探针、检查工具、检查单元和检查装置制造方法及图纸

探针、检查工具、检查单元和检查装置。探针具有：弹性部，其沿着长度方向伸缩；板状的第1接触部，其与弹性部的长度方向的一端部连接；及板状的第2接触部，其相对于第1接触部直列地配置，与弹性部的长度方向的另一端部连接，弹性部被配置成，从第2接触部起沿着假想直线配置且相对于假想直线配置于相同侧，或者，沿着假想直线配置且弹性部的一部分位于假想直线上，其中，假想直线沿着长度方向延伸，弹性部具有相互隔开间隙配置的多个带状弹性片，多个带状弹性片分别具有直线部，直线部沿着与长度方向交叉的方向延伸，并且直线部的延伸方向的一端部与第2接触部连接，直线部构成为，在探针被收纳于插座时，能够在长度方向上与插座的内部抵接。

Probe, inspection tool, inspection unit and inspection device

【技术实现步骤摘要】
探针、检查工具、检查单元和检查装置本申请是原案申请号为201880051883.5的专利技术专利申请(申请日：2018年1月11日，专利技术名称：探针、检查工具、检查单元和检查装置)的分案申请。
本专利技术涉及探针、具有该探针的检查工具、具有该检查工具的检查单元和具有该检查单元的检查装置。
技术介绍
在照相机或液晶面板等电子部件模块中，一般而言，在其制造工序中进行导通检查和动作特性检查等。使用探针将用于与设置于电子部件模块的主体基板连接的FPC接触电极或所安装的基板对基板连接器等电极部和检查装置连接起来，由此进行这些检查。作为这种探针，例如存在专利文献1所记载的探针。该探针具有能够与电子部件的电极端子和被连接电子部件的电极端子分别接触的一对触头、以及介于一对触头之间且连接一对触头的蛇行部。在所述探针中，通过蛇行部确保各触头与电子部件的电极端子和被连接电子部件的电极端子之间的接触压力，提高针对电子部件的电极端子和被连接电子部件的电极端子的接触可靠性。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-134202号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题近年来，伴随着电子部件模块之间发送接收的信息量的增大等，要求电子部件模块的检查所使用的探针也应对高频区域的信号。但是，在专利文献1的探针中，不能说一定能够充分应对高频区域的信号，在电子部件模块的检查时流过探针的高频区域的信号的损失有时较大。本专利技术的目的在于，提供确保针对检查对象物和检查装置的接触可靠性且能够降低高频区域的信号的损失的探针、具有该探针的检查工具、具有该检查工具的检查单元和具有该检查单元的检查装置。用于解决课题的手段本专利技术的一例的探针具有：弹性部，其沿着长度方向伸缩；板状的第1接触部，其与所述弹性部的所述长度方向的第1端部连接；以及板状的第2接触部，其相对于所述第1接触部直列地配置，与所述弹性部的所述长度方向的第2端部连接，所述弹性部具有：第1直线部，其沿与所述长度方向交叉的方向延伸，并且该第1直线部的延伸方向的一端部与所述第1接触部连接；弯曲部，其呈圆弧状延伸，所述圆弧状向与所述长度方向交叉且远离所述第1接触部的方向突出，并且，该弯曲部的延伸方向的一端部与所述第1直线部的延伸方向的另一端部连接；以及第2直线部，其沿与所述长度方向交叉的方向延伸，并且该第2直线部的延伸方向的一端部与所述弯曲部的延伸方向的另一端部连接，所述弯曲部的中心角构成为大于90度且小于180度。此外，本专利技术的一例的检查工具具有：所述探针；以及外壳，其具有能够收纳所述探针的收纳部，所述探针以所述弯曲部的中心角大于90度且小于180度的方式收纳于所述收纳部。此外，本专利技术的一例的检查单元具有至少一个所述检查工具。此外，本专利技术的一例的检查装置具有至少一个所述检查单元。专利技术效果根据所述探针，弹性部具有：第1直线部，其沿与探针的长度方向交叉的方向延伸，延伸方向的一端部与第1接触部连接；弯曲部，其呈圆弧状延伸，所述圆弧状向与探针的长度方向交叉且远离第1接触部的方向突出，延伸方向的一端部与第1直线部的延伸方向的另一端部连接；以及第2直线部，其沿与探针的长度方向交叉的方向延伸，延伸方向的一端部与弯曲部的延伸方向的另一端部连接，弯曲部的中心角构成为大于90度且小于180度。由此，能够在第1直线部与第2直线部之间在探针的长度方向上设置距离，因此，例如，能够减少流过第1直线部的高频区域的信号对流过第2直线部的高频区域的信号的干扰。其结果是，能够实现确保针对检查对象物和检查装置的接触可靠性、并且能够降低高频区域的信号的损失的探针。此外，根据所述检查工具，利用所述探针，针对检查对象物和检查装置的接触可靠性高，能够实现与检查对象物和检查装置连接时的高频区域的信号的损失少的检查工具。此外，根据所述检查单元，利用所述检查工具，针对检查对象物和检查装置的接触可靠性高，能够实现与检查对象物和检查装置连接时的高频区域的信号的损失少的检查单元。此外，根据所述检查装置，利用所述检查单元，针对检查对象物和检查装置的接触可靠性高，能够实现与检查对象物和检查装置连接时的高频区域的信号的损失少的检查装置。附图说明图1是示出本专利技术的一个实施方式的检查单元的剖视立体图。图2是沿着图1的II-II线的剖视图。图3是示出本专利技术的一个实施方式的探针的立体图。图4是图3的探针的平面图。图5是图3的探针的弹性部的放大平面图。图6是示出使用了比较例的探针的插入损耗和回波损耗的测定结果的图。图7是示出使用了实施例的探针的插入损耗和回波损耗的测定结果的图。图8是示出图3的探针的第1变形例的弹性部的放大平面图。图9是示出图3的探针的第2变形例的平面图。标号说明1检查单元2检查工具3插座4基础外壳5第1外壳6第2外壳7收纳部10探针11弹性部111第1端部112第2端部12第1接触部121第1触点部13第2接触部131第2触点部132贯通孔部133、134脚部21、22、24、25带状弹性片211、221第1端部212、222第2端部23间隙31、32第1直线部41、42第1弯曲部51、52第2直线部61、62第2弯曲部71、72第3直线部81、82第3弯曲部91、92第4直线部100基板110检查对象物120端子θ1、θ2、θ3中心角L1、L2直线W1、W2宽度W3最短距离具体实施方式下面，按照附图对本专利技术的一例进行说明。另外，在以下的说明中，根据需要使用表示特定的方向或位置的用语(例如包含“上”、“下”、“右”、“左”的用语)，但是，这些用语的使用是为了容易参照附图理解本专利技术，并不是利用这些用语的意思来限定本专利技术的技术范围。此外，以下的说明在本质上只不过是例示，并非意图限制本专利技术、本专利技术的适用物或本专利技术的用途。进而，附图是示意性的，各尺寸的比率等不是必须与现实情况一致。本专利技术的一个实施方式的探针10具有导电性，例如如图1和图2所示，在被收纳于插座3的状态下进行使用，与插座3一起构成检查工具2。作为一例，在该检查工具2收纳有多个细长的薄板状的探针10。此外，检查工具2构成检查单元1的一部分。如图1所示，作为一例，检查单元1具有组入了多个检查工具2的大致长方体状的基础外壳4。该基础外壳4由大致矩形板状的第1外壳5、以及在该第1外壳5的板厚方向上堆叠的第2外壳6构成。如图2所示，插座3具有能够收纳各探针10的多个收纳部7，由第1外壳5和第2外壳6保持。各收纳部7构成为被插座3和基础外壳4的第2外壳6包围，能够以后述的第1触点部1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针，该探针具有：/n弹性部，其沿着长度方向伸缩；/n板状的第1接触部，其与所述弹性部的所述长度方向的一端部连接；以及/n板状的第2接触部，其相对于所述第1接触部直列地配置，与所述弹性部的所述长度方向的另一端部连接，/n所述弹性部被配置成，从所述第2接触部起沿着假想直线配置且相对于所述假想直线配置于相同侧，或者，沿着所述假想直线配置且所述弹性部的一部分位于所述假想直线上，其中，所述假想直线沿着所述长度方向延伸，/n在所述探针中，/n所述弹性部具有相互隔开间隙配置的多个带状弹性片，/n所述多个带状弹性片分别具有直线部，所述直线部沿着与所述长度方向交叉的方向延伸，并且所述直线部的延伸方向的一端部与所述第2接触部连接，/n所述直线部构成为，在所述探针被收纳于插座时，能够在所述长度方向上与所述插座的内部抵接。/n

【技术特征摘要】
1.一种探针，该探针具有：
弹性部，其沿着长度方向伸缩；
板状的第1接触部，其与所述弹性部的所述长度方向的一端部连接；以及
板状的第2接触部，其相对于所述第1接触部直列地配置，与所述弹性部的所述长度方向的另一端部连接，
所述弹性部被配置成，从所述第2接触部起沿着假想直线配置且相对于所述假想直线配置于相同侧，或者，沿着所述假想直线配置且所述弹性部的一部分位于所述假想直线上，其中，所述假想直线沿着所述长度方向延伸，
在所述探针中，
所述弹性部具有相互隔开间隙配置的多个带状弹性片，
所述多个带状弹性片分别具有直线部，所述直线部沿着与所述长度方向交叉的方向延伸，并且所述直线部的延伸方向的一端部与所述第2接触部连接，
所述直线部构成为，在所述探针被收纳于插座时，能够在所述长度方向上与所述插座的内部抵接。


2.根据权利要求1所述的探针，其中，
所述多个带状弹性片分别具有：
第1直线部，其沿着与所述长度方向交叉的方向延伸，并且该第1直线部的延伸方向的一端部与所述第1接触部连接；以及
第2直线部，其沿着与所述长度方向交叉的方向延伸，并且该第2直线部的延伸方向的一端部与所述第2接触部连接，
所述第1直线部和所述第2直线部构成为，在所述探针被收纳于所述插座时，能够在所述长度方向上与所述插座的内部抵接。


3.根据权利要求1所述的探针，其中，
所述第1接触部还具有支承部，所述支承部在与所述长度方向交叉的方向上相对于所述假想直线朝向所述直线部侧突出，
所述支承部和所述直线部构成为，在所述探针被收纳于所述插座时，能够在所述长度方向上与所述插座的内部抵接。


4.一种探针，该探针具有：
弹性部，其沿着长度方向伸缩；
板状的第1接触部，其与所述弹性部的所述长度方向的第1端部连接；以及
板状的第2接触部，其相对于所述第1接触部直列地配置，与所述弹性部的所述长度方向的第2端部连接，
所述弹性部被配置成，从所述第1接触部起沿着假想直线配置且相对于所述假想直线配置于相同侧，或者，沿着所述假想直线配置且所述弹性部的一部分位于所述假想直线上，其中，所述假想直线沿着所述长度方向延伸，
在所述探针中，
所述弹性部具有相互隔开间隙配置的多个带状弹性片，
所述多个带状弹性片分别具有直线部，所述直线部沿着与所述长度方向交叉的方向延伸，并且所述直线部的延伸方向的一端部与所述第2接触部连接，
所述直线部构成为，在所述探针被收纳于插座时，能够在所述长度方向上与所述插座的内部抵接。


5.根据权利要求4所述的探针，其中，
所述多个带状弹性片分别具有：
第1直线部，其沿着与所述长度方向交叉的方向延伸，并且该第1直线部的延伸方向的一端部与所述第1接触部连接；以及
第2直线部，其沿着与所述长度方向交叉的方向延伸，并且该第2直线部的延伸方向的一端部与所述第2接触部连接，
所述第1直线部和所述第2直线部构成为，在所述探针被收纳于所述插座时，能够在所述长度方向上与所述插座的内部抵接。


6.根据权利要求4所述的探针，其中，
所述第1接触部还具有支承部，所述支承部在与所述长度方向交叉的方向上相对于所述假想直线朝向所述直线部侧突出，
所述支承部和所述直线部构成为，在所述探针被收纳于所述插座时，能够在所述长度方向上与所述插座的内部抵接。


7.一种探针，该探针具有：
弹性部，其沿着长度方向伸缩；
板状的第1接触部，其与所述弹性部的所述长度方向的一端部连接；以及
板状的第2接触部，其相对于所述第1接触部直列地配置，与所述弹性部的所述长度方向的另一端部连接，
所述弹性部被配置于所述第1接触部的与所述长度方向交叉的宽度方向的一侧，或者，所述弹性部被配置成，从所述第1接触部起沿着假想直线配置且所述弹性部的一部分位于所述假想直线上，其中，所述假想直线沿着所述长度方向延伸，
在所述探针中，
所述弹性部具有相互隔开间隙配置的多个带状弹性片，
所述多...

【专利技术属性】
技术研发人员：笹野直哉，寺西宏真，酒井贵浩，崔时薰，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP