管道和纵向管道，所述横向管道的入口端与所述酸液供应罐连接，所述纵向管道的出口端与所述工艺槽连接，所述酸液供应罐用于存储酸液以及将存储的酸液通过连接管道供应到工艺槽中，所述工艺槽用于将所述酸液供应罐供应的酸液稀释或者将供应的多种酸液混合，以进行刻蚀工艺；所述支撑部件与所述横向管道接触，用于使得所述横向管道保持水平。可选的，所述横向管道包括入口端和出口端，所述纵向管道包括入口端和出口端，所述横向管道的入口端与酸液供应罐连接，所述横向管道的出口端与纵向管道的入口端连接，所述横向管道从入口端向出口端的方向向上倾斜，所述支撑部件与所述横向管道接触，通过支撑部件减小横向管道向上倾斜的角度，使得所述横向管道保持水平。可选的，所述工艺槽的顶部具有顶部基座，所述纵向管道穿过顶部基座向工艺槽中工艺酸液。可选的，所述支撑部件为支撑件，所述支撑件的一端与横向管道固定连接，所述支撑件的另一端与所述顶部基座固定连接。可选的，所述支撑部件为悬挂件，所述悬挂件的一端与横向管道固定连接，所述悬挂件的另一端与所述酸液供应罐的外壁固定连接。可选的，所述支撑部件与所述横向管道固定的位置与所述酸液供应罐的距离小于所述横向管道总长度的1/2。可选的，所述支撑部件与所述横向管道固定的位置与所述酸液供应罐的距离为所述横向管道总长度的1/4-1/3。可选的，所述酸液供应罐与所述横向管道之间具有控制阀，所述控制阀用于控制酸液供应罐向所述工艺槽中供应酸液的通断，每次换酸开始时，所述控制阀打开，换酸结束时，所述控制阀关闭，每次换酸结束控制阀关闭后，所述横向管道中剩余的酸液的量相同。可选的，还包括纯水供应端，用于向所述工艺槽中供应纯水，以稀释工艺槽中的酸液。可选的，所述酸液供应罐供应的酸液为氢氟酸，所述纯水将供应到工艺槽中的氢氟酸稀释。可选的，所述酸液供应罐的数量大于等于两个时，大于等于两个的所述酸液供应罐通过不同的连接管道与所述工艺槽连通。可选的，大于等于两个的所述酸液供应罐酸液供应罐用于供应不同类型的酸液。可选的，大于等于两个的所述酸液供应罐的容量相同或不同。与现有技术相比，本专利技术技术方案具有以下优点：本专利技术的槽式湿法刻蚀装置包括：工艺槽，至少一个酸液供应罐，连接管道和支撑部件，其中，所述工艺槽的位置低于酸液供应罐的位置，所述酸液供应罐通过连接管道与所述工艺槽连通，所述连接管道至少包括连接的横向管道和纵向管道，所述横向管道的入口端与所述酸液供应罐连接，所述纵向管道的出口端与所述工艺槽连接，所述酸液供应罐用于存储酸液以及将存储的酸液通过连接管道供应到工艺槽中，所述工艺槽用于将所述酸液供应罐供应的酸液稀释或者将供应的多种酸液混合，以进行刻蚀工艺；所述支撑部件与所述横向管道接触，用于使得所述横向管道保持水平。本专利技术中通过设置支撑部件，所述支撑部件与所述横向管道接触，通过支撑部件使得所述横向管道保持水平，由于横向管道是保持水平的，因而每次在进行换酸结束，酸液供应罐停止向工艺槽中供应酸液时，所述横向管道不会影响和阻碍连接管道中剩余的酸液在重力的作用下流入工艺槽中，使得横向管道中残余的酸液的量在每次换酸后保持相同或者相差较小，即横向管道中残余的酸液的停止位置是固定的或者变化较小，从而保证每次换酸时加入工艺槽中的酸的量是一定的，使得工艺槽中酸的浓度达到设定浓度值，酸的浓度能保持稳定，利于刻蚀工艺的进行，极大的减少或避免了槽式湿法刻蚀装置出现酸液浓度偏高或偏低的报警，保证槽式湿法刻蚀装置工作稳定性，提高了槽式湿法刻蚀装置的产量，并且节省了人力和物力。进一步，所述支撑架与所述横向管道固定的位置与所述酸液供应罐的距离为所述横向管道总长度的1/4-1/3，能更方便和更好的保持连接管道中的横向管道保持水平，并防止连通管道变形，从而使得所述横向管道能更好的不会影响和阻碍横向管道中剩余的酸液在重力的作用下流入工艺槽中，使得横向管道中残余的酸液的量在每次换酸后能更好的保持相同或者相差较小。进一步，还包括纯水供应端，用于向所述工艺槽中供应纯水，以稀释工艺槽中的酸液，使得本专利技术的槽式湿法刻蚀装置的工艺槽中能提供浓度稳定的稀释酸液。进一步，大于等于两个的所述酸液供应罐酸液供应罐用于供应不同类型的酸液，使得本专利技术的槽式湿法刻蚀装置的工艺槽中能提供浓度稳定的混合酸液。附图说明图1为本专利技术一实施例槽式湿法刻蚀装置的结构示意图；图2为本专利技术另一实施例槽式湿法刻蚀装置的流程示意图；图3为本专利技术又一实施例槽式湿法刻蚀装置的流程示意图。具体实施方式如
技术介绍
所言，但是前述在酸槽或工艺槽形成稀释的氢氟酸的方式，容易使得形成的氢氟酸的浓度偏低或偏高，不利于刻蚀工艺的进行，并且为了消除浓度报警费时费力。研究发现，在酸槽或工艺槽形成稀释的氢氟酸时，槽式湿法刻蚀设备会检测酸槽或工艺槽中氢氟酸的浓度。当酸槽或工艺槽中氢氟酸的浓度偏高(测量浓度值大于设定浓度值)或偏低(测量浓度值小于设定浓度值)时会给出相应的报警，停止刻蚀工艺的进行。当出现这样的报警时，设备人员通常需要进行手动换酸操作，以使得酸槽或工艺槽中氢氟酸中的浓度达到设定浓度，以消除报警。具体的以处理酸槽或工艺槽中氢氟酸的浓度偏低报警为例，设备人员需要先将酸槽或工艺槽中的氢氟酸排掉，然后进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，包括：工艺槽，至少一个酸液供应罐，连接管道和支撑部件，其中，/n所述工艺槽的位置低于酸液供应罐的位置，所述酸液供应罐通过连接管道与所述工艺槽连通，所述连接管道至少包括连接的横向管道和纵向管道，所述横向管道的入口端与所述酸液供应罐连接，所述纵向管道的出口端与所述工艺槽连接，所述酸液供应罐用于存储酸液以及将存储的酸液通过连接管道供应到工艺槽中，所述工艺槽用于将所述酸液供应罐供应的酸液稀释或者将供应的多种酸液混合，以进行刻蚀工艺；/n所述支撑部件与所述横向管道接触，用于使得所述横向管道保持水平。/n

【技术特征摘要】
1.一种槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，包括：工艺槽，至少一个酸液供应罐，连接管道和支撑部件，其中，
所述工艺槽的位置低于酸液供应罐的位置，所述酸液供应罐通过连接管道与所述工艺槽连通，所述连接管道至少包括连接的横向管道和纵向管道，所述横向管道的入口端与所述酸液供应罐连接，所述纵向管道的出口端与所述工艺槽连接，所述酸液供应罐用于存储酸液以及将存储的酸液通过连接管道供应到工艺槽中，所述工艺槽用于将所述酸液供应罐供应的酸液稀释或者将供应的多种酸液混合，以进行刻蚀工艺；
所述支撑部件与所述横向管道接触，用于使得所述横向管道保持水平。


2.如权利要求1所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，所述横向管道包括入口端和出口端，所述纵向管道包括入口端和出口端，所述横向管道的入口端与酸液供应罐连接，所述横向管道的出口端与纵向管道的入口端连接，所述横向管道从入口端向出口端的方向向上倾斜，所述支撑部件与所述横向管道接触，通过支撑部件减小横向管道向上倾斜的角度，使得所述横向管道保持水平。


3.如权利要求1所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，所述工艺槽的顶部具有顶部基座，所述纵向管道穿过顶部基座向工艺槽中工艺酸液。


4.如权利要求3所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，所述支撑部件为支撑件，所述支撑件的一端与横向管道固定连接，所述支撑件的另一端与所述顶部基座固定连接。


5.如权利要求3所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，所述支撑部件为悬挂件，所述悬挂件的一端与横向管道固定连接，所述悬挂件的另一端与所述酸液供应罐...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁齐齐，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42