【技术实现步骤摘要】
高精度花岗岩气浮导轨
本技术属于空气静压导轨
，具体为一种高精度花岗岩气浮导轨。
技术介绍
环形抛光是加工大口径平面光学元件的关键技术之一，在提高材料去除效应、抑制中频误差等方面具有显著的优势。大型环抛机通常采用大理石基盘，通过在其表面浇制沥青作为抛光盘(胶盘)。环抛机胶盘的上方通常设置多工位桥架机构，从而形成多个工位。其中一个工位用于放置修正板，其余工位用于放置工件盘。环抛技术一直存在的一个难题是元件低频面形误差的高效收敛。元件的面形误差主要取决于抛光过程的运动参量以及元件和胶盘接触界面的压力分布。抛光运动参量包括各盘转速、元件偏心距等，近年来机床运动控制水平的提升已较好地解决了元件面形精度控制在运动参数方面的制约问题。抛光压力分布的均匀性，特别是由于胶盘表面不平引起的抛光压力分布不均已经成为元件面形精度提升的瓶颈。长期以来，全口径抛光长期缺乏有效的抛光盘形状误差检测和监控方法。近年来，中国专利CN103978430A和CN105203065A分别提出了胶盘形状误差的检测方法，将位移传感器固定在普通滑动直线导...
【技术保护点】
1.一种高精度花岗岩气浮导轨，其特征在于：包括花岗岩导轨(1)、拖板(2)、十二个气浮块(3)、十二根调节螺杆(4)及十二个螺母(5)；所述花岗岩导轨(1)上端面中部和下端面中部分别设有U形槽(6)，两个所述U形槽(6)相对设置，两个U形槽(6)均贯通花岗岩导轨(1)前后端面设置，所述拖板(2)上设有滑槽，拖板(2)左侧面和右侧面分别设有四个呈矩阵形式设置的螺纹孔一，拖板(2)上端面和下端面分别设有两个螺纹孔二，位于拖板(2)上端面的两个螺纹孔二以及位于拖板(2)下端面的两个螺纹孔二均沿拖板(2)的前后方向设置，所有的螺纹孔一和所有的螺纹孔二均与滑槽相通，每个螺纹孔一和螺纹...
【技术特征摘要】
1.一种高精度花岗岩气浮导轨，其特征在于：包括花岗岩导轨(1)、拖板(2)、十二个气浮块(3)、十二根调节螺杆(4)及十二个螺母(5)；所述花岗岩导轨(1)上端面中部和下端面中部分别设有U形槽(6)，两个所述U形槽(6)相对设置，两个U形槽(6)均贯通花岗岩导轨(1)前后端面设置，所述拖板(2)上设有滑槽，拖板(2)左侧面和右侧面分别设有四个呈矩阵形式设置的螺纹孔一，拖板(2)上端面和下端面分别设有两个螺纹孔二，位于拖板(2)上端面的两个螺纹孔二以及位于拖板(2)下端面的两个螺纹孔二均沿拖板(2)的前后方向设置，所有的螺纹孔一和所有的螺纹孔二均与滑槽相通，每个螺纹孔一和螺纹孔二内均旋合有调节螺杆(4)，所述调节螺杆(4)将气浮块(3)贴靠在花岗岩导轨(1)上，...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘海涛，孙雅洲，史小全，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：新型
国别省市：黑龙;23
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。