The invention provides a precision direct drive gas static pressure rotating table, which solves the problems of small diameter, large transmission error and high precision of the transfer platform in the prior art. The present invention includes: mesa, mesa and radial spindle connection, and radial spindle body connection table under static pressure plate; and the motor rotor turntable table is connected with the rotor of the motor shaft, motor rotor shaft installation plate, motor rotor is connected with the pressing plate, the angular displacement sensor is connected with the motor rotor plate mover; the bearing seat, and radial bearing supporting seat bonding porous material block, the first axial porous material block, second axial porous material; and the bearing seat is connected with the motor stator and the motor stator ring; and the bearing base is connected with the turntable, turntable the base is connected with the angular displacement of the reading head mounting seat, and the angular displacement of the reading head mounting angular displacement sensor reading head is connected; and pipe joint and a protection cover connected to the base table.
【技术实现步骤摘要】
一种精密直驱气体静压转台
本专利技术涉及超精密测量和加工
,特别是指一种高回转精度的电机内藏式结构紧凑的精密直驱气体静压转台。
技术介绍
随着现代零件制造和检测精度要求的提高,具有洁净和高精度特点的气体静压支承技术获得越来越多的应用。转台部件是精密测量和加工设备中的关键元件,满足切削或测量中的高精度回转或定位运动要求。超精密转台的支承形式通常包括气体和液体静压两种形式,在满足要求回转精度指标的前提下,运动中的高频误差也更小。为减小传动误差和提高定位,通常采用精磨力矩配合高精度角位移传感器的组合驱动模式。为进一步提高精度和减小传递误差,要求转台具有较大的径高比。现有技术中的气体静压转台大都采用工字轴结构,但仅是气浮支承部分为“工”字结构,整体的结构实际为“干”字结构,转台力矩电机安装在转台底部,造成转台的高度较大。
技术实现思路
本专利技术提出一种精密直驱气体静压转台,解决了现有技术中转台径高比较小、传递误差和精度较大的问题。该精密直驱气体静压转台采用电机内藏式结构和多孔质材料块节流器,可以保证要求的回转精度和定位精度要求,尤其适用于超精密测量和加工设备的回转运动。本专利技术的技术方案是这样实现的:本专利技术提供了电机内藏式的精密直驱气体静压转台,包括:转台台面,与转台台面连接的径向主轴体,与径向主轴体连接的转台下静压盘,三者构成转台的支承旋转体;与所述转台台面连接的电机转子安装轴,与电机转子安装轴连接的电机转子压板,被电机转子压板压紧连接的电机转子,与电机转子压板连接的角位移传感器动子;轴承支承座,与轴承支承座通过树脂胶粘接的径向多孔质材料块、第一轴向多 ...
【技术保护点】
一种精密直驱气体静压转台,其特征在于:包括转台台面,与转台台面连接的径向主轴体,与径向主轴体连接的转台下静压盘;与所述转台台面连接的电机转子安装轴,与电机转子安装轴连接的电机转子压板,被电机转子压板压紧连接的电机转子,与电机转子压板连接的角位移传感器动子;轴承支承座,与轴承支承座通过树脂胶粘接的径向多孔质材料块、第一轴向多孔质材料块、第二轴向多孔质材料块;与所述轴承支承座连接的电机定子和电机定子压环;与所述轴承支承座连接的转台底座,与转台底座连接的角位移读数头安装座,与角位移读数头安装座连接的角位移传感器读数头;与所述转台底座连接的气管接头和防护外罩;所述的转台台面与径向主轴体和转台下静压盘连接构成转台的转子;所述的转台台面与电机转子安装轴和电机转子连接,电机转子为内藏式安装,降低了转台的高度;所述气管接头通过直管螺纹与转台底座连接,并通过转台底座和轴承支承座的气道为径向多孔质材料块、第一轴向多孔材料块和第二多孔质材料块提供压力气源。
【技术特征摘要】
1.一种精密直驱气体静压转台,其特征在于:包括转台台面,与转台台面连接的径向主轴体,与径向主轴体连接的转台下静压盘;与所述转台台面连接的电机转子安装轴,与电机转子安装轴连接的电机转子压板,被电机转子压板压紧连接的电机转子,与电机转子压板连接的角位移传感器动子;轴承支承座,与轴承支承座通过树脂胶粘接的径向多孔质材料块、第一轴向多孔质材料块、第二轴向多孔质材料块;与所述轴承支承座连接的电机定子和电机定子压环;与所述轴承支承座连接的转台底座,与转台底座连接的角位移读数头安装座,与角位移读数头安装座连接的角位移传感器读数头;与所述转台底座连接的气管接头和防护外罩;所述的转台台面与径向主轴体和转台下静压盘连接构成转台的转子...
【专利技术属性】
技术研发人员:李彬,吴媛媛,席建普,任东旭,赵则祥,
申请(专利权)人:中原工学院,
类型:发明
国别省市:河南,41
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